The equipments in semi-conductor, display and measurement fields require high precision and resolution positioning technology. High positioning control can be carried out by using linear motors with little vibration, backlash and friction. In this paper, the acceleration patterns of the moving Part are analyzed to obtain the optimum pattern which leads to the less vibration reduction of equipment. In addition, the effect of friction force in guide rail on position control accuracy is investigated to identify possibility of using current bearing system for nano-positioning control.
This paper gives a basic data of improving the performance of railroad signalling equipment by adopting GPS and wireless telecommunication technologies. These approach enable the moving block control of train, which can optimize train operation by reducing the distance between trains and maximize the railroad capacity. These method of detecting train position and controling train movement can also improve the train route control at stations.
This paper proposes a shaker system design for acceleration test of gimbal. Main reason of shaker system design is to give acceleration to the gimbal, which is moving and tracking the target on the tracking test equipment. The shaker system is mounted on the tracking test equipment. It uses the scotch yoke mechanism to have the constant movement in return. The Scotch yoke mechanism changes the rotational movement of constant velocity to simple harmonic motion.
In this study, to prevent accidents in underground facilities during excavation, we developed a Lv.3 automated control system that can be configured as an electronic control system without changing the existing hydraulic system in a general excavator and utilized digital map information of underground facilities. We aimed to develop a strategy to prevent accidents caused by operator error. To implement this, a real-time excavator bucket end position recognition and control system was developed through angle measurement of the boom, arm, and bucket using an electronic joystick, RTK-GPS, and angle sensors. In addition, excavators are large, machine-based equipment, and it is difficult to control overshoot due to inertia with feedback control using position recognition information of the bucket tip. Therefore, feed-forward control is used to calculate the moving speed of the bucket tip in real-time to determine the target position. We developed a technology that can converge and verified the performance of the developed system through actual vehicle installation and field tests.
It is very important to control the vibration transmitted from external utilities and the transient response due to the internal sources for the precision equipment, which is very sensitive to the vibration environment. The anti-vibration tables that use air springs have been widely used due to their excellent isolation performance, but the systems with high flexibility have the critical problem of large transient response by the impulsive force of the moving mass in operation of the equipment. In this paper, the hybrid vibration control system is proposed, which is combined the air springs with the semi-active MR dampers in order to satisfy the performances of isolation and vibration reduction simutaneously.
Koo, Yoon Sung;Song, Wan Soo;Park, Byeong Gyu;Ahn, Min Gyu;Hong, Sang Jeen
반도체디스플레이기술학회지
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제19권4호
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pp.18-21
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2020
Undetected wafer slip during the lift pin-down motion in semiconductor equipment may affect the center to edge variation, wafer warpage, and pattern misalignment in plasma equipment. Direct measuring of the amount of wafer slip inside the plasma process chamber is not feasible because of the hardware space limitation inside the plasma chamber. In this paper, we demonstrated a practice for the wafer lift pin-up and down motions with respect to the gear ratio, operating voltage, and pulse width modulation to maintain accurate wafer position using remote control linear servo motor with an experimentally designed chamber mockup. We noticed that the pin moving velocity and gear ratio are the most influencing parameters to be control, and the step-wised position control algorithm showed the most suitable for the reduction of wafer slip.
본 논문에서는 연속적으로 입력되는 영상에서 이동물체에 대한 정보를 추출하고 카메라의 시계(field of view)를 변경시키는 서보기기를 제어하여, 이동물체가 항상 영상의 중심에 위치하도록 하는 작업을 실시간에 수행하는 시스템에 대하여 기술한다. 영상은 방대한 양의 2차원적인 신로이므로 주어진 영상 잔체에 필요한 연산(operation)을 수행하는 것은 방대한 계산시간을 필요로 한다. 특히, 메모리에서 화소들의 값을 처리기로 로딩(loading)하는데 소요되는 시간은 영상의 크기에 비례하여 기하급수적으로 증가한다. 따라서, 본 논문에서는 이러한 문제를 해소하고 이동물체에 대한 추적을 실시간에 수행하기 위하여 영상공간 및 시간공간을 선별적으로 탐색하는 방안에 초점을 맞춘다. 영상공간 및 시간공간을 선별적으로 탐색하면서 이동물체를 추적하기 위하여 본 논문에서는 물체가 카메라의 시계에 진입하는 것과 진입방향을 감지하는 방법, 진입방향에 따라 이동물체를 효과적으로 탐색하는 방법, 물체의 이동속도와 중심을 산출하는 방법, 서보기기의 성능과 물체의 속도 및 처리시간을 고려하여 소보기기를 제어하는 방법, 그리고 변화하는 속도의 물체를 추적하기 위하여 영상간의 시간간격(${\Delta}$t)을 적당히 조절하는 방법에 대해서 기술한다.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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제34권5호
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pp.617-624
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2010
선박 건조공정에서 외피의 곡면 가공에 많이 사용하는 가공법을 선상가열법이라고 한다. 선상가열법은 엔지니어의 숙련도에 따라 품질의 차이가 커지기 때문에 현재에는 엔지니어의 숙련도에 의존하지 않는 자동화기기를 사용하여 선상가열을 수행하는 경우가 많다. 본 연구에서는 자동화기기를 사용한 선상가열에 의한 가열판재의 온도분포를 조사하고자 한다. 선상가열시 적용되는 주요한 변수는 가열원의 이동속도, 강도 및 가열 방식 등이 있으며, 본 연구에서는 세 가지 변수를 중심으로 가열판재의 표면 및 내부온도가 어떻게 변화하는지를 조사하였다. 해석결과 가열원의 이동속도가 빨라질수록 판재의 피크온도는 낮게 형성되는 것을 확인하였고, 또한 열원의 크기에 따른 피크온도 및 온도분포가 선형적으로 변화하는 것을 정량적으로 계산할 수 있었다.
다수의 대형 이동식 장비들이 운용되는 시추 작업장에는 장비 상호 간의 충돌을 방지하는 시스템이 필요하다. 장비들이 보내는 신호를 수신하여 상대적인 위치를 비교함으로써 충돌 가능성을 검사하고 필요할 때는 정지하도록 하여 사고를 방지하기 위함이다. 복수의 장비 사이에 일어나는 충돌을 검사하기 위해 장비의 형태를 단순화한 경계상자가 사용된다. 경계 상자들이 겹치는 공간을 점검하여 충돌을 파악하는 방식이다. 하지만, 시추 관련 핵심 장비 뿐 아니라, 충돌방지시스템도 소프트웨어를 수입하여 설치만 하였고, 이에 따라 기본 기술은 확보하지 못한 상태이다. 본 논문에서는 시추 작업에 사용되는 장비의 확장성과 연산속도를 고려한 충돌방지시스템의 프레임워크를 구성하여 장비와 충돌방지시스템 개발의 기반을 마련하였다. 각각의 시추 장비는 해당 소프트웨어에서 특정한 메시지 형식을 가진 오브젝트로 표현되고, 추가되는 장비나 데이터 형식에 유연하게 대처할 수 있도록 데이터를 직렬화/역직렬화 방식으로 구성하였다. 전체 시스템을 제어하는 네트워크로 부터 장비의 현 상태를 수신한 후 미리 규정된 약속에 따라 분류하고, 충돌을 검사하며, 바이패스 신호 등을 포함하여 움직임과 관련한 명령을 장비로 되돌려 보내는 데이터 처리 프로세스를 구현하였다. 상용가시화 소프트웨어를 사용하여 충돌 검사를 위한 경계 상자들이 장비와 함께 움직이며 충돌 발생 상황을 보이도록 하였다. 여러 대의 장비로 임의의 시추 작업장을 구성하고, 제시된 프레임워크가 정상적으로 작동하는 것을 확인하였다. 네트워크로부터 신호를 수신하여 처리한 후 관련 정보를 재송신 하는 데 걸리는 시간이 5ms 이하를 유지함으로써, 100ms의 장비 제어주기에 지장을 주지 않는 것을 확인하였다.
Oil-impregnated paper is a major type of insulation used in oil-filled converter transformers for both traditional and new energy systems. This paper presents and analyzes the results of the experiment conducted on the electrical aging of oil-impregnated paper under AC-DC combined voltages using the pulsed electro-acoustic (PEA) technique. The formation and dynamics of space charge affected the performance of insulation material. The electrical aged oil-paper insulation was obtained through electrical aged experiments under the voltages. Based on the PEA technique, measurements were carried out when the oil-paper insulation system was subjected to different stressing and aging times. The space charge dynamics in the bulk of the oil-paper insulation system with different aging times were measured and analyzed. Characteristic parameters such as the total charge injection amount, the total charges of fast moving and slow moving, and the distortion factor of electric field were calculated and discussed. Results show that the longer electrical aging time, the more charges trapped in the bulk of aging sample. It leads to larger distortion factor of electric field in the bulk of aging samples and accelerate degradation of oil-paper insulation under AC-DC combined voltages.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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