• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.241.1-241.1
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• 2013

최근 고집적화된 금속-산화막 반도체 metal oxide semiconductor (MOS) 소자는 크기가 점점 작아짐에 따라 얇은 산화막과 다양한 High-K 물질과 전극에 대하여 연구되고 있다. 이러한 소자의 열적 안정성과 균일성을 얻기 위해 다양한 열처리 방법이 사용되고 있으며, 일반적인 열처리 방법으로는 conventional thermal annealing (CTA)과 rapid thermal annealing (RTA)이 많이 이용되고 있다. 본 실험에서는 microwave radiation에 의한 열처리로 소자의 특성을 개선시킬 수 있다는 사실을 확인하였고, 상대적으로 $100^{\circ}C$ 이하의 저온에서도 공정이 이루어지기 때문에 열에 의한 소자 특성의 열화를 억제할 수 있으며, 또한 짧은 처리 시간 및 공정의 단순화로 비용을 효과적으로 절감할 수 있다. 본 실험에서는 metal-oxide-silicon (MOS) 구조의 capacitor를 제작한 다음, 기존의 CTA나 RTA 처리가 아닌 microwave radiation을 실시하여 MOS capacitor의 전기적인 특성에 미치는 microwave radiation 효과를 평가하였다. 본 실험은 p-type Si 기판에 wet oxidation으로 300 nm 성장된 SiO2 산화막 위에 titanium/aluminium (Ti/Al) 금속 전극을 E-beam evaporator로 형성하여 capacitance-voltage (C-V) 특성 및 current-voltage (I-V) 특성을 평가하였다. 그 결과, microwave 처리를 통해 flat band voltage와 hysteresis 등이 개선되는 것을 확인하였고, microwave radiation 파워와 처리 시간을 최적화하였다. 또한 일반적인 CTA 열처리 소자와 비교하여 유사한 전기적 특성을 확인하였다. 이와 같은 microwave radiation 처리는 매우 낮은 온도에서 공정이 이루어짐에도 불구하고 시료 내에서의 microwave 에너지의 흡수가 CTA나 RTA 공정에서의 열에너지 흡수보다 훨씬 효율적으로 이루어지며, 결과적으로 산화막과 실리콘 기판의 계면 특성 개선에 매우 효과적이라는 것을 나타낸다. 따라서, microwave radiation 처리는 향후 저온공정을 요구하는 nano-scale MOSFET의 제작 및 저온 공정이 필수적인 display 소자 제작의 해결책으로 기대한다.

• 방사선산업학회지
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• 제8권1호
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• pp.43-47
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• 2014

By measuring decrease change of the contact angle after microwave plasma treatment on the glass and Al as a scintillator panel sample substrate, the adhesive performance of scintillator panel can be expected to improve. Also resolution and sensitivity of scintillator panel after microwave plasma treatment can be expected to maintain highly.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• 제35권3호
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• pp.99-104
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• 2010

The potential ability of environmental temperature to enhance the effect of microwave radiation (7 GHz) was experimentally studied for rabbit heating after simultaneous application of both agents. The tested ambient temperatures (30 and $38^{\circ}C$) didn't exert a considerable influence upon rabbit heat homeostasis after the used duration of exposure (3 hours and 15 minutes, correspondingly). The synergistic interaction of microwave irradiation and ambient temperature was demonstrated for rabbit heating. Power flux density of microwave irradiation was shown to be a determinant of the synergistic interaction effectiveness. For the fixed ambient temperature ($30^{\circ}C$), the synergism was shown to be observed only within a definite power flux density ($0-100\;mW{\cdot}cm^{-2}$), inside of which there was an optimal intensity ($20\;mW{\cdot}cm^{-2}$), which maximized the synergistic effect. Any deviation of the power flux density from the optimal value resulted in a reduction of the synergy. It is concluded that any assessment of the health or environmental risks should take into account the synergistic interaction between ambient temperature and microwave radiation.

• 대한환경공학회지
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• 제35권11호
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• pp.776-780
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• 2013

본 연구에서는 마이크로파 조사를 통하여 디젤오염토양의 TPH (Total Petroleum Hydrocarbon) 제거양상을 살펴보고자 하였다. 건조토양을 마이크로파로 조사하였을 때 토양 내 온도의 상승은 완만하였으나 수분이 공급된 상태에서 온도 상승이 급격하게 나타났다. 함수량이 20% 이내 범위에서는 수분함량이 증가할수록 온도가 상승하였으나 20% 이상에서는 오히려 온도가 저하되었다. 100~700 W의 전력량으로 마이크로파를 조사한 후 각각의 TPH의 제거량을 확인하였을 때 300 W 이상의 범위에서는 전력량이 높아짐에도 TPH 제거량에 차이가 많지 않았다. 초기 수분량 20%에서 마이크로 조사 시 최종 TPH 제거량은 60%로 나타났으나 추가적으로 수분을 공급하여 토양 내 함수량을 일정하게 유지하였을 때 약 25%의 TPH 제거 증대효과가 나타났다. 이는 마이크로파를 이용할 때 반응이 지속됨에 따라 수분손실과 더불어 온도가 감소하므로 토양 내 함수량을 유지하는 것이 효율적인 TPH제거를 위해 중요한 요인이 될 수 있다는 것을 나타낸다.

• 한국전자통신학회논문지
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• 제10권3호
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• pp.333-340
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• 2015

본 논문에서는 마이크로파 라디오미터의 기술을 응용한 수동형 마이크로파 인체 감지 센서를 제안한다. 제안된 센서는 고정된 배경 물체로부터 수신되는 복사전력의 인체에 의한 미약한 변화를 측정하여 감시 공간내의 인체를 감지한다. C-band 마이크로파 라디오미터를 설계 제작하여 인체에 의한 수신 복사전력의 변화를 측정하고 그 결과를 분석하여 제안한 센서의 유효성을 평가한다.

• 한국축산식품학회지
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• 제18권3호
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• pp.269-275
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• 1998

The purpose of this study was to determine the thermal inactivation of Salmonella enteritidis, Salmonella typhimurium and E. coli O111 in liquid cultures treated with microwave energy. Furthermore, this study was to introduce new methodologies for studying nonthermal microwave effects on microorganisms, using controlled microwave energy and specially designed apparatuses. For the automatic temperature control during microwave heating, the real time data acquisition and computation system is designed with BASIC routine. The automatic temperature control system used in the experiments perform relatively stable control at the experiment temperature of 45, 50, 55 60$^{\circ}C$ and 65$^{\circ}C$ for 30 minutes. The effects of microwave heating on liquid cultures was compared with that of conventional heating, still reduces effectively the number of pathogenic bacteria in liquid cultures. While no particular differences between microwave heating and conventional heating was observed in the activation of E. coli at 45$^{\circ}C$ test, the activation of Sal. enteritidis and Sal. typhimurium was slightly reduced during the microwave treatments.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• 제20권3호
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• pp.163-168
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• 1995

비전리 방사선의 인체에 대한 작용은 최근 우리 주위에서 많이 사용되는 microwave, radio wave, laser, ultrasoundwave, ultravioletradiation 등의 문제가 될 수 있으며 본고에서는 주로 Radio Frequency Electromagnetic (RFEM) spectrum의 shortwave와 microwave의 생물학적인 작용을 정리 발표하고자 한다. RFEM에 의한 carcinogenesis에 관해서는 아직 RFEM이 인체에서는 발암물질로서 작용한다는 보고는 없으나, cancer promotion에는 작용할 것이라는 보고는 있다. chromosomal effect에 관해서는 체외실험에서 microwave에 의한 chromosome의 stickiness의 증가와 mitotic index의 변화에 관한 보고가 있다. 인체에서는 RFEM에 많이 피폭되었다고 알려진 Moscow의 미 대사관 직원 5000명을 대상으로 한 역학조사에서는 특별한 염색채 이상은 발견되지 않았다. 동구에서의 보고에 의하면 RFEM에 의한 선천성 기형아의 출산이 보고된바 있으나 출산시의 통증을 줄이기 위한 2450 MHz의 microwave를 조사한 산모 2000명 출산아에서 기형은 없었다고 한다. 인간의 행동과 정서적인 측면에서 RFEM에 의한 변화는 1974년 Sadcikoda에 의해 기술된바 있는 µwave sickness&는 irritability, 두통, 전신쇄약, 불면증, 성욕 감퇴 및 발기부전 등을 호소하는 증후군으로 주로 동유럽의 저자들에 의하여 보고되고 있으며 구 소련에서는 microwave sickness 또는 radio wave sickness는 확실한 하나의 임상병명으로 간주되고 있다. cataractogenesis에 관해서는 실험 동물에서 잘 연구되고 있으며, 사람에서도 1952년 레이다 작업종사자 에서 보고된 이후 50여례 이상의 보고가 있으나 백내장 자체가 그 발생 빈도가 높은 질환이고 많은 원인이 있으므로 아직 인간에서의 확실한 cataractogenesis에 관해서는 더욱 연구가 필요한 분야이다. radar wave에 노출된 적이 있는 군인을 대상으로 한 미 해군의 역학조사에 의하여 radar wave에 의한 uveitis, retinitis와 비진행성 백내장등이 보고되고 있으나 딴 연구에서는 입증된바 없다.

• Environmental Engineering Research
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• 제19권4호
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• pp.381-385
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• 2014

Microwave (MW) radiation was developed to remove and recover ammonia nitrogen in the real swine wastewater. The effect of operating parameters of MW radiation such as initial pH, power, radiation time, aeration, and stirring for removal ammonia nitrogen in swine wastewater was determined. The pH, radiation time, and power were significantly influenced on the removal of ammonia nitrogen, and aeration and stirring showed relatively minor effect on the removal of ammonia nitrogen. Optimum condition was achieved to retrieve the nitrogen efficiently at pH 11, 700 W for 5 min in MW radiation process. Through this process, 83.1% of ammonia nitrogen concentration was reduced in swine wastewater and also 82.6% of ammonia nitrogen was recovered as ammonium sulfate at the optimized condition. The high ammonia removal and recovery efficiency of the MW radiation method indicated that MW radiation was an effective technique to remove and recover ammonia nitrogen in the swine wastewater.

• 공업화학
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• 제21권1호
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• pp.11-17
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• 2010

유기용액계 전해질을 갖는 전기이중층캐패서터의 성능향상을 위해 마이크로파 처리를 통하여 활성탄소를 개질하고 이에 따른 전기화학적 특성의 변화를 조사하였다. 대상 시료로 petroleum cokes와 pitch cokes를 사용하여 NaOH 활성화에 의해 제조한 활성탄과 시판용 활성탄 BP-25를 사용하였다. 세 종류의 활성탄 모두 마이크로파 처리를 통해 산소를 포함하는 친수성관능기들이 표면으로부터 제거되었으며, 처리 시간이 증가함에 따라 비표면적과 세공부피는 감소하고, 평균세공직경은 증가하였다. 이러한 영향으로 표면 개질된 활성탄소로 제조한 전기이중층캐패시터는 계면저항이 개질하지 않은 활성탄소를 사용한 전기이중층 캐패서터에 비해 크게 감소하였으며, 비표면적의 감소에도 불구하고 방전용량은 개질하지 않은 경우보다 크게 증가하였다.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• 제42권1호
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• pp.21-25
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• 2017

Background: We are developing L-band and S-band microwave dielectric absorption systems aiming novel dosimetry using DNAs, such as plasmid DNA and genomic DNA, and microwave technology. Materials and Methods: Each system is composed of a cavity resonator, analog signal generator, circulator, power meter, and oscilloscope. Since the cavity resonator is sensitive to temperature change, we have made great efforts to prevent the fluctuation of temperature. We have developed software for controlling and measurement. Results and Discussion: By using this system, we can measure the resonance frequency, f, and ${\Delta}Q$ (Q is a dimensionless parameter that describes how under-damped an oscillator or resonator is, and characterizes a resonator's bandwidth relative to its center frequency) within about 3 minutes with high accuracy. Conclusion: This system will be expected to be applicable to DNAs evaluations and to novel dosimetric system.