• 제목/요약/키워드: Ni film

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Electrochromic Performance of NiOx Thin Film on Flexible PET/ITO Prepared by Nanocrystallite-Dispersion Sol

  • Kwak, Jun Young;Jung, Young Hee;Park, Juyun;Kang, Yong-Chul;Kim, Yeong Il
    • 대한화학회지
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    • 제65권2호
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    • pp.125-132
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    • 2021
  • An electrochromic nickel oxide thin film was fabricated on a flexible PET/ITO substrate using a nanocrystallite- dispersed coating sol and bar coater. Nanocrystalline NiOx of 3-4 nm crystallite size was first synthesized by base precipitation and thermal conversion. This NiOx nanocrystallite powder was mechanically dispersed in an alcoholic solvent mixed with a silane binder to prepare a coating sol for thin film. This sol method is different from the normal sol-gel method in that it does not require the conversion of precursor by heat treatment. Therefore, this method provides a very facile method to prepare NiOx thin films on any kind of substrate and it can be easily applied to mass production. The electrochromic performance of this NiOx thin film on PET/ITO electrode with a thickness of about 400 nm was investigated in a nonaqueous LiClO4 electrolyte solution by cyclic voltammetric and repeated chronoamperometric measurements in conjunction with spectrophotometry. The visible light modulation of 44% and the colorization efficiency of 41 ㎠/C at 550 nm were obtained at the step potentials of -0.8/+1.2 V vs Ag and a duration of 30 s.

4H-SiC 기판 위에 RF Sputter로 증착된 NiO 박막의 후열처리 효과 (Post-annealing Effect of NiO Thin Film Grown by RF Sputtering System on 4H-SiC Substrate)

  • 문수영;김민영;변동욱;이건희;구상모
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제36권2호
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    • pp.170-174
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    • 2023
  • Nickel oxide is a nonstoichiometric transparent conductive oxide with p-type conductivity, a wide-band energy gap of 3.4~4.0 eV, and excellent chemical stability, making it a very important candidate as a material for bipolar devices. P-type conductivity in Transparent Conductive Oxides (TCO) is controlled by the oxygen vacancy concentration. During the TCO film deposition process, additional oxygen diffusing into the NiO structure causes the formation of Ni 3p ions and Ni vacancies. This eventually affects the hole concentration of the p-type oxide thin film. In this work, the surface morphology and the electrical characteristics were confirmed in accordance with the annealing atmosphere of the nickel oxide thin film.

DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 TiNi 박막의 증착조건에 관한 연구 (A Study on the Deposition Conditions of the TiNi Thin Film by DC Magnetron Sputtering)

  • 최대철;한범교;남태현;안효준
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제10권4호
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    • pp.211-217
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    • 1999
  • 수소저장합금 전극을 이용하는 박막전지의 제조를 위하여, TiNi 수소저장합금박막의 적정제조조건에 대하여 연구하였다. TiNi합금박막은 직류 스퍼터링을 이용하여 제조하였다. 증착변수인 아르곤유속, 타겔-기판거리, 직류 전력량등을 변화시키면서, 증착속도를 조사하였으며, Ti와 Ni의 화학조성비, 결정구조등을 조사하였다. 증착속도는 아프곤유속, 타겔 기판거리와 반비례하였으며, 직류전력량의 증가에는 정비례하여 증가하였다. 상온에서 증착후에는 비정질구조를 나타냈으나, 진공열처리 후에 결정질로 바뀌었다.

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Effect of Ni Interlayer on the Methanol Gas Sensitivity of ITO Thin Films

  • Lee, Y.J.;Huh, S.B.;Lee, H.M.;Shin, C.H.;Jeong, C.W.;Chae, J.H.;Kim, Y.S.;Kim, Daeil
    • 열처리공학회지
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    • 제23권5호
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    • pp.245-248
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    • 2010
  • Sn doped $In_2O_3$ (ITO) and ITO/Ni/ITO (INI) multilayer films were deposited on the glass substrates with a reactive magnetron sputtering system without intentional substrate heating and then the influence of the Ni interlayer on the methanol gas sensitivity of ITO and INI film sensors were investigated. Although both ITO and INI film sensors have the same thickness of 100 nm, INI sensors have a sandwich structure of ITO 50 nm/Ni 5 nm/ITO 45 nm. The changes in the gas sensitivity of the film sensors caused by methanol gas ranging from 100 to 1000 ppm were measured. It is observed that the INI film sensors show the higher sensitivity than that of the ITO single layer sensors. Finally, it can be concluded that the INI film sensor have the potential to be used as improved methanol gas sensors.

Ni 박막 위치에 따른 GZO 투명전도막의 전기광학적 물성 변화 (Influence of Ni Thin Film Position on the Opto-electrical Properties of GZO Films)

  • 문현주;전재현;공태경;서기웅;오정현;김선경;최동혁;손동일;김대일
    • 열처리공학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.121-125
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    • 2015
  • GZO single layer, Ni buffered GZO(GZO/Ni), Ni intermediated GZO (GZO/Ni/GZO) and Ni capped GZO (Ni/GZO) films were prepared on poly-carbonate (PC) substrates by RF and DC magnetron sputtering without intentional substrate heating and then the influence of the Ni (2 nm thick) thin film on the optical, electrical and structural properties of GZO films were investigated. As deposited GZO single layer films show the optical transmittance of 81.3% in the visible wavelength region and a resistivity of $1.0{\times}10^{-2}{\Omega}cm$, while GZO/Ni/GZO trilayer films show a lower resistivity of $6.4{\times}10^{-4}{\Omega}cm$ and an optical transmittance of 74.5% in this study. Based on the figure of merit, it can be concluded that the intermediated Ni thin film effectively enhances the opto-electrical performance of GZO films for use as transparent conducting oxides in flexible display applications.

NCF Trap이 Cu/Ni/Sn-Ag 미세범프의 Electromigration 특성에 미치는 영향 분석 (Effect of NCF Trap on Electromigration Characteristics of Cu/Ni/Sn-Ag Microbumps)

  • 류효동;이병록;김준범;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제25권4호
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    • pp.83-88
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    • 2018
  • Cu/Ni/Sn-Ag 미세범프 접합 공정후 Ni/Sn-Ag접합계면에 잔류한 비전도성 필름(non-conductive film, NCF) trap 형성이 전기적 신뢰성에 미치는 영향을 분석하기 위해 온도 $150^{\circ}C$, 전류밀도 $1.5{\times}10^5A/cm^2$ 조건에서 electromigration (EM) 신뢰성 실험을 진행하였다. EM 신뢰성 실험 결과, NCF trap이 거의 없는 Cu/Ni/Sn-Ag 미세범프가 NCF trap이 형성된 미세범프 보다 약 8배 긴 EM 수명을 보여주고 있다. 저항 변화 및 손상계면에 대한 미세구조 분석결과, Ni/Sn-Ag접합계면에 공정 이슈에 의해 형성된 NCF trap이 Ni-Sn 금속간화합물/Sn-Ag솔더계면에 보이드를 유발하여 EM 원자 확산을 방해하기 때문에 빠른 보이드 성장에 의한 전기적 손상이 일찍 발생하는 것으로 판단된다.

Si(100) wafer와 SiO2/Si(100) 기판에 동시 스퍼터링법으로 증착된 NiFe 합금 박막의 상변화 및 자기적 특성 (Phase transformation and magnetic properties of NiFe thin films on Si(100) wafer and SiO2/Si(100) substrate by co-sputtering)

  • 강대식;송종한;남중희;조정호;전명표
    • 한국결정성장학회지
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    • 제20권5호
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    • pp.216-220
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    • 2010
  • Si(100) wafer와 $SiO_2$/Si(100) 웨이퍼에 증착된 NiFe 합금 박막의 결정상과 자기적 특성을 비교하고자 동시 스퍼터링법을 이용하여 두 기판 위에 150 nm의 박막을 제조하여 그의 상변화와 자기적 특성을 XRD, FE-SEM, VSM으로 비교하였다. 두 기판 위에 증착된 NiFe 박막은 BCC상으로 증착되었으나 $400^{\circ}C$에서 2시간 열처리를 한 결과 BCC에서 FCC로의 상전이가 일어나는 것을 관찰 할 수 있었으며 Si(100) wafer위에 증착된 박막에서는 $500^{\circ}C$에서 열처리 후에도 BCC와 FCC가 혼재하여 나타나는 것을 알 수 있었다. $450^{\circ}C$에서 열처리 하였을 때 각형비가 가장 높았으며 포화자화는 0.0118 emu로 나타나고 있었다. $500^{\circ}C$ 이상의 온도에서는 상전이로 인해 포화자화가 급격히 감소하는 것을 볼 수 있었다.