MPECVD를 이용한 탄소나노튜브의 $H_2$ 및 $O_2$ 플라즈마 처리에 따른 특성 변화
(Influence of Hydrogen and Oxygen Plasma Treatment on the Structural Properties of Carbon Nanotubes)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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- pp.164-165
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- 2007