Sol-Gel법에 의한 ${Ta_2}{O_5}$ 박막의 전기전도와 광학적 특성
(The Electrical Conduction and Optical Properties of ${Ta_2}{O_5}$ Thin Films by Sol-Gel Method)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제13권7호
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- pp.575-582
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- 2000