• 제목/요약/키워드: Nano patterns

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증착온도를 달리하여 제조한 Zn0.8Co0.2O 박막의 미세조직 및 자기 특성 (Microstructure and Magnetic Properties of Pulsed DC Magnetron Sputtered Zn0.8Co0.2O Film Deposited at Various Substrate Temperatures)

  • 강영훈;김봉석;태원필;김기출;서수정;박태석;김용성
    • 한국세라믹학회지
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    • 제43권2호
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    • pp.79-84
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    • 2006
  • We studied the microstructure and magnetic property of the pulsed DC magnetron sputtered $Zn_{\0.8}Co_{0.2}O$ film as a function of substrate temperatures. The X-ray patterns of the $Zn_{\0.8}Co_{0.2}O$ film showed a strong (002) preferential orientation at $500^{\circ}C$. The films with a crystallite size of 23-35 nm were grown in the form of nano-sized structure and this tendency was remarkable with increasing substrate temperature. The UV-visible result showed that the $Zn_{\0.8}Co_{0.2}O$ film prepared above $300^{\circ}C$ has a high optical transmittance of over $80\%$ in the visible region. The absorption bands were observed due to sp-d interchange action by $Co^{2+}$ complex ion and dd transition in the region from 500 to 700nm. The resistivity of the film was below $10^{-1}\;\Omega-cm\;above\;300^{\circ}C$. The AGM analysis results for the all films showed the magnetic hysteresis curves of ferromagnetic nature. The low electrical resistivity and room temperature ferromagnetism of ZnCoO thin films 'deposited above $300^{\circ}C$ suggested the possibility for the application to Diluted Magnetic Semiconductors (DMSs).

EPS(elementwise patterned stamp)활용 UV나노임프린트 공정에서의 웨이퍼 미소변형의 영향 (The effect of wafer deformation on UV-nanoimprint lithography using an EPS(elementwise patterned stamp))

  • 심영석;정준호;손현기;이응숙;방영매;이상찬
    • 한국진공학회지
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    • 제14권1호
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    • pp.35-39
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    • 2005
  • 본 실험에서는 단위요소 사이에 채널을 갖는 Elementwise Patterned Stamp (이하 EPS)를 이용하여 싱글스탭 (single step)으로 4인치 웨이퍼를 임프린트 하는 공정을 수행하였다. 단위요소간의 간격이 3m인 EPS를 이용한 임프린트에서 50 - 100nm급의 패턴을 성공적으로 형성하였다. 그러나 임프린트 과정 중 EPS의 채널 부분에서 웨이퍼의 미소변형이 발생하여 단위요소의 미충전과 불균일한 잔여층이 형성되는 문제들이 발생하였다. 본 논문에서는 이러한 웨이퍼의 미소변형이 단위요소 충전과 패턴형성에 미치는 영향을 확인해 보기 위해 웨이퍼의 두께를 100 - 500㎛로 변화시켜가며 임프린트 실험을 수행하였고, 유한요소법(Finite Element Method, FEM)을 이용한 수치모사를 통하여 실험결과를 확인하였다. 또한 웨이퍼의 미소변형이 발생하는 또 다른 요인인 EPS의 채널 폭을 3mm, 2mm, 1mm로 변화시키며 수행한 수치모사를 통하여 안정된 임프린트 조건을 제시하였다.

Rod Milling과 Chemical Leaching에 의해 제작된 비평형 Al(Fe-Cu) 합금 분말의 결정화 및 자기적 특성 (Crystallization and Magnetic Properties of Non-Equilibrium Al(Fe-Cu) Alloy Powders Produced by Rod Milling and Chemical Leaching)

  • 김현구
    • 한국분말재료학회지
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    • 제11권6호
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    • pp.486-492
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    • 2004
  • We report the crystallization and magnetic properties of non-equilibrium $Al_{0.6}(Fe_{x}Cu_{1-x})_{0.4}(x=0.25, 0.50, 0.75)$ alloy powders produced by rod-milling as well as by new chemical leaching. X-ray diffractometry, transmission electron microscopy, differential scanning calorimetry and vibrating sample magnetometry were used to characterize the as-milled and leached specimens. After 400 h or 500 h milling, only the broad peaks of nano bcc crystalline phases were detected in the XRD patterns. The crystallite size, the peak and the crystallization temperatures increased with increasing Fe. After being annealed at $600{^\circ}C$ for 1 h for as-milled alloy powders, the peaks of bcc $AlCu_{4}\;and\;Al_{13}Cu_{4}Fe_{3}\;for\;x=0.25,\;bcc\;AlCu_{4}\;and\;Al_{5}Fe_{2}\;for\;x=0.50,\;and\;Al_{5}Fe_{2},\;and\;Al_{0.5}Fe_{0.5}\;for\;x=0.75$ are observed. After being annealed at $500{^\circ}\;and\;600{^\circ}C$for 1 h for leached specimens, these non-equi-librium phases transformed into fcc Cu and $CuFe_{2}O_{4}$phases for the x=0.25 specimen, and into bcc ${\alpha}-Fe,\;fcc\;Cu,\;and\;CuFe_{2}O_{4}$ phases for both the x=0.50 and the x=0.75 specimens. The saturation magnetization decreased with increasing milling time for $Al_{0.6}(Fe_{x}Cu_{1-x})_{0.4}$ alloy powders. On cooling the leached specimens from $800{\~}850^{\circ}C$,\;the magnetization first sharply increase at about $491.4{\circ}C,\;745{\circ}C,\;and\;750.0{\circ}C$ for x=0.25, x=0.50, and x=0.75 specimens, repectively.

Investigation of Coke Formation on H-ZSM-5 Catalyst During Aromatization of C5 Paraffin and Olefin Using Optical and Fluorescence Microscopy

  • Chung, Young-Min
    • 청정기술
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    • 제19권3호
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    • pp.327-332
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    • 2013
  • 광학 및 형광 현미경을 이용한 실시간 촉매 모니터링 기술을 활용하여 C5 파라핀과 올레핀의 방향족화 반응 중 H-ZSM-5 촉매 표면에서 발생하는 코크 형성 과정을 시간별, 촉매 위치별로 관찰하였다. 실시간 자외-가시광 분광현미경(in-situ UV-vis microspectroscopy) 실험을 통해 반응 중 촉매 표면에서 발생하는 코킹 현상에 대한 정보를 실시간으로 얻을 수 있었으며, 그 결과, 결정의 위치와 반응물의 종류에 따라 코크 형성이 크게 달라짐을 확인하였다. 실시간 공초점형 형광현미경(in-situ confocal fluorescence microscopy) 연구에서는, 488 nm 레이저에 의해 형광을 나타내는 화학종들은 높은 분포로 결정의 중앙부분에 존재하며, 561 nm 레이저에 의해 형광을 발현하는 화학종들은 촉매 결정의 외곽으로 이동하는 것을 관찰하였다. 이러한 결과는, 코크 전구체의 크기에 따라 형광 발현 현상이 다르며, 따라서, 촉매의 위치에 따라 다른 종류의 코크 전구체가 존재한다는 것을 시사한다.

Effects of Viscosity on Dispersion Stability of Nano CoAl2O4 Ceramic Ink

  • Lee, Ji-Hyeon;Hwang, Hae-Jin;Kim, Jin-Ho;Hwang, Kwang-Taek;Han, Kyu-Sung
    • 한국세라믹학회지
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    • 제52권6호
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    • pp.497-501
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    • 2015
  • Inkjet printing is a widespread technology, offering advantages such as high-quality decoration, a continuous process, and the accurate direct reproduction of patterns or pictures. In inkjet printing technology, the dispersion stability of ceramic ink is one of the most important factors. In this study, the dispersion stability of blue $CoAl_2O_4$ ink for ceramic inkjet printing is systematically investigated. Blue $CoAl_2O_4$ pigment was synthesized by a solid-state reaction and then milled to less than 300nm in size. In order to investigate the influence of the viscosity on the dispersion stability, two types of $CoAl_2O_4$ ceramic inks (termed here Blue L and Blue H) were prepared using different volume ratios of ethylene glycol and ethanol. The Blue L and Blue H ink solutions contained cetyltrimethylammonium bromide(CTAB) as a dispersive agent. The viscosity, surface tension and jetting stability of the $CoAl_2O_4$ ceramic inks were analyzed using a rheometer, a surface tension meter and a dropwatcher. The dispersion stability of the $CoAl_2O_4$ ceramic ink was investigated by a multiple light-scattering method. Blue H, a ceramic ink with higher viscosity, showed much better dispersion stability than the Blue L ceramic ink.

Importance of convection during physical vapor transport of Hg2Cl2 in the presence of Kr under environments of high gravitational accelerations

  • Kim, Geug-Tae
    • 한국결정성장학회지
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    • 제22권1호
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    • pp.29-35
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    • 2012
  • Special attention in the role of convection in vapor crystal growth has been paid since some single crystals under high gravity acceleration of $10g_0$ appear considerably larger than those under normal gravity acceleration ($1g_0$). With increasing the gravity acceleration from $1g_0$ up to $10g_0$, the total molar flux for ${\Delta}T$ = 30 K increases by a factor of 4, while for ${\Delta}T$ = 90, by a factor of 3. The maximum molar fluxes for three different gravity levels of $1g_0$, $4g_0$ and $10g_0$, appear approximately in the neighborhood of y = 0.5 cm, and the molar fluxes show asymmetrical patterns, which indicate the occurrence of either one single or more than one convective cell. As the gravitational level is enhanced form $1g_0$ up to $10g_0$, the intensity of convection is increased significantly through the maximum molar fluxes for ${\Delta}T$ = 30 K and 90 K. At $10g_0$, the maximum total molar flux is nearly invariant for for ${\Delta}T$ = 30 K and 90 K. The total molar flux increases with increasing the gravity acceleration, for $1g_0{\leq}g_y{\leq}10g_0$, and decreases with increasing the partial pressure of component B, a noble gas called as Kr (Krypton), $P_B$. The ${{\mid}U{\mid}}_{max}$ is directly proportional to the gravity acceleration for 20 Torr $P_B{\leq}300$ Torr. As the partial pressure of $P_B$ (Torr) decreases from 300 Torr to 20 Torr, the slopes of the ${{\mid}U{\mid}}_{max}s$ versus the gravity accelerations increase from 0.29 sec to 0.54 sec, i.e. by a factor of 2. The total molar flux of $Hg_2Cl_2$ is first order exponentially decayed with increasing the partial pressure of component B, $P_B$ (Torr) from 20 Torr up to 300 Torr.

세라믹-금속 기반 LED 어레이 패키지의 저온동시소성시 휨발생 억제 연구 (Low Temperature Co-firing of Camber-free Ceramic-metal Based LED Array Package)

  • 허유진;김효태
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제23권4호
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    • pp.35-41
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    • 2016
  • 고출력 LED 조명용 패키지를 제조함에 있어서 발열은 LED의 광출력과 수명에 매우 중요한 영향을 주는 인자로 알려져 있다. 본 연구에서는 가로등용 고출력 LED 패키지를 개발함에 있어서 효과적인 방열을 하기 위하여 방열효과가 상대적으로 우수한 구조인 chip-on-a-heat sink 구조를 가지는 세라믹-메탈 기반의 패키지를 제조하였다. 열확산 기능을 하는 heat sink 기판소재는 알루미늄 합금을, LED 어레이 회로를 형성하는 절연막으로는 저온동시소성용 glass-ceramics을 사용하였다. 특히 열처리 시 가장 이슈가 되는 세라믹-금속 하이브리드 패키지 기판의 휨을 억제하기 위한 수단으로서, glass-ceramic 절연막을 부분 코팅함으로써 휨현상을 용이하게 줄일 수 있게 되었다. 또한, LED 패키지의 방열특성의 향상 즉 열저항도 기존의 MCPCB 패키지나 전면 코팅형 절연막 패키지에 비해 훨씬 낮아지는 효과를 얻었을 뿐 아니라, 세라믹 코팅소재의 절감효과도 볼 수 있게 되었다.

8자 진동교반에 의한 교반조내 유동상태 및 물질전달 특성 (Characteristics of Flow Pattern and Mass Transfer in a Shaking Vessel with Figure-Eight Circulating Motion)

  • 이영세;카토 요시히토
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제53권2호
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    • pp.174-180
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    • 2015
  • 8자 진동교반조에 대해 실험적으로 유동상태를 관찰하여 혼합 가시화, 소요동력, 고-액 및 기-액 물질이동에 대한 여러가지의 특성을 측정하였다. 진동수가 증가하면 유동상태, 혼합시간 소요동력 및 물질이동계수는 규칙적으로 변하지 않으므로 조작조건의 선정이 중요하다. 어떤 진동수에서라도 Fr = 0.095 이상에서는 실험적으로 명확하게 되었다. 이때 교반조내 유체는 선회류형으로 되어 혼합에 적합한 상태가 되고, 8자 진동교반에서의 최적 조작범위는 왕복 진동교반 보다도 넓었다. 8자 진동교반과 기존의 선회진동교반내의 고-액간 물질이동계수는 완전히 같은 식으로 상관되었다. 또한 기-액간 물질이동용량계수도 기존의 선회진동교반에서의 식과 같은 형태의 상관식으로 나타났다.

Removal of Heavy Metals from Wastewater using α-Fe2O3 Nanocrystals

  • Tsedenbal, Bulgan;Lee, Ji Eun;Huh, Seok Hwan;Koo, Bon Heun;Lee, Chan Gyu
    • 한국재료학회지
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    • 제30권9호
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    • pp.447-452
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    • 2020
  • In this work, α-Fe2O3 nanocrystals are synthesized by co-precipitation method and used as adsorbent to remove Cr6+, Cd2+, and Pb2+ from wastewater at room temperature. The prepared sample is evaluated by XRD, BET surface area, and FESEM for structural and morphological characteristics. XRD patterns confirm the formation of a pure hematite structure of average particle size of ~ 40 nm, which is further supported by the FESEM images of the nanocrystals. The nanocrystals are found to have BET specific surface area of ~ 39.18 m2 g-1. Adsorption experiments are carried out for the different values of pH of the solutions, contact time, and initial concentration of metal ions. High efficiency Cr6+, Cd2+, and Pb2+ removal occur at pH 3, 7, and 5.5, respectively. Equilibrium study reveals that the heavy metal ion adsorption of the α-Fe2O3 nanocrystals followed Langmuir and Freundlich isotherm models. The Cr6+, Cd2+, and Pb2+ adsorption equilibrium data are best fitted to the Langmuir model. The maximum adsorption capacities of α-Fe2O3 nanocrystals related to Cr6+, Cd2+, and Pb2+ are found to be 15.15, 11.63, and 20 mg g-1, respectively. These results clearly suggest that the synthesized α-Fe2O3 nanocrystals can be considered as potential nano-adsorbents for future environmental and health related applications.

무기고분자의 나노임프린트법에 의한 세라믹 선형 패턴의 제조 (Fabrication of Ceramic Line Pattern by UV-Nanoimprint Lithography of Inorganic Polymers)

  • 박준홍;팜안뚜앙;이재종;김동표
    • 폴리머
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    • 제30권5호
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    • pp.407-411
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    • 2006
  • 액상의 고분자 전구체 polyvinylsilazane (PVS) 혹은 allylhydridopolycarbosilane(AHPCS)를 실리콘 기판 위에 스핀 코팅한 다음, DVD 마스터로부터 제조된 polydimethylsiloxane(PDMS) 몰드를 이용한 자외선 나노임프린트법으로 나노 크기의 고분자 패턴을 제조하였다. 나아가 질소 분위기하에서 $800^{\circ}C$ 열처리함으로써 각각 SiCN, SiC 세라믹 패턴도 제조하였다. 가교된 고분자와 세라믹 패턴의 폭과 넓이를 원자힘현미경(AFM)과 주사전자현미경(SEM)으로 관측한 결과 PVS와 AHPCS의 패턴 높이는 각각 38.5%와 24.1%, 패턴 폭은 18.8%와 16.7%의 수축률을 나타내었다. 즉 전구체의 세라믹 수율이 높을수록 세라믹 패턴 수축률은 낮아졌고, 패턴과 기판과의 접착에 의한 수축억제로 이방성 수축현상도 관찰되었다. 본 연구결과는 새로운 세라믹 MEMS 소자제작공정으로서 나노임프린트법의 가능성과 수축률 제어 연구가 필요함을 제시하고 있다.