• 한국진공학회지
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• 제4권S1호
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• pp.21-27
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• 1995

AI planarization 공정을 위한 barrier로서 CVD 및 PVD 방법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성에 대하여 연구하였다. CVD TiN은 TDMAT source를 사용한 MOCVD방법으로 증착하였으며, PVD TiN은 1:1 aspect ratio(A/R)를 갖는 collimator를 사용한 reactive wputtering법으로 증착하였다. AES, SEM을 이용하여 CVD TiN과 PVD TiN의 조성을 분석하고 barrier 특성을 평가하였다. CVD TiN, PVD TiN 모두 400$\AA$의 두께와 RTA 처리에 의해서 AI planarization에 대한 양호한 barrier 특성을 확보할 수 있었다.

• 대한방사선치료학회지
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• 제31권1호
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• pp.57-65
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• 2019

목 적: 전자선 치료에서 저 용융점 납합금과 순수 납을 이용한 차폐 시 두께증가에 따른 블록 가장자리의 산란선 영향을 알아보고자 한다. 대상 및 방법: $10{\times}10cm^2$ 어플리케이터의 Insert Frame 절반을 차폐하도록 블록을 제작하였고, 두께는 각 재질당 3, 5, 10, 15, 20 (mm)로 하였다. 공통 조건을 에너지 6 MeV, 선량률 300 MU/Min, 갠트리 각도 0, 부여선량 100 MU으로 설정하였고, 블록의 위치와 측정점의 위치, 블록재질을 각각 달리하여 블록 두께증가에 따른 상대적인 산란비율을 평행평판형 전리함과 고체팬텀으로 측정하였다. 결 과: (측정 깊이 / 블록 위치 / 블록 재질)이 (표면 / 어플리케이터 / 순수 납)일 때 블록 두께가 3, 5, 10, 15, 20 (mm) 순으로 증가함에 따라 상대선량은 15.33 nC, 15.28 nC, 15.08 nC, 15.05 nC, 15.07 nC로 측정되었다. (표면 / 어플리케이터 / 합금 납)일 때 15.19 nC, 15.25 nC, 15.15 nC, 14.96 nC, 15.15 nC로 측정되었다. (표면 / 팬텀 위 / 순수 납)일 때 15.62 nC, 15.59 nC, 15.53 nC, 15.48 nC, 15.34 nC로 측정되었다. (표면 / 팬텀 위 / 합금 납)일 때 15.56 nC, 15.55 nC, 15.51 nC, 15.42 nC, 15.39 nC로 측정되었다. (심부 / 어플리케이터 / 순수 납)일 때 16.70 nC, 16.84 nC, 16.72 nC, 16.88 nC, 16.90 nC로 측정되었다. (심부 / 어플리케이터 / 합금 납)일 때 16.83 nC, 17.12 nC, 16.89 nC, 16.77 nC, 16.52 nC로 측정되었다. (심부 / 팬텀 위 / 순수 납)일 때 17.41 nC, 17.45 nC, 17.34 nC, 17.42 nC, 17.25 nC로 측정되었다. (심부 / 팬텀 위 / 합금 납)일 때 17.45 nC, 17.44 nC, 17.47 nC, 17.43 nC, 17.35 nC로 측정되었다. 결 론: 차폐블록을 이용하여 전자선 치료를 진행할 때 블록위치는 환자 체표면보다는 어플리케이터에 삽입하고 두께는 각 사용 에너지에 해당되는 최소 적정차폐두께로 제작해야 한다. 또한 블록 가장자리 경계선으로부터 떨어진 거리에 따라 변화하는 산란선의 영향을 충분히 고려하여 치료를 시행하는 것이 바람직하다고 사료된다.

• 한국물환경학회지
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• 제22권2호
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• pp.230-237
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• 2006

The operational parameters and control strategies of a tertiary wastewater treatment process a biological filtration system were investigated. The biological filtration system consisted of a nitrification filter (Fiter 1) and a polishing filter with anoxic and aerobic parts (Filter 2). SS, T-C-BOD, and T-N in effluent were kept stable at less than 3, 5 mg/L, and 5 mgN/L, respectively, under a HRT in Filter (filter-bed) of 0.37~2.3 h. T-N at the outlet of Filter 2 were about 1~5 mgN/L under the condition of LV of 50~202 m/d. Methanol addition was controlled based on the COD/N ratio or McCarty's equation. Constant COD/N ratio control results in excess addition under large diurnal fluctuation of $NOx^--N$, and McCarty's equation can be used to add appropriate amount of methanol. Control of methanol addition by on-line nitrate measurement, control of aeration by on-line DO measurement, and control of backwashing by head loss measurement are successfully operated. These results proved that this process prove the easy-maintenance and cost-effectively treatment is attainable.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제44권5호
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• pp.513-519
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• 2006

본 연구에서는 유리(glass)와 석영(quartz)을 재질로 사용하여 MEMS(micro-electro mechanical systems) 공정을 통해 전기영동(electrophoresis)을 위한 microchip을 제작하였다. UV 광이 실리콘(silicon)을 투과하지 못하는 점에 착안하여, 다결정 실리콘(polycrystalline Si, poly-Si) 층을 채널 이외의 부분에 증착시킨 광 차단판(optical slit)에 의해 채널에만 집중된 UV 광의 신호/잡음비(signal-to-noise ratio: S/N ratio)를 크게 향상시켰다. Glass chip에서는 증착된 poly-Si 층이 식각 마스크(etch mask)의 역할을 하는 동시에 접합표면을 적절히 형성하여 양극 접합(anodic bonding)을 가능케 하 였다. Quartz 웨이퍼에 비해 불순물을 많이 포함하는 glass 웨이퍼에서는 표면이 거친 채널 내부를 형성하게 되어 시료용액의 미세한 흐름에 영향을 미치게 된다. 이에 따라, HF와 $NH_4F$ 용액에 의한 혼합 식각액(etchant)을 도입하여 표면 거칠기를 감소시켰다. 두 종류의 재질로 제작된 채널의 형태와 크기를 관찰하였고, microchip electrophoresis에 적용한 결과, quartz과 glass chip의 전기삼투 흐름속도(electroosmotic flow velocity)가 0.5와 0.36 mm/s로 측정되었다. Poly-Si 층에 의한 광 차단판의 존재에 의해, peak의 S/N ratio는 quartz chip이 약 2배 수준, glass chip이 약 3배 수준으로 향상되었고, UV 최대흡광 감도는 각각 약 1.6배 및 1.7배 정도 증가하였다.

• Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
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• 제27권2호
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• pp.187-193
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• 2014

As a result of the cost of grains, the replacement of grains by co-products (i.e. DDGS) in feedlot diets is a common practice. This change produces diets that contain a lower amount of starch and greater amount of fibre. Hypothetically, combining feed grade urea (U) with slow release urea (Optigen) in this type of diet should elicit a better synchrony between starch (high-rate of digestion) and fibre (low-rate of digestion) promoting a better microbial protein synthesis and ruminal digestion with increasing the digestible energy of the diet. Four cannulated Holstein steers ($213{\pm}4$ kg) were used in a $4{\times}4$ Latin square design to examine the combination of Optigen and U in a finishing diet containing different starch:acid detergent fibre ratios (S:F) on the characteristics of digestive function. Three S:F ratios (3.0, 4.5, and 6.0) were tested using a combination of U (0.80%) and Optigen (1.0%). Additionally, a treatment of 4.5 S:F ratio with urea (0.80% in ration) as the sole source of non-protein nitrogen was used to compare the effect of urea combination at same S:F ratio. The S:F ratio of the diet was manipulated by replacing the corn grain by dried distillers grain with solubles and roughage. Urea combination did not affect ruminal pH. The S:F ratio did not affect ruminal pH at 0 and 2 h post-feeding but, at 4 and 6 h, the ruminal pH decreased as the S:F ratio increased (linear, p<0.05). Ruminal digestion of OM, starch and feed N were not affected by urea combination or S:F ratio. The urea combination did not affect ADF ruminal digestion. ADF ruminal digestion decreased linearly (p = 0.02) as the S:F ratio increased. Compared to the urea treatment (p<0.05) and within the urea combination treatment (quadratic, p<0.01), the flow of microbial nitrogen (MN) to the small intestine and ruminal microbial efficiency were greater for the urea combination at a S:F ratio of 4.5. Irrespective of the S:F ratio, the urea combination improved (2.8%, p = 0.02) postruminal N digestion. As S:F ratio increased, OM digestion increased, but ADF total tract digestion decreased. The combination of urea at 4.5 S:F improved (2%, p = 0.04) the digestible energy (DE) more than expected. Combining urea and Optigen resulted in positive effects on the MN flow and DE of the diet, but apparently these advantages are observed only when there is a certain proportion of starch:ADF in the diet.

• 한국재료학회지
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• 제11권7호
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• pp.580-584
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• 2001

Ti과 Si의 비가 서로 다른 종류의 타 을 $Ar/N_2$의 혼합기체를 사용하여 rf magnetron sputtering방법으로 증착된 Ti-Si-N박막의 증착특성에 대해 연구하였다. Ti-Si-N박막의 조성과 증착률은 각 타 Ti/Si의 비율과 증착시의 질소기체의 유량에 따라 크게 변하였다. 이것은 Ti과 Si의 nitriding 정도의 차이로 인한 서로 다른 sputter yield에 의한 것으로 나타났다. Si이 비교적 적게 포함된 Ti-Si-N박막은 증착시부터 박막내 TiN의 결정화가 일어났으며, 낮은 비저항을 나타내었다. N의 함량의 증가는 박막의 밀도와 압축응력을 증가시켜 Ti-Si-N박막의 확산방지 능력에 큰 영향을 미치는 인자로 나타났다. 본 연구에서 $N_2$의 유략과 타 의 Ti/Si비율을 조절함으로써 효율적인 확산방지막인 Ti-Si-N 박막의 공정조건을 확립할 수 있었다. 박막의 공정조건을 확립할 수 있었다.

• 한국자기학회지
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• 제2권2호
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• pp.156-162
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• 1992

저자장방법으로 양성자 자기회전비율을 측정할 때, 지자장을 상쇄시켜 무자장 실험공간을 형성시킬 필요가 있다. 이를 위해 일정한 자장성분은 헬름홀쯔코일에 흐르는 정전류에 의하여 상쇄 되고, 미소변화 자장은 폐회로를 구성하는 궤환장치에 의해 자동적으로 상쇄되는 지자장 상쇄장치 를 설계하였다. 지자장성분을 상쇄하기 위해 코일상수가 같은 대형 및 소형 3축 헬름홀쯔코일과 미 소변화 자장 상쇄용 궤환증폭기를 제작하였다. 제작된 시스템을 사용하여 일반실험실 내에서 예비 실험을 한 결과 수십 ${\mu}T$ 의 일정한 자장성분과 ${\pm}100nT$ 의 미소변화 자장을 상쇄하여 잔류자 장이 ${\pm}10nT$ 이하인 공간을 형성하였다.

• Nutritional Sciences
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• 제5권2호
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• pp.53-59
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• 2002

This study was conducted to examine the effects of dietary sources of fatty acids and protein on serum protein profiles, hepatic functional enzyme activities, mammary tumor incidence and tumor weight in 7, 12-dimethylbenz($\alpha$)anthracene (DMBA)-treated rats. The sources of dietary fatty acids were 18n6 (rich in linoleic acid), 18n3 (rich in linolenic acid) and 22n3 (rich in DHA) : sources of dietary protein were casein (C) and soy protein isolate (S). mammary tumors (MTs) were chemically induced by DMBA (9 mg/100 g body weight) which was gastrically intubated at 7 weeks of age. Each experimental diet was given for the following 25 weeks. Casein-fed rats (group C) exhibited significantly higher levels of weight gain and FER (food efficiency ratio) than did group S. Group C showed higher levels of serum protein and globulin, and higher albumin/globulin (A/G) ratios than group S. Liver functional enzyme activities (GOT, GPT, ALP, LDH, $\gamma$-GT) and LDH/GOT ratios were not influenced by dietary protein. GPT activity was lower in the group given 18n3, and ALP activity was lower in the group given 18n6. The incidence and total number of MTs appeared to be lower in the group given 22n3 than in the group given 18n3 or 18n6, even though the average weight of MTs was highest in the group given 22n3, The average weight of MTs was higher in the C group than in the S group. MT incidence had a positive correlation with LDH activity and LDH/GOT ratio. The average weight of MTs had a negative correlation with serum albumin levels and A/G ratios, and a positive correlation with ALP activity. This research suggests that the measurement of serum protein profiles and liver functional enzyme activities may be utilized to monitor the development of mammary tumors.

• 핵의학기술
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• 제14권2호
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• pp.155-158
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• 2010

$^{99m}Tc$-macroaggregated albumin (MAA) 를 이용한 간동맥 관류스캔(hepatic arterial perfusion scintigraphy, HAPS)은 간종양의 경동맥 화학요법을 위해 종양의 관류 등을 평가하는데 매우 유용한 방법으로 알려져 있다. 본 연구는 간암환자(hepatocellular carcinoma, HCC)에서의 정상 간 조직에 대한 간세포암의 상대적인 혈류량을 평가하여 종양의 형태, 크기와 lung shunting, tumor to normal ratio (T/N ratio)를 측정하여 HAPS 의 유용성을 알아보고자 하였다. 2009년 6월부터 2009년 9월까지 본원에서 HCC 진단을 받은 환자 7명(평균 64세, 남자 6명, 여자 1명)을 대상으로 하였다. $^{99m}Tc$-MAA 5 mCi를 간 동맥 내에 위치된 카테타를 통하여 주입하고 20분경과 후 HAPS를 시행하였다. 환자의 흉부와 복부가 포함되게 시야를 잡고 anterior, posterior, both lateral 상을 얻고 SPECT를 시행하였다. liver, tumor, lung의 ROI를 그리고 각각의 count와 count/pixel (mean value) 를 구하여 lung shunting, T/N ratio를 구하였다. anterior, posterior 상에서 얻어진 ROI에서 얻어진 tumor size는 2.0~10.8 cm(평균 3.75 cm), liver size 는 8.8~18.5 cm(평균14.6 cm)였다. total tumor와 total normal의 mean value를 통해 얻은 T/N ratio의 범위는 2.41~5.76(평균 3.8)였다. total lung과 total liver의 counts를 통해 얻은 lung shunting의 범위는 3.14~13.92%(평균 6.77%)였다. $^{99m}Tc$-MAA를 이용한 HAPS 는 정상 간 조직에 비해 간세포암내에 강한 방사능 섭취를 보였으며 종양의 크기, 위치 및 T/N ratio를 통한 정량적 관류 평가를 할 수 있었다. 또한 폐 섭취 빈도는 종양 내 동정맥 단락을 추정할 수 있어 간동맥 동위원소 치료 전 단락 유무를 평가할 수 있다는 점이 유용하게 활용될 수 있을 것이다. 따라서 $^{99m}Tc$-MAA를 이용한 HAPS는 간암의 평가 및 치료를 결정 할 수 있는 유용한 검사법으로 이용될 수 있을 것으로 사료된다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2000년도 하계학술대회 논문집
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• pp.5-8
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• 2000

The population density of excited species in dc, rf and laser ablation plume plasmas has been measured using laser absorption spectroscopy. It was shown that, when the plasma was modulated by on and off with, the sensitivity and signal to noise (S/N) ratio became high. For example, the atomic O(3$^{5}$ S$^{o}$ $_2$) Population density, No* in $O_2$/He mixtures was obtained by the highest S/N ratio at a frequency of 2.7kHz. In a 20Torr room air, the lowest No* level to be detectable was shown to be an order of 10$^{7}$ cm$^{-3}$ . The population densities of resonance Ar(1S$_2$) and Xe(1S$_4$) levels were also measured in barrier discharges and laser ablation plasmas.