Fabrication of the Silicon Nano Structure applicable to Non-volatile Memory Device using Block Copolymer (비휘발성 메모리 소자 응용을 위한 블록 공중합체를 이용한 실리콘 나노 구조 제작)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2005.07a
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- pp.95-96
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- 2005