• 제목/요약/키워드: MgO thin film

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혼성물리화학기상 증착법에 의한 알루미나 완충층을 가진 실리콘 기판 위의 $MgB_2$ 박막제조에 대한 연구 (Deposition of $MgB_2$ Thin Films on Alumina-Buffered Si Substrates by using Hybrid Physical-Chemical Vapor Deposition Method)

  • 이태경;박세원;성원경;허지영;정순길;이병국;안기석;강원남
    • Progress in Superconductivity
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    • 제9권2호
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    • pp.177-182
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    • 2008
  • [ $MgB_2$ ] thin films were fabricated using hybrid physical-chemical vapor deposition (HPCVD) method on silicon substrates with buffers of alumina grown by using atomic layer deposition method. The growth war in a range of temperatures $500\;{\sim}\;600^{\circ}C$ and under the reactor pressures of $25\;{\sim}\;50\;Torr$. There are some interfacial reactions in the as-grown films with impurities of mostly $Mg_2Si$, $MgAl_2O_4$, and other phases. The $T_c$'s of $MgB_2$ films were observed to be as high as 39 K, but the transition widths were increased with growth temperatures. The magnetization was measured as a function of temperature down to the temperature of 5 K, but the complete Meissner effect was not observed, which shows that the granular nature of weak links is prevailing. The formation of mostly $Mg_2Si$ impurity in HPCVD process is discussed, considering the diffusion and reaction of Mg vapor with silicon substrates.

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Modeling of Electrical Transport in YBCO Single Layer Thin Films using Flux Motion Model

  • Ud Din, Fasih;Shaari, Abdul Halim;Kamalianfer, Ahmad;Navasery, Manizheh;Yar, Asfand;Talib, Zainal Abidin;Pah, Lim Kean;Kien, Chen Soo
    • Journal of Magnetics
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    • 제19권2호
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    • pp.140-145
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    • 2014
  • The electrical transport properties of YBCO single layers thin film have been investigated using different physical techniques. For the purpose, the physical properties are probed numerically with help of simulation modelling. The physical transport properties were also estimated with temperature and magnetic fields limits using thermally-activated flux flow model with some modifications. The result of present simulation modelling indicated that the magnitude of activation energy depends on temperature and magnetic field. The simulations revealed thickness dependent physical transport properties including electrical and magnetic properties of deposited YBCO single layers thin films. Furthermore, it shows the temperature dependence of the pinning energy. In the nutshell, the result can be used to improve the Superconducting Properties ($T_c$) of the YBCO single layers thin films.

마이크로스트립 라인 전압제어 가변 대역통과필터 (Microstrip line tunable phase shifter)

  • 채동규;;윤기완;박재영;고영준
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2002년도 춘계종합학술대회
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    • pp.227-229
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    • 2002
  • 본 논문에서는 마이크로스트립 라인 전압제어 가변 대역통과필터를 제안한다. 박막 강유전체의 상대 유전율은 인가 전압에 따라 변하는 특성을 이용하였고, Au/BSTO/MgO/Au 구조로 설계하였다. 커플링 수가 3개인 공진기를 연결하여 공진기 사이의 간격을 잘 조절한 격과, 중심 주파수 16 GHz 에서 1.9 GHz의 튜닝 범위, 800MHz 내의 좁은 대역폭, 3dB 이내의 작은 삽입손실을 갖는 필터를 설계할 수 있었다.

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무선랜 대역용 Ba0.5Sr0.5TiO3 박막을 이용한 가변 대역 통과 여파기 (Tunable Band-pass Filters using Ba0.5Sr0.5TiO3 Thin Films for Wireless LAN Application)

  • Kim, Ki-Byoung;Yun, Tae-Soon;Lee, Jong-Chul;Kim, Il-Doo;Lim, Mi-Hwa;Kim, Ho-Gi;Kim, Jong-Heon;Lee, Byungje;Kim, Na-Young
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제13권8호
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    • pp.819-826
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    • 2002
  • 본 논문은 $Ba_{0.5}$Sr$_{0.5}$TiO$_3$(BST) 박막을 이용한 대역 통과 여파기를 설계, 제작한 것으로 마이크로스트립 과 코플래너 웨이브가이드(CPW), CBCPW 전송 선로 구조에서 각 구조의 여파기 특성을 비교하였다. 제작된 여파기는 전압 0V 인가시 각각 6.4 GHz, 6.14 GHz, 6.04 GHz의 중심 주파수와 6 dB, 4.41 dB, 5.41 dB의 삽입 손실이 측정되었으며, 40V 인가시 중심 주파수 6.61 GHz, 6.31 GHz, 6.21 GHz와 삽입 손실 7.33 dB, 5.83 dB, 6.83 dB로 나타났다. 본 논문에서 제작된 각각의 대역 통과 야파기는 가변 범위가 약 3 % - 8 %이며, 무선랜 대역에 응용할 수 있도록 설계 및 제작되었다.다.

In-situ Synchrotron X-ray Diffraction Measurement of Epitaxial FeRh thin Films

  • Jang, Sung-Uk;Hyun, Seung-Min;Lee, Hwan-Soo;Kwon, Soon-Ju;Kim, Ji-Hong;Park, Ki-Hoon;Lee, Hak-Joo
    • 한국자기학회:학술대회 개요집
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    • 한국자기학회 2009년도 정기총회 및 동계학술연구발표회
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    • pp.204-205
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    • 2009
  • The magnetic properties and structure of FeRh thin film pitaxially grown onto MgO(001) substrate were studied by MPMS(Magnetic Properties Measure System) and in-situ temperature synchrotron XRD(X-ray Diffraction). The transition temperature of FeRh thin films was around 380K. Both M-T curve and d-spacing changes correspond to each other very closely.

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반응성 스퍼트링에 의한 MgO 유전체 보호층 형성에 관한 연구 (Preparation of MgO Protective layer by reactive magnetron Sputtering)

  • 하홍주;이우근;류재하;송용;조정수;박정후
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1996년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.59-62
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    • 1996
  • Plasma displays (PDP) as a large area wall-hanging display device are rabidly developed with flat CRT, TPT LCD and etc. Especially, AC Plasma Display Panels(AC PDPs) have the inherent memory function which is effective for large area displays. The memory function in AC PDPs is caused by the accumulation of the electrical charge on the protecting layer formed on the dielectric layer. This MgO protective layer prevents the dielectric layer from sputtering by ion in discharge plasma and also has the additional important roll in lowering the firing voltage due to the large secondary electron emission coefficient). Until now, the MgO Protective layer is mainly formed by E-Beam evaporation. With increasing the panel size, this process is difficult to attain cost reduction, and are not suitable for large quantity of production. To the contrary, the methode of shuttering are easy to apply on mass production and to enlarge the size of the panel and shows the superior adhesion and uniformity of thin film. In this study, we have prepared MgO protective layer on AC PDP Cell by reactive magnetron sputtering and studied the effect of MgO layer on the surface discharge characteristics of ac PDP.

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Cu-Phthalocyanine 유기장벽 두께에 따른 스핀소자의 전기적 특성 변화 양상 (Electrical Characteristics of Magnetic Tunnel Junctions with Different Cu-Phthalocyanine Barrier Thicknesses)

  • 배유정;이년종;김태희
    • 한국자기학회지
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    • 제22권5호
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    • pp.162-166
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    • 2012
  • Fe(100)/MgO(100)/CuPc/Co 자성터널접합 소자의 온도에 따른 전압-전류 특성 변화를 관찰하였다. 화학적 열적 안정성이 비교적 우수한 Cu-Phthalocyanine(CuPc)의 유기박막을 에피성장된 2 nm MgO(100) 박막 위에 2~10 nm 두께로 적층하여 두 강자성 Fe(100)와 Co 전극 사이의 무기-유기 복합 절연격벽으로 이용하였다. 저온 77 K에서 측정된 거대자기저항현상은 CuPc의 두께가 증가함에 따라 급격히 감소하여 10 nm의 CuPc 두께의 경우 전하축적에 의한 쌍안정 스위칭 거동(bistable switching behavior)이 관찰되었다. 이 스위칭 거동은 약 240 K의 온도에 이르면서 점차 소멸되어 상온에서는 정류기와 유사한 비대칭적 전압-전류 특성을 보였다. 이 연구에서 우리는 MgO/CuPc 층상구조에대해 유기물 스핀소자의 절연격벽뿐만 아니라 Polymer Random Access Memory(PoRAM)를 위한 응용 가능성에 대해 논하였다.

고압 스터터링 방법으로 $YBa_2Cu_3O_{7-y}$박막을 제조할 때 기판의 접지 여부와 인가전류의 양이 박막 성장에 미치는 영향 (Effects of Substrate-Grounding and the Sputtering Current on $YBa_2Cu_3O_{7-y}$ Thin-Film Growth by Sputtering in High Gas Pressures)

  • 한재원;조광행;최무용
    • 한국진공학회지
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    • 제4권1호
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    • pp.40-45
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    • 1995
  • 직경 2인치의 YBa2Cu3O7-y 타겟을 사용하여 높은 스퍼터링 기체 압력 하에서 off-axis DC-마그네트론 스퍼터링 방법으로 MgO(100) 단결정 기판 위에 YBa2Cu3O7-y 박막을 c축 방향으로 in-냐셔 성장시킬 때 기판의 접지 여부와 인가전류의 양이 박막 성장에 미치는 여향을 연구하였다. 그 결과 접지 여부는 박막의 초전도 변환온도, 전기수송 특성, 결정 구조적 특성에는 영향을 거의 주지 않는 반면 표면상태에는 상당한 영향을 미치며, 인가전류의 양은 초전도 특성에 많은 영향을 미침을 발견하였다. 기판온도 $670^{\circ}C$, 스퍼터링 기체압력 300mTorr, 아르곤 대 산소 분압비 5:1의 조건에서 인가전류의 최적량은 300-500 mA이었으며 평균 박막 성장속도는 $0.11-0.14AA$/s로 매우 낮았다. 기판의 접지 효과와 낮은 성장속도의 원인에 대해 고찰해 본다.

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Vapor Phase Epitaxy of Magnesium Oxide on Si(001) Using a Single Precursor

  • Lee, Sun-Sook;Lee, Sung-Yong;Kim, Chang G.;Lee, Sang-Heon;Nah, Eun-Ju;Kim, Yunsoo
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.122-122
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    • 2000
  • Magnesium oxide is thermodynamically very stable, has a low dielectric constant and a low refractive index, and has been widely used as substrate for growing various thin film materials, particulary oxides of the perovskite structure. There has been a considerable interest in integrating the physical properties of these oxides with semiconductor materials such as GaAs and Si. In this regard, it is considered very important to be able to grow MgO buffer layers epitaxially on the semiconductors. Various oxide films can then be grown on such buffer layers eliminating the need for using MgO single crystal substrates. Vapor phase epitaxy of magnesium oxide has been accomplished on Si(001) substrates in a high vacuum chamber using the single precursor methylmagnesium tert-butoxide in the temperature range 750-80$0^{\circ}C$. For the epitaxy of the MgO films, SiC buffer layers had to be grown on Si(001). The films were characterized by reflection high energy electron diffraction (RHEED) in situ in the growth chamber, and x-ray diffraction (XRD), x-ray pole figure analysis, scanning electron microscopy (SEM), and x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) after the growth.

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