• Transactions on Electrical and Electronic Materials
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• 제12권4호
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• pp.131-134
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• 2011

Back-end-of-line using ultra low-k (ULK; k < 2.5) has been required to reduce resistive capacitance beyond 45 nmtechnologies, because micro-processing units need higher speed and density. There are two strategies to manufacture ULK inter-layer dielectric (ILD) materials using an air-gap (k = 1). The former ULK and calcinations of ILD degrade the mechanical strength and induce a high cost due to the complication of following process, such as chemical mechanical polishing and deposition of the barrier metal. In contrast, the air-gap based low-k ILD with a relatively higher density has been researched on the trench-type with activity, but it has limited application to high density devices due to its high air-gap into the next metal layer. The height of air-gap into the next metal layer was reduced by changing to the via-typed air-gap, up to about 50% compared to that of the trench-typed air-gap. The controllable ULK was easily fabricated using the via-typed air-gap. It is thought that the via-type air-gap made the better design margin like via-patterning in the area with the dense and narrow lines.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2008년도 추계학술대회B
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• pp.2357-2362
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• 2008

LHP is different from a conventional heat pipes in design and heat and fluid flow passages. The situations of the former is much complex than the latter. In LHPs, evaporation occurs at the contact interface between the heating plate and the porous wick, so some micro channels machined at the contact interface serve to let the vapor flow out of the evaporator. This complexity of contact geometry was known to cause a high resistance to heat flow. The present work was to study the problem of heat passage across the contact surface for LHPs and determine those values contact resistance. For two cases of contact structures, the thermal contact resistances were examined experimentally, one being obtained through mechanical contact under pressure and the other through sintered bonding. Nickel powder wick and copper plate were used for specimens. The result showed that a substantial reduction of contact resistance of an order of degree could be obtainable by sintered bonding.

• 한국지형학회지
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• 제19권4호
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• pp.27-37
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• 2012

본 연구는 강원도 철원군 명성산 화강암과 현무암 용암대지 사이의 접촉대인 한탄강 승일교 인근 지역의 독특한 경관을 형성하고 있는 화강암 하천 침식 및 퇴적 지형과 풍화 지형 분석을 다루고 있다. 주요 화강암 지형으로서는 심층풍화된 구릉, 면상침식지형, 고지형면 및 고토양, 하천작용과 관련된 미지형으로 돌개구멍과 그루브, 램 파트형의 암괴, 사주와 사력퇴, 그리고 구하상 등이 있다. 그리고 풍화가 덜 진전된 구릉의 일부로 하천의 측방이동을 방해하는 화강암 하식애 지형이 있다.

• Current Optics and Photonics
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• 제2권2호
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• pp.147-152
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• 2018

We propose a novel bi-focal metallic Fresnel zone plate (MFZP) with shallow depth-of-field (DOF) characteristics. We design the specific annular slit patterns, exploiting the phase-selection-rule method along with the particle swarm optimization algorithm, which we have recently proposed. We numerically investigate the novel characteristics of the bi-focal MFZP in comparison with those of another bi-focal MFZP having equivalent functionality but designed by the conventional multi-zone method. We verify that whilst both bi-focal MFZPs can produce dual focal spots at $15{\mu}m$ and $25{\mu}m$ away from the MFZP plane, the former exhibits characteristics superior to those of the latter from the viewpoint of axial resolution, including the axial side lobe suppression and axial DOF shallowness. We expect the proposed bi-focal MFZP can readily be fabricated with electron-beam evaporation and focused-ion-beam processes and further be exploited for various applications, such as laser micro-machining, optical trapping, biochemical sensing, confocal sensing, etc.

• 한국자기공명학회논문지
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• 제23권1호
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• pp.12-19
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• 2019

A former study has shown that the spin-lattice relaxation time ($T_1$) in cancerous prostate tissue had enhanced contrast at an ultra-low magnetic field, $132{\mu}T$. To study the field dependence and the origin of the contrast we measured $T_1$ in pairs of ex-vivo prostate tissues at the Earth's magnetic field. A portable and coil-based nuclear magnetic resonance (NMR) system was adopted for $T_1$ measurements at $40{\mu}T$. The $T_1$ contrast, ${\delta}=1-T_1$ (more cancer)/$T_1$(less cancer), was calculated from each pair. Additionally, we performed pathological examinations such as Gleason's score, cell proliferation index, and micro-vessel density (MVD), to quantify correlations between the pathological parameters and $T_1$ of the cancerous prostate tissues.

• 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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• 제26권4호
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• pp.57-64
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• 2022

염화물은 철근 콘크리트 구조물의 주요 열화 요인 중 하나로 철근 부식을 발생시켜 구조물의 성능을 저하시킨다. 염해에 의한 철근 콘크리트 구조물의 열화정도 또는 철근 부식 개시 시기를 확인하기 위해서는 철근 깊이에서의 염화물 농도 또는 콘크리트 내에서 염화물 침투 속도를 확인할 필요가 있다. 일반적인 콘크리트내 염화물 침투를 확인할 수 있는 방법으로는 염화물 침투 깊이별로 전위차 적정법과 같은 방법으로 염화물 농도를 측정하는 염화물 프로파일링 방법이나 질산은 용액을 이용하여 콘크리트의 변색된 범위를 다지점 측정하여 침투 깊이를 측정하는 방법이 대표적이다. 전자의 경우에는 정확하게 염화물 농도를 직접 측정하기 때문에 염화물 침투 속도 (일반적으로 확산계수)를 정확하게 예측할 수 있는 장점이 있지만, 작업이 번거롭다는 단점이 있다. 후자는 질산은 용액과의 반응에 따른 변색 범위를 측정하여 염화물 침투 깊이를 산정하는 것이기 때문에 간편하고 결과의 신뢰성도 확보할 수 있는 장점이 있지만, 침투 깊이를 산정하는데 있어서 작업자의 숙련도에 따라 오류가 발생할 수 있는 단점이 있다. 본 연구에서는 변색법에 의해 얻어진 결과를 이미지 분석을 통해 콘크리트 내의 염화물 침투 깊이를 분석하였다. 이를 통해 작업자에 의해 발생될 수 있는 오류를 최소화할 수 있도록 하였다. 또한 콘크리트의 미세 균열이 염화물 침투에 미치는 영향에 대해서도 확인하였다. 이미지 분석을 통해 염화물 침투 깊이를 정량화한 결과 염화물은 미세균열부를 통해 빠른 속도로 염화물 침투가 발생한다는 것을 확인 하였기 때문에, 콘크리트 구조물에서는 특히 균열 발생에 주의가 필요할 것으로 판단된다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제17권2호
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• pp.58-65
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• 2016

본 연구는 조직공학용 지지체로 사용될 막을 개발하기 위한 초도 연구 수행으로, 염화나트륨(NaCl)을 기공형성체로 혼합한 폴리카프로락톤(PCL)용액을 유리 캐스팅판에 분주한 후 필름 어플리케이터를 이용하여 다공성 PCL필름을 성형하였다. 성형된 필름은 건조 후 증류수에 침지시켜 NaCl을 추출하여 최종 멤브레인형 다공성 지지체를 제조하였다. 3차원 다공망을 형성시키기 위하여 NaCl을 기공형성체로 이용하였으며 $4^{\circ}C$, 실온, $40^{\circ}C$의 세 가지 건조조건에 따른 다공망의 형성과 형태를 주사전자현미경(SEM)을 이용하여 관찰 하였으며 기초적인 안전성 확보를 위한 세포독성평가를 시행하였다. 세 가지의 건조조건별 결과에서는 실온 건조조건에서 거대기공과 미세기공이 혼재된 3차원 다공망이 우수하게 형성된 것이 관찰되었으며 세포독성 시험결과 ISO10993-5 규격의 세포독성 판단기준에 따라 grade 2(mildly cytotoxic)로 나타난바 생체용으로 적합하다고 볼 수 있다. 본 연구를 통하여 멤브레인형 다공성 지지체 제조에 건조조건이 3차원 다공망의 형성 및 거대기공과 미세기공이 함께 형성되는 것에도 영향을 미치는 것으로 나타났으며 이 결과는 다공성 멤브레인 지지체의 분해성 조절 및 약물 담지 효과를 개선하기 위한 연구에서 다공도의 조절에 대한 기초적인 공정이 될 수 있다.

• 비파괴검사학회지
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• 제24권6호
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• pp.573-580
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• 2004

본 연구는 cMUT 제작을 위한 미세공정기술을 개발하기 위하여 수행되었다. 이를 위하여 외국의 관련 제조공정 연구결과들을 분석하였다. cMUT 제작의 주요 공정인 미소 진동 박막 형성, 희생층 형성, 식각 공정에 대한 실험을 수행하여 적절한 공정조건을 찾고자 하였다. 각 제작 공정조건들을 변화시켜 가면서 증착된 실리콘 질화막의 두께, 균일도, 잔류응력을 측정하였다. 희생층으로서 실리콘 산화막의 공정조건을 변화시켜 가면서 산화막의 성장률을 분석하였다. 마지막으로 희생층 식각을 위한 최적 식각공정을 얻기 위한 실험을 수행하였다. 본 연구에서 얻어진 주요 미세공정 조건은 추후 cMUT 제작에 적용될 예정이다.

• 암석학회지
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• 제18권3호
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• pp.211-221
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• 2009

울산시 이진리 지역에 분포하는 미문상 화강암에 대한 암석학적 특징이 지형형성에 미치는 영향을 분석하였다. 연구지역의 화강암은 대부분 담갈색 내지 회백색을 띠며, 1~2 mm 내외의 중립 내지 세립의 석영 및 정장석으로 구성되어있다. 대부분 석영과 정장석이 연정을 형성하여 미문상 조직을 보인다. 미문상화강암이 분포한 연구지역에는 인셀베르그, 토르, 타포니, 나마와 같은 미지형이 관찰된다. 연구지역의 북측에는 타포니가, 남측에는 나마가 주로 발달해 있으며, 연구지역 전역에 걸쳐 플루팅 코어와 래이즈드 림이 나타난다. 미문상 화강암의 조직적 특징을 분류기준으로 하여 외대(A) 내대(B)로 구분하였으며, 미문상 조직이 내대에서 외대로 갈수록 뚜렷해지는 경향을 보였다. 지형학적 특징이 이에 부합하여 나타난다. 즉, 외대의 지형학적 특징은 범바위 같은 타포니로 이루어진 미지형이 주로 나타나며, 내대는 차일암과 같은 대(platform)로 대표되는데 이는 암석학적 특성이 관련된 것으로 판단된다. 연구지역 전역에 걸쳐 나타나는 플루팅 코어, 래이즈드 림 등의 특이지형은 미문상 화강암의 성인과 관련된 정동의 발달과 연관되어 있으며, 타포니, 나마 등의 미지형 형성에도 기원적인 요소로 작용했던 것으로 해석된다. 암석의 입도와 정동의 분포 상태 등의 조직적 차이가 미지형의 발달에 영향을 미치는 것으로 판단된다.

• 과학교육연구지
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• 제43권1호
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• pp.94-118
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• 2019

본 연구는 역량기반 교육과정 담론의 동향으로부터 과학과 핵심역량의 다면적 이해를 위한 쟁점을 탐색하고, 일반적 핵심역량과 과학 교과역량 간의 관계를 고찰하고자 하였다. 먼저는 행동주의, 인문주의, 그 포괄적 종합을 중심으로 역량기반 교육과정의 이론적 배경을 살펴보았다. 이후 OECD의 역량 관련 프로젝트(DeSeCo; OECD Education 2030), 미국의 차세대 과학 표준(NGSS), 한국의 2015 개정 교육과정을 역량기반 교육과정의 관점에서 검토하였다. 이와 함께 국내외에서 핵심역량 및 교과역량에 관하여 작성된 주요 문헌 15건이 제시하는 105개의 일반역량 및 45개의 과학역량을 정리하고 체계적으로 분석하였다. 연구결과 첫째, 역량의 정의 및 범주화를 위한 쟁점에 관하여, 일관된 체계 내에서 제시되는 역량들이 일종의 포괄성을 지닌다고 할 때, 역량의 적절한 개수의 문제, 역량의 적절한 층위 문제, 개별 역량들이 얼마나 고유하고 독립적이어야 하는가의 문제를 지적하였다. 둘째, 문헌별 역량 요소들의 경향성으로서 역량 항목들이 개인적-미시적 차원, 공동체적-중시적 차원, 사회적-거시적 차원에서 다양하게 제시됨을 확인하였으며, 일반역량과 교과역량 모두에서 중시적 차원이 강조되고 있음을 밝혔다. 셋째, 일반역량과 교과역량간 관계에 있어서 일반역량은 거시적 차원을 강조하고 교과역량은 미시적 차원을 강조하는 경향에서 간극이 발생함을 밝힘으로써, 양자가 서로 맞닿을 수 있는 부분은 중시적 차원이라는 점에 주목하였다. 이러한 논의는 2015 개정 교육과정을 비롯한 국가교육과정에서의 역량 이해 및 추후 개발을 위하여 적지 않은 통찰을 제공할 것으로 생각된다.