• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.11a
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• pp.247-251
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• 2004

반도체 소자의 제조에 있어 실리콘 표면에 성장한 자연산화막을 제거하기 위해 일반적으로 습식 세정 기술이 이용되어 왔다. 하지만 소자의 최소 선폭(design rule)이 nano급으로 고집적화 됨에 따라 contact hole 바닥의 자연산화막을 깨끗이 제거하는데 있어서 그 한계를 나타나고 있다. 이에 대한 효과적인 대안 공정으로 가스 건식 세정 기술이 연구되고 있다. 본 논문에서는 한 번에 50매 이상의 웨이퍼를 처리함으로써 생산성 측면에서 월등한 배치식 설비에서 원거리 플라즈마(remote plasma) 장치에서 2.450Hz의 마이크로웨이브(${\mu}$-wave)에 의해 형성시킨 수소라디칼과 $NF_3$ 가스를 이용하여 실리콘에 결함을 주지 않고 자연산화막을 선택적으로 제거하는 공정에 대해 고찰하였다. AFM을 이용한 표면분석, TEM을 이용한 물성분석, 그리고 ToF-SIMS 및 XPS를 이용한 화학 분석을 습식 및 건식 세정을 비교 평가한 결과, 건식 세정 공정이 실리콘 표면에 결함을 주지 않고 자연산화막을 제거 할 수 있음을 확인하였다. 산화막$(SiO_2)$, 질화막$(Si_3N_4)$, 그리고 다결정 실리콘(Poly-Si) 등의 각 막질별 식각 특성을 고찰하였으며, $NH_3$의 캐리어 가스인 $N_2$의 주입량을 조절함으로써 수소라디칼 형성 효율의 개선이 가능하였으며, 이로부터 게이트와 소스/드레인 사이를 절연하기 위해 이용되는 질화막의 식각 선택비를 2배 정도 개선할 수 있었다. nano급 소자에 실장하여 평가한 결과에서 불산(HF)에 의한 습식 세정 방식에 비하여 약 $20{\sim}50%$ 정도의 contact 저항 감소 효과가 있음이 확인되었다.두 소자 모두 $40mA/cm^2$ 에서 이상적인 화이트 발란스와 같은(0.33,0.33)의 색좌표를 보였다.epsilon}_0=1345$의 빼어난 압전 및 유전특성과 $330^{\circ}C$의 높은 $T_c$를 보였고 그 조성의 vibration velocity는 약4.5 m/s로 나타났다.한 관심이 높아지고 있다. 그러나 고 자장 영상에서의 rf field 에 의한 SAR 증가는 중요한 제한 요소로 부각되고 있다. 나선주사영상은 SAR 문제가 근원적으로 발생하지 않고, EPI에 비하여 하드웨어 요구 조건이 낮아 고 자장에서의 고속영상방법으로 적합하다. 본 논문에서는 고차 shimming 을 통하여 불균일도를 개선하고, single shot 과 interleaving 을 적용한 multi-shot 나선주사영상 기법으로 $100{\times}100$에서 $256{\times}256$의 고해상도 영상을 얻어 고 자장에서 초고속영상기법으로 다양한 적용 가능성을 보였다. 연구에서 연구된 $[^{18}F]F_2$가스는 친핵성 치환반응으로 방사성동위원소를 도입하기 어려운 다양한 방사성의 약품개발에 유용하게 이용될 수 있을 것이다.었으나 움직임 보정 후 영상을 이용하여 비교한 경우, 결합능 변화가 선조체 영역에서 국한되어 나타나며 그 유의성이 움직임 보정 전에 비하여 낮음을 알 수 있었다. 결론: 뇌활성화 과제 수행시에 동반되는 피험자의 머리 움직임에 의하여 도파민 유리가 과대평가되었으며 이는 이 연구에서 제안한 영상정합을 이용한 움직임 보정기법에 의해서 개선되었다. 답이 없는 문제, 문제 만들기, 일반화가 가능한 문제 등으로 보고, 수학적 창의성 중 특히 확산적 사고에 초점을 맞추어 개방형 문제가 확

• The Journal of Korean Academy of Prosthodontics
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• v.54 no.3
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• pp.193-202
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• 2016

Purpose: This study was performed in order to assess the effect of the surface treatment methods and the use of bonding agent on the shear bond strength (SBS) between the aged CAD-CAM (computer aided design-computer aided manufacturing) hybrid materials and added composite resin. Materials and methods: LAVA Ultimate (LU) and VITA ENAMIC (VE) specimens were age treated by submerging in a $37^{\circ}C$ water bath filled with artificial saliva (Xerova solution) for 30 days. The surface was ground with #220 SiC paper then the specimens were divided into 9 groups according to the combination of the surface treatment (no treatment, grinding, air abrasion with aluminum oxide, HF acid) and bonding agents (no bonding, Adper Single Bond 2, Single Bond Universal). Each group had 10 specimens. Specimens were repaired (added) using composite resin (Filtek Z250), then all the specimens were stored for 7 days in room temperature distilled water. SBS was measured and the fractured surfaces were observed with a scanning electron microscope (SEM). One-way ANOVA and Scheffe test were used for statistical analysis (${\alpha}=.05$). Results: Mostly groups with bonding agent treatment showed higher SBS than groups without bonding agent. Among the groups without bonding agent the groups with aluminum oxide treatment showed higher SBS. However there was no significant difference between groups except two subgroups within LU group, which revealed a significant increase of SBS when Single Bond Universal was used on the ground LU specimen. Conclusion: The use of bonding agent when repairing an aged LAVA Ultimate restoration is recommended.

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.32 no.4
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• pp.702-711
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• 2015

This study was conducted to determine the feasibility of using Gastrodia elata Blume as a cosmetic raw material by investigating the physiological activities of its extracts, varying the concentration, solvent, and fermentation method (non-fermentation and fermentation using lactic acid bacteria and effective microorganisms). Of the extracts in three different solvents-water, EtOH, and 70% EtOH-at four different concentrations (0.725, 1.25, 2.5, and 5 mg/mL), the EtOH extracts demonstrated the highest contents of antioxidants (flavonoids, polyphenols, and DPPH free radical scavengers). The DPPH free radical scavenging activity in the EtOH extracts of EM-fermented Gastrodia elata Blume increased from $27.08{\pm}0.5%$ at 1.25 mg/mL to $35.89{\pm}0.8%$ at 2.5 mg/mL. The tyrosinase inhibitory activity test was performed to measure skin-whitening capacity and revealed the LB-fermented EtOH extracts to be the most efficacious ($39.1{\pm}0.4%$ at 0.725 mg/mL, $62.8{\pm}1.5%$ at 2.5 mg/mL). Viability was found to exceed 85% in RAW 264.7 cells treated with all extracts (water, EtOH, 70% EtOH at 10, 25, $50{\mu}L$, fermented and non-fermented), thus proving that Gastrodia elata Blume extracts do not cause inflammation. When RAW 264.7 cells were stimulated with lipopolysaccharide as positive controls under the same conditions to determine the antioxidant activity in the presence of reactive oxygen species (ROS), EM-fermentation was found to impart excellent antioxidant capacity. This study verified the physiological activities of fermented Gastrodia elata Blume extracts that are best suited for cosmetic ingredients, such as antioxidants, tyrosinase inhibitors and anti-inflammatory agents.

• Journal of Life Science
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• v.21 no.6
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• pp.858-864
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• 2011

The phenolic compounds of walnut extracts by various solvents were shown to be 24.3 mg/g in hot water, 34.4 mg/g in ethanol, 32.5 mg/g in methanol and 15.1 mg/g in acetone. In a comparison of phenolic compounds from hot water and different concentrations of ethanol, which are harmless, 60% ethanol extract and hot water extract were 34.7 mg/g, 24.6 mg/g. The electron donating ability (EDA) of walnut extracts in hot water and 60% ethanol were 78.1% and 80.6%. According to ABTS radical cation decolorization for antioxidant activity, hot water and 60% ethanol extract showed high antioxidant activities of 98.1% and 98.3%. Antioxidant protection factor (PF) were $1.1{\pm}0.2$ PF and $1.1{\pm}0.4$ PF in hot water and 60% ethanol extract. In TBARs inhibitory activity, each extract showed high antioxidant activities at 60% and 75%. Anti-inflammation effects of walnut extract were tested, and inhibition of NO was 50% in 100 ${\mu}g/ml$ phenolics. Inhibitory activity against iNOS and COX-2 were shown, through Western blot, to be 10% in 100 ${\mu}g/ml$ phenolics. Tyrosine inhibitory activity of 60% ethanol extract was 43%, and astringent effect of 60% ethanol extract was 55%. These results suggest that walnut extracts are suitable for functional cosmetics requiring skin-whitening and anti-wrinkle activity.