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SPMSM을 이용한 침상침하용 재봉틀 구동시스템 개발 (Development of a SPMSM Drives System for Industrial Sewing Machine)

  • 박내춘;김상훈;박세훈;박경두
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.115-116
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    • 2010
  • 본 논문에서는 PMSM(Permanent Magnet Synchronous Motor)을 이용한 재봉틀 구동시스템을 개발하였다. 전차원 관측기를 이용하여 속도를 추정하고, 벨트(Belt)에 의한 외란 토크를 추정하여 보상하였다. 개발된 재봉틀 구동시스템을 실제 재봉틀에 장착하여 그 효용성을 검증하였다.

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Uniform field emission on ink-jet printed CNT emitters through oxygen trimming

  • 송대훈;윤호규;한종훈;김성현;이경일;이철승;이내성;이한성
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.450-450
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    • 2010
  • Recently, field emission emitters made by carbon nanotubes(CNTs) and ink-jet method have been extensively studied due to their low cost, little limitation of size and a high resolution. When CNT emitters are operated, a few highly protruded ones generate most of the emission currents that cause spatial nonuniformity. In this study, we applied selective oxidation to solve this problem on ink-jet printed CNT emitters. Consequently, O2 exposures to field emitting CNT arrays give rise to a permanent damage selectively on the highly emitting CNTs. In spite of turn-on field increase, emission images was showed remarkably uniform after oxygen trimming.

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차세대 STI Gap Fill 방법의 연구

  • 유진혁;김희대;한정훈;강대봉;이대우;서승훈;이내응;손종원
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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    • pp.151-152
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    • 2007
  • 최근들어 Device 크기가 100nm 이하로 줄어듦에 따라 High Density Plasma Chemical Vapor Deposition(HDP-CVD) 기술로는 100nm 이하의 gap에 Aspect ratio가 6:1 이상 되는 STI(Shallow Trench Isolation) 구조를 Void 없이 채우는 것이 불가능해 지고 있다. 이를 극복하기 위하여 여러 방면으로 연구가 수행되어지고 있다. 그 방법 중의 하나인 Dep/Etch/Dep Cycle이 이번 연구에서 사용되었으며, 일반적인 HDP CVD보다 더 낮은 압력에서 증착과 식각이 수행되었다. 그 결과 다른 여러 방법들보다 좋은 막질을 얻을 수 있었으며, Gap fill 성능을 향상 시킬 수 있었다.

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