Micro-injection molding and microfluidic devices with the help of MEMS technologies including the LIGA process are expected to play important roles in. micro-system industries, in particular the bioapplication industry, in the near future. Understanding fluid flows in micro-channels is important since micro-channels are typical geometry in various microfluidic devices and mold inserts for micro-injection molding. In the present study, both experimental and numerical studies have been carried out to understand the detailed flow phenomena in micro-channel filling process. Three sets of micro-channels of different thickness were fabricated and a flow visualization system was also developed to observe the filling flow into the micro-channels. Experimental flow observations were extensively made to find the effects of channel width and thickness, and effects of surface tension and volume flow rate and so on. And a numerical analysis system has been developed to simulate the filling flow into micro-channels with the surface tension effect taken into account. Discussed are the flow visualization experimental observations along with the predictability of the numerical analysis system.
Micro-channels for a wave micropump have been fabricated using the Stereolithography and UV Photolithography. The micro-channel with a channel height of $500\;{\mu}m$ was fabricated with stereolithography. UV photolithography was used for producing micro-channels with a channel length less than $100\;{\mu}m$. The fabrication process data including spinning rpm, pre-bake and post-bake time, and develop time for single layer and multiple layer 3D micro-structures using SU-8 photo resist are experimentally found. A film mask printed with a 40,000 dpi laser printer was used for UV lithography and micro-structures in the order of tens of micrometers in dimension were successfully fabricated.
Computer simulation of multiphase flows has grown dramatically in the last two decades. In this work, we have studied the flow characteristics of immiscible two fluids in a 2-D micro channel driven by pressure gradient using multi-phase lattice Boltzmann method suggested by Shan and Chen(1993) considering the fluid-surface interaction. we tried to examine the effects of parameters related to the two phase flow characteristics and pressure drop in the micro channel like contact angle and channel configuration by changing their value. The results of current study could show the lattice Boltzmann method can simulate the behaviors of two phase flow in the region of micro fluidics well.
In this parer, we present the bubble forming and motion in the micro channel by using the two-dimensional numerical computation and experiment. In the numerical computation, The Lattice Boltzmann method(LBM) and free-energy model is used to treat the interfacial force and deformation of binary fluid system, drawn in to a micro channel and a numerical simulation is carried out by using the parallel computation method. The urn in this investigation is to examine the applicability of LBM to numerical analysis and experimental method of binary fluid separation and motion in the micro channel.
In this work, to make it possible to generate glow discharge in atmospheric pressure condition with relatively high and wide electric field, micro channel reactor is proposed. Si DRIE and Cr deposition by Ebeam evaporation is used to make channel and bottom electrode layer. Upper electrode is made from ITO glass to visualize discharge within micro channel. Fabricated reactor is verified by generating uniform glow plasma with N2 / He gases each as working fluid. The range of gas electric field to generate glow plasma is from about 200 V/cm and upper limit is not observed in tested condition of up to 150 kV/cm. This data shows that micro channel plasma reactor is more versatile. Indirect estimation of electron temperature in this reactor can be inferred that the electron temperature within glow discharge in micro reactor lies $0{\sim}2eV$. This research demonstrates that the reactor is appropriate in application that needs to maintain low temperature condition during chemical process.
The object of this paper is to study on the thermal performance of a micro channel water block for computer CPU cooling. The effects of liquid flow rate, micro channel width and height on the thermal performances of water block are investigated experimentally. The water block was fabricated Al and machined with a micro milling. The water block consisted of rectangular micro channels 0.5 to 0.9 mm width and 1.5 to 4.5 mm height. The experiments were conducted using deionized water, over a liquid flow rate ranging from 0.2 to 2.0 kg/min. The base temperature and thermal resistance decrease with increasing of liquid flow rate. The increase of a channel height is more effective on the thermal resistance than the decrease of a channel width. At the flow rate of 0.7 kg/min, input power of 100 W, the base temperature and thermal resistance of sample 6 is $33^{\circ}C$ and $0.13\;^{\circ}C/W$ respectively.
Recently there are many researches about single flow and two-phase flow phenomena in the mini and microchannel. But from this result the principle in the microchannel was not explained clearly. In this paper two-phase flow pattern was visualized in the micro-multi-branched-channel using a high speed camera. Microchannel was fabricated with PDMS and glass slide. The velocity profile was obtained by a Micro PIV. Then flow boiling at the near inlet area was occurred and vapor was moved in the micro-multi-branched-channel.
We investigate the slippage effect in a micro-channel depending on the surface characteristics; hydrophilic, hydrophobic, and super-hydrophobic wettabilities. The micro-scale grooves are fabricated on the vertical wall to make the super-hydrophobic surfaces, which enable us visualize the flow fields near walls and directly measure the slip length. Velocity profiles are measured using micro-particle image velocimetry (Micro-PIV) and compared those in the hydrophilic glass, hydrophobic PDMS, and super-hydrophobic PDMS micro-channels. To directly measure the velocity in the super-hydrophobic micro-channel, the transverse groove structures are fabricated on the vertical wall in the micro-channel. The velocity profile near the wall shows larger slip length and, if the groove structure is high and wide, the liquid meniscus forms curves into the valley so that the wavy flow is created after the grooves.
This study conducted a research as to condensation heat transfer by using three types of flat micro multi-channel tubes with different processing of micro-fin and number of channels inside the pipes and different sizes of appearances. In addition, identical studies were conducted by using smoothing circular tubes with 5mm external diameter to study heat transfer coefficient. The condensation heat transfer coefficient showed an increase as the vapor quality and mass flux increased. However, each tube shows little differences compared to 400kg/m2s or identical in case the mass flux are 200kg/m2s and 100kg/m2s. The major reason for these factors is increase-decrease of heat transfer area that the flux type of refrigerant is exposed to the coolant's vapor with the effect of channel aspect ratio or micro-fin. In addition, the heat transfer coefficient was unrelated to the heat flux, and shows a rise as the saturation temperature gets lower, an effect that occurs from enhanced density. The physical factor of heat transfer coefficient increased as the channel's aspect ratio decreased. Additionally, the micro pin at the multi-channel type tube is decided as a disadvantageous factor to condensation heat enhancement factor. That is, due to the effect of aspect ratio or micro-fin, the increase-decrease of heat transfer area that the flux type of a refrigerant is exposed to the vapor is an important factor.
A numerical study of transient conjugate heat transfer on micro heater in a micro-channel substrate under pulsed heating was conducted. It was found that the time constant is not affected by the pulse heating magnitude at same operating condition. Furthermore, the time constant increases with low substrate thermal diffusivity, low Reynolds number, and large channel diameter. Since the time constant is a dominant parameter to characterize transient heat transfer, it should be considered for transient convective heat transfer coefficient.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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