• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.171-171
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• 2013

2층 FCCL (연성회로기판, Flexible Copper Clad Laminate)에 있어서 폴리이미드 필름과 구리의 접착력을 향상 시키기 위해 기존에 사용되고 있는 Ni-Cr대신 박리강도가 높고 에칭성도 매우 뛰어난 Ni-Mo-Nb 박막을 Roll-to roll 스퍼터 장비를 이용하여 개발하였다. 새롭게 개발된 Ni-Mo-Nb 박막은 기존 연구되어진 Ni-Cr 물질 대비 고온 박리강도 약 1.5~2.0배, 에칭성 8배 이상의 매우 우수한 특성을 보였다. Ni-Mo-Nb 접착층의 두께가 7~40 nm로 증가함에 따라 상온 박리강도가 향상 되는 것을 확인하였다. Ni-Mo-Nb 박막을 증착 하기 전 폴리이미드 기판표면을 RF 플라즈마 전처리 하였을 때 0.67 kg f/cm의 우수한 상온 박리강도를 나타내었으며 FCCL 샘플을 $150^{\circ}C$에서 168시간동안 열처리 한 후 접착력을 측정하였을 때도 0.54 kg f/cm의 높은 고온 박리강도를 보였다. FCCL의 박리강도, 표면 거칠기, 원소들의 화학적 결합, 박막의 미세구조를 peel test, atomic force microscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, transmission electron microscopy를 이용하여 폴리이미드 기판 플라즈마 전처리 효과를 확인하였다. 그 결과 플라즈마 전처리를 한 폴리이미드 기판의 경우 처리하지 않은 기판보다 상온과 고온에서 더 우수한 접착력을 가지는 것을 확인 할 수 있었는데 이것은 폴리이미드 기판의 표면 거칠기 증가에 의한 mechanical interlocking effect가 아닌 전처리를 통한 폴리이미드 표면 개질로 C-0, C-N와 같은 chemical functional group이 증가했기 때문인 것으로 확인되었다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.21 no.4
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• pp.69-76
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• 2014

In this study, we developed an ultra-thin flexible printed circuit board(FPCB) using the sputtered flexible copper clad laminate. In order to enhance the adhesion between copper and polyimide substrate, a NiMoNb addition layer was applied. The mechanical durability and flexibility of the ultra-thin FPCB were characterized by stretching, twisting, bending fatigue test, and peel test. The stretching test reveals that the ultra-thin FPCB can be stretched up to 7% without failure. The twisting test shows that the ultra-thin FPCB can withstand an angle of up to $120^{\circ}$. In addition, the bending fatigue test shows that the FPCB can withstand 10,000 bending cycles. Numerical analysis of the stress and strain during stretching indicates the strain and the maximum von Mises stress of the ultra-thin FPCB are comparable to those of the conventional FPCB. Even though the ultra-thin FPCB shows slightly lower durability than the conventional FPCB, the ultra-thin FPCB has enough durability and robustness to apply in industry.