단층 다결정 실리콘 마이크로머시닝 기술로 제작된 정전형 마이크로 미러 어레이의 모델링 및 측정 (Modeling and Measurement of Electrostatic Micro Mirror Array Fabricated with Single Layer Polysilicon Micromachining Technology)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1997년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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- pp.612-614
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- 1997