산소 플라즈마에서의 분자살 적층성장에 의한 $Ce_{1-x}Zr_{x}O_{2}$ 박막의 성장과 구조
-
- 한국진공학회:학술대회논문집
- /
- 한국진공학회 2001년도 창립10주년 제20회 학술발표회
- /
- pp.204-204
- /
- 2001