• 제목/요약/키워드: O$_3$

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LTCC용 Glass Frit의 결정화 특성 및 유전 특성에 대한 PbO 함량의 영향 (The Influence of PbO Content on the Crystallisation Characteristics and Dielectric Properties of Glass Frit for LTCC)

  • 박정현;김용남;송규호;유재영
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권5호
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    • pp.438-445
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    • 2002
  • 본 연구에서는 $PbO-TiO_2-SiO_2-BaO-ZnO-Al_2O_3-CaO-B_2O_3-Bi_2O_3-MgO$계의 유리를 $1,400{\circ}C$에서 용융시킨 후, 급랭, 분쇄하여 glass frit을 제조하였다. Glass frit 분말을 일축가압성형한 후 $750~1,000{\circ}C$의 온도범위에서 2시간 동안 소성 및 결정화 하였다. Glass frit의 결정화는 $750{\circ}$ 전후의 온도에서 시작되었고, 저온에서의 주된 결정상은 $Al_2O_3$와 hexagonal celsian($BaAl_2Si_2O_8$)이었다. 소성온도가 높아지면서 monoclinic celsian, $ZnAl_2O_4,\;Zn_2SiO_4,\;CaTi(SiO_4)O,\;TiO_24 등이 주된 결정상으로 나타났고, 특히 celsian은 hexagonal에서 monoclinic으로 상전이가 발생하였다. 그리고 15wt%의 PbO를 첨가한 glass frit에만 $PbTiO_3-CaTiO_3$ 고용체가 나타났다. 1MHz 대역에서 유전특성을 살펴본 결과 유전상수는 11~16이었고, 유전손실은 0.020 미만이었다. 그러나 15wt%의 PbO를 첨가한 glass frit의 경우는 $PbTiO_3-CaTiO_3$ 고용체 결정상의 존재로 유전상수가 17~26으로 높았고, 유전손실은 0.010~0.015로서 다른 조성들에 비하여 우수한 특성을 나타내었다.

Pb(Mg1/3Nb2/3)O3계의 유전성에 미치는 BaTiO3첨가량 및 열처리 온도의 영향 (PMN-BaTiO3계 세라믹스의 합성 및 유전성) (Influence of BaTiO3 Content and Firing Temperature on the Dielectric Properties of Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 Ceramics)

  • 윤기현;강동헌
    • 한국세라믹학회지
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    • 제26권2호
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    • pp.249-257
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    • 1989
  • Dielectric properties and the stability of the perovskite phase in the Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 system have been investigated as a function of amount of BaTiO3 and firing temperature. In the specimens fired at 120$0^{\circ}C$, the pyrochlore phase was eliminated by the addition of 10-15m/o BaTiO3 and also the dielectric constant increased. However, the dielectric constant decreased with further addition of BaTiO3 even though no pyrochlore phase was found to be present. The reducing tendency of the pyrochlore phase decreased with lowering the firing temperature in the system of Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 with BaTiO3. Dielectric properties in PMN ceramics were affected by the character of the BaTiO3 rather than the pyrochlore phase.

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Comparative Investigation of Interfacial Characteristics between HfO2/Al2O3 and Al2O3/HfO2 Dielectrics on AlN/p-Ge Structure

  • Kim, Hogyoung;Yun, Hee Ju;Choi, Seok;Choi, Byung Joon
    • 한국재료학회지
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    • 제29권8호
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    • pp.463-468
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    • 2019
  • The electrical and interfacial properties of $HfO_2/Al_2O_3$ and $Al_2O_3/HfO_2$ dielectrics on AlN/p-Ge interface prepared by thermal atomic layer deposition are investigated by capacitance-voltage(C-V) and current-voltage(I-V) measurements. In the C-V measurements, humps related to mid-gap states are observed when the ac frequency is below 100 kHz, revealing lower mid-gap states for the $HfO_2/Al_2O_3$ sample. Higher frequency dispersion in the inversion region is observed for the $Al_2O_3/HfO_2$ sample, indicating the presence of slow interface states A higher interface trap density calculated from the high-low frequency method is observed for the $Al_2O_3/HfO_2$ sample. The parallel conductance method, applied to the accumulation region, shows border traps at 0.3~0.32 eV for the $Al_2O_3/HfO_2$ sample, which are not observed for the $Al_2O_3/HfO_2$ sample. I-V measurements show a reduction of leakage current of about three orders of magnitude for the $HfO_2/Al_2O_3$ sample. Using the Fowler-Nordheim emission, the barrier height is calculated and found to be about 1.08 eV for the $HfO_2/Al_2O_3$ sample. Based on these results, it is suggested that $HfO_2/Al_2O_3$ is a better dielectric stack than $Al_2O_3/HfO_2$ on AlN/p-Ge interface.

LPE법으로 성장시킨 $Zn:LiNbO_3/Mg:LiNbO_3$ 단결정 박막의 구조적 특성 (Structural properties of $Zn:LiNbO_3/Mg:LiNbO_3$ single crystal thin films grown by LPE method)

  • 이호준;신동익;이종호;윤대호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.120-123
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    • 2005
  • [ $Li_2CO_3-V_2O_5$ ], flux를 사용한 liquid phase epitaxy(LPE) 법을 사용하여 $LiNbO_3$ (001) 기판위에 5 mol% ZnO가 첨가된 $LiNbO_3$, 박막과 2 mol% MgO가 첨가된 $LiNbO_3$, 박막을 성장시켰다. $Zn:LiNbO_3$, 막과 $Mg:LiNbO_3$, 막과의 결정성과 격자 부정합은 x-ray rocking curve(XRC)로 분석되었다. 그리고 다층 박막의 단면에서의 ZnO와 MgO의 분포가 electron probe micro analyzer(EPMA)를 사용하여 관측되었다.

4성분 Li2O-B2O3-Al2O3-SiO2 유리들의 구조로부터 굴절률과 경도 연구 (Studies of Refractive Index and Hardness from the structures in Quarternary Li2O-B2O3-Al2O3-SiO2 Glasses)

  • 문성준
    • 한국안광학회지
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    • 제7권2호
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    • pp.27-31
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    • 2002
  • 4성분 $Li_2O-B_2O_3-Al_2O_3-SiO_2$ 유리들을 $R({\equiv}Li_2Omole%/B_2O_3mole%)$$K({\equiv}(Al_2O_3mole%+SiO_2mole%/B_2O_3mole%)$에 의해 제작하여 유리들의 구조를 굴절률 (refractive index)과 Vicker's 경도(hardness)의 변화를 측정하여 분석하였다. 먼저, 굴절률의 증가는 유리 내부구조의 분극률을 증가시키는 $Li^+$ 양이온 수의 증가에 우선적으로 의존하여 증가하였으며, 적은 양의 리튬 산화물($Li_2O$)이 첨가된 영역에서는 굴절률은 리튬 이온 양에 의존하며, 많은 양의 리튬 산화물이 첨가된 영역에서는 큰 몰 부피를 갖고 하나의 비가교 산소를 갖는 $BO_3{^-}$ 단위들의 형성으로 유리 구조 내의 몰 부피 증가로 유리들의 굴절률의 증가가 둔화되었다. 그리고 알루미늄 산화물($Al_2O_3$)과 규소 산화물($SiO_2$)의 증가에 따라 굴절률의 감소는 $Al_2O_3$$SiO_2$에 의해 형성되어진 $AlO_4$ 단위들과 $SiO_4{^-}$ 단위들이 붕소 산화물($B_2O_3$)에 의해 형성되어진 $BO_4$단위들보다 몰 부피의 증가로 감소되어졌다. 또한, 경도의 증가는 유리 망목구조에 형성되어지는 $BO_4$ 단위 수에 의존하였으며, 경도의 감소는 유리 망목구조를 개방화시키는 $BO_3{^-}$ 단위 수에 의존하여 감소함을 알 수 있었다.

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H3BO3-SnO 첨가에 따른 0.6TiTe3O8-0.4MgTiO3 세라믹스의 마이크로파 유전 특성 (Microwave Dielectric Properties of 0.6TiTe3O8-0.4MgTiO3Ceramics with Addition of H3BO3-SnO)

  • 김재식;최의선;이문기;배선기;이영희
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제18권1호
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    • pp.57-61
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    • 2005
  • The microwave dielectric properties of 0.6TiTe$_3$O$_{8}$-0.4MgTiO$_3$ ceramics with H$_3$BO$_3$-SnO were investigated to improve the sintering condition for the LTCC. According to the X-ray diffraction patterns, 0.6TiTe$_3$O$_{8}$-0.4MgTiO$_3$ ceramics with H$_3$BO$_3$-SnO had the columbite structure of TiTe$_3$O$_{8}$ phase and the ilmenite structure of MgTiO$_3$ phase and there were no second phase. Increasing the addition of H$_3$BO$_3$-SnO, the density and dielectric constant of the 0.6TiTe$_3$O$_{8}$-0.4MgTiO$_3$ ceramics were increased but the quality factor was decreased. The temperature coefficient of resonant frequency was shifted to the negative(-) direction with addition of H$_3$BO$_3$-SnO.EX>-SnO.

Pt/$YMnO_3$/$Y_2$$O_3$/Si(MFIS) 구조의 특성에 미치는 ${Y_2}{O_3}$층의 영향 (Effect of ${Y_2}{O_3}$Buffer Layer on the Characteristics of Pt/$YMnO_3$/$Y_2$$O_3$/Si(MFIS) Structure)

  • 양정환;신웅철;최규정;최영심;윤순길
    • 한국재료학회지
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    • 제10권4호
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    • pp.270-275
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    • 2000
  • Metal/ferroelectric/insulator/semiconductor(MFIS)-Field Effect Transistor을 위한 Pt/YMnO$_3$/Y$_2$O$_3$/Si 구조를 제조하여 MFIS 구조의 특성에 미치는 $Y_2$O$_3$박막의 영향을 고찰하였다. PLD법을 이용하여 p=type Si(111) 기판 위에 증착시킨 $Y_2$O$_3$박막은 증착온도와 관계없이 (111)방향으로의 우선배향성을 갖고 결정화 되었다. 실리콘 위에 바로 MOCVD법에 의해 강유전체 YMnO$_3$박막을 증착시킨 경우 실리콘과의 계면에서 Mn이 부족한 층이 형성되지만 $Y_2$O$_3$가 실리콘과 YMnO$_3$사이에 삽입된 경우는 $Y_2$O$_3$바로 위에서부터 화학양론비에 일치하는 양질의 YMnO$_3$박막을 얻을 수 있었다. 85$0^{\circ}C$, 100mtorr의 진공분위기에서 열처리한 YMnO$_3$박막은 $Y_2$O$_3$가 삽입된 경우 memory window 값이 $Y_2$O$_3$가 삽입되지 않은 경우보다 더 큰 값을 보였으며 5V에서 1.3V의 값을 보였다.

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PbO 과잉량이 Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-PbTiO3-PbZrO3계의 소결 및 압전특성에 미치는 영향 (Effect of Excess PbO Addition on Sintering and Piezoelectric Characteristics in Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-PbTiO3-PbZrO3 System)

  • 전구락;김정주;조상희;김도연
    • 한국세라믹학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.568-574
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    • 1989
  • Effect of PbO addition on sintering and piezoelectric properties at 0.45Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-0.40PbTiO3-0.15PbZrO3 composition which is tetragonal phase was investigated. In this composition, Porosity and dielectric constant were increased with excess PbO addition, but Kp and d31 was not changed. These variation of physical properties could be interpreted as composition change of solid grains from tetragonal to MPB region due to amount of PbO-rich liquid changing.

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조합화학을 이용한 CaO-Y2O3-Al2O3계의 Tb활성 형광체의 합성 및 검색 (Combinatorial Synthesis and Screening of the Tb-activated Phosphors in the System CaO-Y2O3-Al2O3)

  • 윤호신;김창해;강윤찬;유승곤;박희동
    • 한국재료학회지
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    • 제13권12호
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    • pp.785-790
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    • 2003
  • We have synthesized some phosphors in the system $CaO-Y_2$$O_3$-$Al_2$$O_3$by combinatorial polymerized-complex method. Composition and synthetic temperature of phosphors in the library was screened from the emission intensities of individual samples under VUV excitation. In $Tb^{ 3+}$-activated $CaO-Y_2$$O_3$-$Al_2$$O_3$, green phosphors showing good intensity were found to be X$O_3$$O_{7}$, CaYA1O$_4$, YA1O$_3$, $Y_3$$Al_{5}$$O_{12}$, $Y_4$$A1_2$$O_{9}$ .

$BaTiO_3$ 세라믹스와 Oxide Setter의 반응성에 관한 연구 (Study on the Reaction between $BaTiO_3$ Ceramics and Oxide Setters)

  • 박정현;최현정;조경식;염강섭;조철구
    • 한국세라믹학회지
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    • 제31권6호
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    • pp.651-659
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    • 1994
  • BaTiO3 ceramics were sintered on Al2O3, MgAl2O4, MgO and Mg-, Ca-, Y-stabilized zirconia setters. Then the influence of setters on the microstructure of BaTiO3 ceramics and the stability of setters were investigated by SEM, EDAX and XRD analyses. The microstructure of BaTiO3 ceramics sintered on Al2O3, MgAl2O4, MgO and Mg-PSZ showed large grain growth, but little grain growth on Ce-TZP(Tetragonal Zirconia Policrystal). Mg-PSZ(Partially Stabilized Zirconia), Ca-PSZ, Ce-TZP setters showed extensive phase transformation. Y-TZP and fused Y-SZ (Stabilized Zirconia) setters were stable. The liquid sintering aids of BaTiO3 ceramics accelerate mass transport. The reaction of SrTiO3 in BaTiO3 with ZrO2 resulted in the formation of SrZrO3.

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