본 논문에서는 솔레노이드 형태의 칩 인덕터와 나선형태의 박막 인덕터에 대하여 주파수 특성을 비교 분석하여 장 단점을 정의하고자 한다. 솔레노이드형 RF 칩 인덕터는 $1.0mm{\times}0.5mm{\times}0.5mm$의 크기에 11nH의 인덕턴스를 가질 수 있도록 6회 권선하였다. 나선형 박막 인덕터는 $213{\mu}m{\times}250{\mu}m{\times}304{\mu}m$의 크기에 11nH의 인덕턴스를 가질 수 있도록 7회 권선하였다. 시뮬레이션을 위하여 AnSoft사의 HFSS를 이용하였으며, 이 결과 솔레노이드형 RF 칩 인덕터는 2GHz에서 77 정도의 품질계수와 5.6GHz의 SRF를 가진다. 반면 나선형 박막 인덕터는 2GHz에서 14 정도의 품질계수와 4.5GHz의 SRF를 가진다. 성능면에서는 솔레노이드형 RF 칩 인덕터가 우수한 특성을 나타내었으나 크기를 감소시키는데 제한을 받으므로, 향후 소형 경량화를 위하여 박막 인덕터의 개발은 필수적이며, 성능을 더욱 향상시키기 위하여 나선형태와 재료의 개발이 필수적이라 하겠다.
MgO nanodots have been deposited and formed on top of the substrate surface. Mg was sputtered to form the MgO nanodots on the single crystal substrates by rf-sputtering method and followed by heat treatment in the oxygen ambient. The deposition and formation of MgO nanodots have been controlled systematically using the process variables such as substrate temperature, sputtering time, and rf-power. As the substrate temperature increased from the room temperature the density of MgO nanodots decreased. The optimal conditions of MgO nanodots formation using the rf-sputtering was investigated and the maximum density of more than $230/{\mu}m^2$ on single crystal substrates was obtained when the rf-power of 100 watts was applied for 30 seconds at room temperature. The typical size of MgO nanodots was identified to be <160 nm(diameter) and 4-30nm (height) by atomic force microscopy. The modulated surface morphology was examined through surface images and cross-section analysis and discussed for the artificial pinning sites in the superconducting films.
Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TC
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v.44
no.11
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pp.48-53
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2007
In this paper, a high LO-RF isolation W-band MIMIC single-balanced mixer was designed and fabricated using a branch line coupler and a ${\lambda}/4$ transmission line. The W-band MIMIC single-balanced mixer was designed using the $0.1\;{\mu}m$ InGaAs/InAlAs/GaAs Metamorphic HEMT diode. The fabricated MHEMT was obtained the cut-off frequency($f_T$) of 154 GHz and the maximum oscillation frequency($f_{max}$) of 454 GHz. The designed MIMIC single-balanced mixer was fabricated using $0.1\;{\mu}m$ MHEMT MIMIC process. From the measurement, the conversion loss of the single-balanced mixer was 12.8 dB at an LO power of 8.6 dBm. P1 dB(1 dB compression point) of input and output were 5 dBm and -8.9 dBm, respectively. The LO-RF isolations of single-balanced mixer was obtained 37.2 dB at 94 GHz. We obtained in this study a higher LO-RF isolation compared to some other balanced mixers in millimeter-wave frequencies.
In this paper, a 1.8㎓ low noise amplifier was designed and simulated using 0.2$\mu\textrm{m}$ Si CMOS process. Noise characteristics and s parameters were extracted for the 300$\mu\textrm{m}$ gate width and 0.25$\mu\textrm{m}$ gate length NMOS transistors. For high available power gain, each stage was designed cascode type. It revealed available power gain of 23.5dB, noise figure of 2.0dB, power consumption of 15㎽ at 2.5V. It was shown that designed low noise amplifier had good RF performance. Designed Si CMOS LNA is expected to be used for RF front-end in transceiver.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.28
no.12
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pp.1937-1941
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2004
We present lateral actuated piezoelectric actuator using U-shaped PZT strip and lever structure for the RF switch application. In the previous study of RF switch, they used horizontal contact switch fabricated by thin film metals. However, thin film metals could not generate large contact force due to low stiffness. In this work, we suggest lateral contact switch which makes large contact force by increasing stiffness. In addition, we use PZT actuator for the high force actuation. Generally actuator using thin film PZT moves to the vertical direction due to the neutral axis shift. Therefore we need lateral motion generation mechanism based on the thin film PZT actuator. In order to increase lateral motion of thin film PZT actuator, we use U-shaped PZT actuator using residual stress control. Also, thin film PZT actuator can generate very small lateral motion of 120${\times}$10$^{-6}$${\mu}{\textrm}{m}$/V for d$_{31}$ mode, thus we suggest lever structure to increase stroke amplification. From the experimental study, fabricated PZT actuator shows maximum lateral displacement of 1 ${\mu}{\textrm}{m}$, and break down voltage of the thin film PZT actuator is above 16V.
In this paper, we have proposed low temperature co-fired ceramic (LTCC) based packaging for RF MEMS devices. The packaging structure is designed and evaluated with 3D full field simulation. 50 ${\Omega}$ matched coplanar waveguide(CPW) transmission line is employed as the test vehicle to evaluate the performances of the proposed package structure. The line is encapsulated with the LTCC packaging lid and connected to the via feed line. To reduce the insertion loss due to the packaging lid, the cavity with via post is formed in the packaging lid. The performances of the package structure is simulated with the different cavity depth and via-to-via length. Simulation results show that the proposed package structure has reflection loss better than 20 dB and insertion loss lower than 0.1 dB from DC to 30 GHz with the cavity depth and via-to-via length of 300 ${\mu}m$ and 350 ${\mu}m$, respectively. To realize the designed package structure, the cavity patterning is tested using the sandblast of LTCC.
Reactive ion etching (RIE) characteristics of InP in the $Cl_2$/ CH_4/H_2$ discharges was investigated, as a function of the rf power, substrate temperature and gas composition. It was observed that the etch rate increased as the rf power, sample temperature and/or $Cl_2$ gas concentration increased. Etch rate of about 0.9$\mu\textrm{m}$/min was obtained at the optimum condition of 150W rf power, $180^{\circ}C$ substrate temperature and $10Cl_2$ /$5CH_4/85H_2$ gas ratio. Polymer formation was completely suppressed by adding $Cl_2$ to the $CH_4$ /$H_2$ discharges.
Titanium nitride films were deposited on the (100) oriented-p-type silicon substrates of RF plasma enhanced chemical vapor depositiom\n using a gaseous mixutre of TiCl$_{4}$, N$_{2}$, H$_{2}$ and Ar. The chemincal composition, structure and the rsistivituy of the films were investigated with the deposition variables such as the flow rate ratio of N$_{2}$/TiCl$_{4}$, the deposition temperature and the RF power. The deposition rate increases with increasing the flow rate ratio of N$_{2}$TiCl$_{4}$ and RF power, while the rate decreases with increasing the deposition temperature. As the flow rate ratio of N$_{2}$/TiCl$_{4}$ and depostion temperature increases within proper RF pwoer, the Cl concentartion in the films decreases and the stoichiometry and crystallingiy are improved, so decreases the resistivity of the films. The films depostied under the condition of the N$_{2}$/TiCl$_{4}$ ratio of 30, the RF power of 50W and the depostion temperature of 62$0^{\circ}C$ had the Cl content of 1.5at% and the resistivity of 56㏁cm. Also, the bottom coverage of the films was above 60% on the step with the width and depth of 0.6${\mu}{\textrm}{m}$$\times$0.6${\mu}{\textrm}{m}$.
This study examined the α-glucosidase inhibitory, and apoptosis- and anti-muscular-related factors of goat meat extracts from forelegs, hind legs, loin, and ribs. The goat meat extracts were evaluated for their α-glucosidase inhibitory activity. The gene and protein expression levels of Bcl-2-associated X (bax), p53, and p21 were examined by reverse transcription polymerase chain reaction (RT-PCR) and immunoblotting in AGS and HT-29 cells. The expression levels of Atrogin-1 and MHC1b were examined by RT-PCR in C2C12 myoblasts, and the expression levels of Atrogin-1, muscle atrophy F-box (MAFbx), muscle RING-finger protein-1 (MuRF-1), and myosin heavy chain-7 were investigated by immunoblotting. α-Glucosidase inhibitory activity was higher in ethanol extract than in hydrous and hot water extracts. BAX and p53 expression levels were higher (p<0.05) in AGS cells treated with goat meat extract than those of cells treated with no goat meat extract. In HT-29 cells, the protein expression levels of BAX, p53, and p21 were higher (p<0.05) in the cells treated with goat meat extract than those of cells not treated with goat meat extract. In dexamethasone-treated C2C12 cells, goat meat extract treatment lower (p<0.05) the expression of Atrogin-1 and lower (p<0.05) the expression of MAFbx and MuRF-1. The results of the present study indicate that goat meat extracts have α-glucosidase inhibitory activity in vitro. In addition, apoptosis was induced in AGS cells and HT-29 cells treated with goat meat extract, and anti-muscular atrophy activity was also observed in C2C12 cells treated with goat meat extract.
In this paper, a CMOS Tx RF/IF single chip for PCS applications is designed. The chip consumes 84mA from a 3V supply and the layout area without pads is 1.6mm$\times$3.5mm. Simulation results show that the RF block composed of a SSB RF block and a driver amplifier exhibits a gain of 14.8dB and an OIP3 of 7dBm. The image and carrier suppressions are 35dBc and 31dBc, respectively. The designed circuits are under fabrication using a 0.35${\mu}{\textrm}{m}$ CMOS process.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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