Formation of the $CoSi_{2}$ using Co/Zr Bilayer on the Amorphous and the Single Crystalline Si Substrates
(단결정과 비정질 Si 기판에서 Co/Zr 이중층을 이용한 $CoSi_{2}$ 형성)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.8 no.7
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- pp.621-627
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- 1998