DSS에서 $CeO_2$ 연마제의 첨가량과 분산시간이 TEOS 막에 미치는 특성연구
(A Study on the effect of TEOS film by Dispel8ion Time and Content of $CeO_2$ Abrasive)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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- pp.487-487
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- 2009