• 제목/요약/키워드: MgO

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Cu 기판위에 성장한 MgO, $MgAl_2O_4$$MgAl_2O_4/MgO$ 박막의 집속이온빔을 이용한 스퍼터링수율 측정과 이차전자방출계수 측정 (Sputtering Yield and Secondary Electron Emission Coefficient(${\gamma}$) of the MgO, $MgAl_2O_4$ and $MgAl_2O_4/MgO$ Thin Film Grown on the Cu Substrate by Using the Focused Ion Beam)

  • 정강원;이혜정;정원희;오현주;박철우;최은하;서윤호;강승언
    • 한국진공학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.395-403
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    • 2006
  • [ $MgAl_2O_4$ ] 막은 MgO 보호막 보다 단단하며 수분 흡착 오염 문제에 상당히 강한 특성을 가진다. 본 연구에서 AC-PDP 의 유전체보호막으로 사용되는 MgO 보호막의 특성을 개선하기 위해 $MgAl_2O_4/MgO$ 이중층 보호막을 제작하여 특성을 조사하였다. 전자빔 증착기를 사용하여 Cu 기판에 MgO 와 $MgAl_2O_4$을 각각 $1000\AA$ 두께로 증착, $MgAl_2O_4/MgO$$200/800\AA$ 두께로 적층 증착 후, 이온빔에 의한 충전현상을 제거하기 위해 Al 을 $1000\AA$ 두께로 증착하였다. 집속 이온빔 (focused ion beam: FIB) 장치를 이용하여 10 kV 에서 14 kV 까지 이온빔 에너지에 따라 MgO는 $0.364{\sim}0.449$ 값의 스퍼터링 수율에서 $MgAl_2O_4/MgO$ 을 적층함으로 $24{\sim}30 %$ 낮아진 $0.244{\sim}0.357$ 값의 스퍼터링 수율이 측정되었으며, $MgAl_2O_4$는 가장 낮은 $0.088{\sim}0.109$ 값의 스퍼터링 수율이 측정되었다. g-집속이온빔 (g-FIB) 장치를 이용하여 $Ne^+$ 이온 에너지를 50 V 에서 200 V 까지 변화시켜 $MgAl_2O_4/MgO$ 와 MgO 는 $0.09{\sim}0.12$의 비슷한 이차 전자방출 계수를 측정하였다. AC- PDP 셀의 72 시간 열화실험 후 SEM 및 AFM으로 열화된 보호막의 표면을 관찰하여 기존의 단일 MgO 보호막과 $MgAl_2O_4/MgO$의 적층보호막의 열화특성을 살펴보았다.

단결정 MgO와 분말 $Fe_2O_3$간의 고상 반응 연구 (The Study on Solid-State Reaction Between MgO Single Crystal and $Fe_2O_3$ Powder)

  • 김성재;박재우
    • 한국세라믹학회지
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    • 제32권2호
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    • pp.234-238
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    • 1995
  • MgFe2O4 formation, grain growth in Fe2O3, Fe solid-solution limit in MgO for MgO-Fe2O3 mixture were studied by means of investigating the distribution of phases and compositions in reaction area between MgO and Fe2O3. The reaction area at equlibrium was composed with MgO-FexO matrix and MgFe2O4 precipitation, MgFe2O4 was formed by precipitating from MgO-FexO matrix dependent on oxygen partial pressure. Fe contents was exponentially decreased with diffusion distance in MgO single crystal, and thus Fe solid-solution limitation in MgO was about 4mol%. The grain growth rate in Fe2O3 base was increased with Mg contents diffused from MgO single crystal.

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O/Fe(100) and MgO/Fe(100) 계의 LEED I/V curve 분석 (LEED I/V Curve Analysis of O/Fe(100) and MgO/Fe(100) System)

  • 서지근;김상현
    • 한국진공학회지
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    • 제16권1호
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    • pp.1-6
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    • 2007
  • 우리는 O/Fe(100)의 원자적 구조와 MgO/Fe(100) 표면의 계면의 구조를 LEED I/V curve를 이용하여 분석하였다. 산소를 Fe(100) 표면에 흡착시켰을 때 Fe 표면의 첫 번째 층간 간격은 약 16 % 정도 팽창하는 것을 확인하였다. 1ML MgO를 Fe(100) 표면에 성장하였을 때, MgO의 O가 Fe의 on-top 위치에 자라나는 것을 확인하였고, MgO/Fe 계면의 층간 간격이 확장되는 것을 확인하였다. AIA(average intensity mixing approximation) 계산을 사용하여 단층 MgO 성장한 Fe(100) 계의 계면구조는 MgO/FeO/Fe(100)와 MgO/Fe(100)의 계면구조를 갖는 것을 확인하였다. 이것은 확장된 FeO 층의 존재를 보이고 MgO/FeO/Fe(100)와 MgO/Fe(100) 두가지 계면 구조의 공존을 보인 EELS 실험 결과를 뒷받침 한다.

MgO와 Al의 테르밋 반응생성물이 첨가된 MgO-C계 내화재료의 용손 기구 (Wear Mechanism of MgO-C Refractory with Thermite Reaction Products of MgO and Al)

  • 최태현;전병세
    • 한국세라믹학회지
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    • 제33권7호
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    • pp.832-838
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    • 1996
  • Thermite reaction products of MgO and Al were added to MgO-C refractory to improve the properties of corrosion against the attack of slag, oxidation and mechanical spalling. Corrosion rate of MgO-C-MgAl2O4 spinel refractory at the ratio of 3.3(CaO/SiO2) slag was smaller than that of MgO-C and MgO-C-Al refractory. The excellent corrosion resistance of the MgO-C-MgAl2O4 spinel refractory against the slag attack was appeared by Al and MgAl2O4 spinel with high melting point and corrosion resistance and the high thermal conductivity and low thermal expansion of AIN. Hot M.O.R at 140$0^{\circ}C$ and the resistance of oxidation weight loss at 90$0^{\circ}C$ were 210kg/cm2 and -12% respectively.

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$TiO_2$ 첨가에 의한 MgO 세라믹스의 표현 수화 저항성 향상 (The hydration resistance improvement of MgO ceramics by $TiO_2$ addition)

  • Ryu, Su-Chak;Kim, Jin-Kon;Hyun Cho
    • 한국결정성장학회지
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    • 제11권6호
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    • pp.269-273
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    • 2001
  • MgO를 기질로 한 세라믹스 시편에 $TiO_2$를 소량 첨가하고 $1450^{\circ}C$에서 열처리한 후 $TiO_2$를 첨가한 MgO 세라믹스의 수분에 대한 수화 반응에 미치는 영향을 조사하였다. $TiO_2$를 첨가하지 않은 MgO 세라믹스는 수분에 대한 수화반응에 의한 $Mg(OH)_2$의 생성으로 인한 질량변화가 관찰되었으나, $TiO_2$를 첨가함 MgO 세라믹스는 수분첩촉시간에 따른 질량변화가 관찰되지 않았다. $TiO_2$를 첨가한 MgO 세라믹스를 $1450^{\circ}C$에서 열처리했을 때, $Mg_2TiO_4$ 상이 관찰되었으며 특히 TiO$_2$를 첨가함에 따라 부피비중은 첨가량에 비례하며 증가한 반면에 가공율과 흡수율은 감소하는 경향을 나타내었다. 따라서 MgO 를 기질로 한 세라믹스에 $TiO_2$를 소량 첨가한 경우 표면에서 발생하는 수화 반응에 대하여 높은 저항성을 가짐을 확인하였다.

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Cu(Mg) alloy의 표면과 계면에서 형성된 MgO의 확산방지능력 및 표면에 형성된 MgO의 전기적 특성 연구 (A study on Electrical and Diffusion Barrier Properties of MgO Formed on Surface as well as at the Interface Between Cu(Mg) Alloy and $SiO_2$)

  • 조흥렬;조범석;이재갑
    • 한국재료학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.160-165
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    • 2000
  • Sputter Cu(1-4.5at.%Mg) alloy를 100mTorr이하의 산소압력에서 온도를 증가시키며 열처리하였을 때 표연과 계면에서 형성된 MgO의 확산방지막 특성을 살펴보았다 먼저, $Cu(Mg)/SiO_2/Si$ 구조의 샘플을 열처리했을 때 계면에서는 $2Mg+SiO_2{\rightarrow}2MgO+Si$의 화학반응에 의해 MgO가 형성되는데 이 MgO충에 의해 Cu가 $SiO_2$로 확산되는 것이 현저하게 감소하였다. TiN/Si 기판 위에서도 Cu(Mg)과 TiN 계면에 MgO가 형성되어 Cu(4.5at.%Mg)의 경우 $800^{\circ}C$까지 Cu와 Si의 확산을 방지할 수 있었다. 표면에 형성된 MgO위에 Si을 증착하여 $Si/MgO(150\;{\AA})/Cu(Mg)/SiO_2/Si$구조로 만든 후 열처리했을 때 $150\;{\AA}$의 MgO는 $700^{\circ}C$까지 Si과 Cu의 확산을 방지할 수 있었다. 표면에 형성된 MgO($150\;{\AA}$)의 누설전류특성은 break down 5V, 누설전류 $10^{-7}A/\textrm{cm}^2$의 값을 나타냈다. 또한 $Si_3N_4/MgO$ 이중구조에서는 매우 낮은 누설전류밀도를 나타냈으며 MgO에 의해 $Si_3N_4$ 증착시 안정적인 계면이 형성됨을 확인하였다.

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저온 소성한 MgO 분말을 혼입한 시멘트 복합체의 기초 물성 (Fundamental Properties of Cement Composites Containing Lightly Burnt MgO Powders)

  • 장봉석;권용길;최슬우;이광명
    • 콘크리트학회논문집
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    • 제23권2호
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    • pp.225-233
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    • 2011
  • 콘크리트는 타설 직후부터 온도 및 수분의 변화로 인한 체적 변화가 일어난다. 특히 초기 재령에서 발생하는 온도 수축과 건조 수축은 콘크리트에 균열을 유발할 수 있으며, 이는 콘크리트 내구성에 큰 영향을 끼친다. 중국에서는 저온에서 소성된 산화마그네슘(MgO) 분말을 시멘트 대체재로 사용한 콘크리트를 구조물에 적용할 경우, 수축에 대한 보상 효과를 얻을 수 있는 것으로 보고된 바 있다. 이 연구에서는 실험을 통하여 저온 소성한 MgO를 혼입한 시멘트 복합체의 다양한 특성을 규명하고자 하였다. 안정성 시험 결과 MgO 분말의 혼입에 따른 이상팽창이 유발되지 않음을 확인하였으며, MgO의 수화생성물 분석을 통해 MgO 분말이 장기 재령에서 수축을 보상하는 것을 확인하였다. 또한 적당한 MgO 분말의 혼입은 시멘트 복합체의 압축강도를 증진시키는 효과가 있었으며, MgO 분말의 혼입률이 높거나 양생 온도가 높을수록 MgO 분말의 팽창성에 따른 수축 보완 효과가 크게 나타났다.

MgO 변화량에 다른 $Ba(Mg_{1/3}Ta_{2/3})O_3$ [BMT]계 세라믹스의 미세조직변화와 마이크로파 유전특성 (Effect of MgO Content on Microstructural Evolution and Microwave Dielectric Properties of $Ba(Mg_{1/3}Ta_{2/3})O_3$ Ceramics)

  • 이정아;김정주;이희영;김태홍;최태구
    • 한국세라믹학회지
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    • 제31권11호
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    • pp.1299-1306
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    • 1994
  • Effect of MgO content on microstructural evolution and microwave dielectric properties of Ba(Mg1/3Ta2/3)O3 system was investigated. MgO content was varied from 10 mol% deficiency to 10 mol% excess of stoichiometric composition, respectively. It was found that MgO-deficient specimen showed faster grain growth rate than stoichometric and MgO excess BMT system. Besides, sandwich type precipitates of Ba5Ta4O15 which was formed within the BMT grain, might lead to the anisotropic grain growth of BMT grain. On the contrary, in MgO excess specimen, BMT grain growth rate was retarded by precipitations of MgO phase in grain boundary. Besides, the Q values of MgO-deficient showed lower than MgO-excess due to precipitations of Ba5Ta4O15 within BMT grain.

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자전고온연소합성법에 의한 MgO-Al 스피넬 제조 및 열역학적 고찰 (Preparation and thermodynamics consideration of MgO-Al spinel by self-propagation high- temperature synthesis)

  • 변헌수;최태현
    • 한국결정성장학회지
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    • 제8권4호
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    • pp.573-580
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    • 1998
  • MgO와 Al 분말을 자전고온연소합성법으로 $MgAl_2O_4$ 스피넬 상을 합성하였다. MgO 와 Al을 테르밋 반응으로 생성하였으며, 가열반응생성으로 $800^{\circ}C$ 예열온도에서 반응시켰다. DTA/TG, 합성생성물, 최고온도 공정조건에 대해 연구하였고, MgO와 Al은 MgO+2Al+ 3/$2O_3$ $\rightarrow$ $MgAl_2O_4$ 로 합성되었다. 미반응된 재료로부터 MgAl2O4 스피넬의 활성화 에너지는 -264.8kcal/mol의 발생열량과 5634K의 최고 반응온도로 계산되었다. 테르밋 반응후의 시험편의 체적느 6% 증가하였다.

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Effect of Core Morphology on the Decomposition of CCI₄ over the Surface of Core/Shell Structured Fe₂O₃/MgO Composite Metal Oxides

  • 김해진;강진;박동곤;권호진;Kenneth J. Klabunde
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제18권8호
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    • pp.831-840
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    • 1997
  • Core/shell structured composite metal oxides of Fe2O3/MgO were prepared by thermal decomposition of Fe(acac)3 adsorbed on the surface of MgO cores. The morphology of the composites conformed to that of the MgO used as the cores. Broad powder X-ray diffraction peaks shifted toward larger d, large BET surface area (∼350 m2/g), and the size of crystalline domains in nano range (4 nm), all corroborate to the nanocrystallinity of the Fe2O3/MgO composite which was prepared by using nanocrystalline MgO as the core. By use of microcrystalline MgO as the core, microcrystalline Fe2O3/MgO composite was prepared, and it had small BET surface area of less than 35 m2/g. AFM measurements on nanocrystalline Fe2O3/MgO showed a collection of spherical aggregates (∼80 nm dia) with a very rough surface. On the contrary, microcrystalline Fe2O3/MgO was a collection of plate-like flat crystallites with a smooth surface. The nitrogen adsorption-desorption behavior indicated that microcrystalline Fe2O3/MgO was nonporous, whereas nanocrystalline Fe2O3/MgO was mesoporous. Bimodal distribution of the pore size became unimodal as the layer of Fe2O3 was applied to nanocrystalline MgO. The macropores in a wide distribution which the nanocrystalline MgO had were absent in the nanocrystalline Fe2O3/MgO. The decomposition of CCl4 was largily enhanced by the overlayer of Fe2O3 on nanocrystalline MgO making the reaction between nanocrystalline Fe2O3/MgO and CCl4 be nearly stoichiometric. The reaction products were environmentally benign MgCl2 and CO2. Such an enhancement was not attainable with the microcrystalline samples. Even for the nanocrystalline MgO, the enhancement was not attained, if not with the Fe2O3 layer. Without the layer of Fe2O3, it was observed that the nanocrystalline domain of the MgO transformed into microcrystalline one as the decomposition of CCl4 proceeded on its surface. It appeared that the layer of Fe2O3 on the particles of nanocrystalline Fe2O3/MgO blocked the transformation of the nanocrystalline domain into microcrystalline one. Therefore, in order to attain stoichiometric reaction between CCl4 and Fe2O3/MgO core/shell structured composite metal oxide, the morphology of the core MgO has to be nanocrystalline, and also the nanocrystalline domains has to be sustained until the core was exhausted into MgCl2.