This paper presents a precise edge detection algorithm for the critical dimension (CD) measurement of a Thin-Film Transistor Liquid-Crystal Display (TFT-LCD) pattern. The sigmoid surface function is proposed to model the blurred step edge. This model can simultaneously find the position and geometry of the edge precisely. The nonlinear least squares fitting method (Levenberg-Marquardt method) is used to model the image intensity distribution into the proposed sigmoid blurred edge model. The suggested algorithm is verified by comparing the CD measurement repeatability from high-magnified blurry and noisy TFT-LCD images with those from the previous Laplacian of Gaussian (LoG) based sub-pixel edge detection algorithm and error function fitting method. The proposed fitting-based edge detection algorithm produces more precise results than the previous method. The suggested algorithm can be applied to in-line precision CD measurement for high-resolution display devices.
Precision measurement of silicon wafer resistivity has been using single-configuration Four-Point Probe(FPP) method. This FPP method have to applying sample size, shape and thickness correction factor for a probe pin spacing to precision measurement of silicon wafer. The deference for resistivity measurement values applied correction factor and not applied correction factor was about 1.0 % deviation. The sample size, shape and thickness correction factor for a probe pin spacing have an effects on precision measurement for resistivity of silicon wafer.
The accuracy of sound strength (G) measurement method in ISO 3382 has been questioned. One of the main reason is the difficulty in measuring a reference sound level in an anechoic chamber with the same set-up which was applied for the actual hall measurements. In the present paper, an in-situ measurement method for G was proposed by investigating the present G measurement method shown in ISO 3382. In addition, the sound radiation characteristics of typical omnidirectional loudspeakers were investigated and Phi (O) of auto correlation function (ACF) parameters was also calculated from an actual music excerpt to characterize the sound energy distribution in concert halls.
Micro force measurement is required more frequently for a precision manufacturing and investment in fields of precision industries such as semiconductor, chemistry and biology, and so forth. Null balance method has been introduced as an alternative of a loadcell. Loadcells have advantages in aspects of low cost and easy manufacturing, but have also the limitation in resolution and sensitivity to environment variations. In this paper, null balance method is explained and the dominant parameters related to system performances are mentioned. Null position sensor, electromagnetic system and controller are investigated. Also, the characteristic experiment is carried out in order to estimate the resolution and the measurement range. In order to overcome the limitation by the drift of position sensor and the performance of controller, double electromagnetic force compensation method is proposed and experimented. After controlling and filtering, the resolution under $\pm$ 1mg and measurement range over 300g could be obtained.
In this paper, We studied two methods to measure optical characteristics of an electrodeless light source using the integrating sphere(diameter 1.5m). One is to use a center measurement method and the other is to use a side measurement method. As a result of analysis, a side measurement methode without auxiliary lamp is almost similar against a center measurement with auxiliary lamp to reduce a measurement of an error for luminous flux, luminous efficacy and spectral distribution etc. Therefore, Sample which cannot measured by reason of big size and heavy weight can be measured by a side measurement method.
Proposed in this paper is a method of measurement of the flow rate in a pipe. The sound waves which are propagated within a pipe are characterized by that the wavenumber in the axial direction is changed according to the flow rate, and these characteristics are used in the present method of measurement of the flow rate. The amount of change in wavenumber of sound waves according to the flow rate can be obtained from the relationship among acoustic pressure signals within a pipe, which are measured by using a microphone array. The flow rate can be obtained by using the amount of change in wavenumber of sound waves and the relational equation of the flow rate. With respect to errors that can occur during the measurement of the flow rate, the types of errors and the method of correction of those errors are presented. This method of measurement of the flow rate has application limitation conditions due to the sensor interval, assumption of sound waves as plane waves, etc. The numerical simulation and experiments for measuring the flow rate of air in a pipe are performed in order to verify the applicability of this method of measurement of the flow rate. The experimental results are shown to be similar to those of the numerical simulation. And the flow rate measured is shown to be consistent with the actual value within 5% error bound.
This paper presents a measurement method to compromise surface error in surface machining processes. In order to compromise the surface error in machining process, on-machine measurement is essential. There are two kinds of on-machine measurement methods available to measure the surface errors in flat workpieces: i.e., surface scanning method and sensor scanning method. However, motion errors are inevitably engaged in both methods. This paper proposes a new idea to measure the surface error for error compensation. The measurement system consists of a laser, a CCD camera and processing system, a carrier system with a stylus, and some optical units. The experimental results show that the proposed method is useful to compensate the surface errors of machined workpieces.
According to damage of papers by the chemical cause, papers become to acidify. Among the 3 kinds of method measuring the acidity of paper, one was nondestructive method measuring the surface of the paper by flat type electrode and the others were destructive methods measuring directly by cold water extract method and hot water extract method. In case of the cellulolytic cultural properties, the latter methods were not applied because those methods must bedissociated papers. To measure the paper acidity nondestructively, we investigated the correlation of the nondestructive method and the destructive methods. The conclusions are as follows. 1) In the relationship of the cold water extract method and the hot water extract method, It was indicated that the pH measured by the hot water extract method was high quality printing paper 0.08, rough printing paper 0.13, and Korean paper 0.29 higher than that by the cold water extract method.2) In the relationship of the cold water extract method and the surface measurement method, It showed that the pH value measured by the cold water extract method was high quality printing paper 1.86, rough printing paper 0.80,and Korean paper 0.58 higher than value that by the surface measurement.3) In the relationship of the hot water extract method and the surface measurement method, It showed that the pH value measured by the hot ABSTRACT water extract method was high quality printing paper 1.78, rough printing paper 0.66, and Korean paper 0.29 higher than that by the surface measurement. From the above-mentioned results, the pH value measured by the surface measurement was need to high about 1.78∼1.86 in high quality printing paper, 0.66-0.80 in rough printing paper, and 0.29∼0.58 in Korean paper and the surface measurement with flat type electrode was very available to measure the acidity of Korean papers actually.
Thermodynamic method of pump performance measurement calculates pump efficiency and flowrate by measuring fluid temperature increase and pressure rise through the pump. The theory of this method is investigated and precise comparison experiment with classical hydraulic method was conducted to verify the accuracy. Classical hydraulic pump performance measurement results and Yatesmeter results based on the thermodynamic method showed good agreement in measured performance.
Speckle interferometry with phase-shifting method has been applied to measurement of micro-scale displacement through optical signal processing. Four-step phase-shifting method by PZT is used to measure out-of-plane displacement in spot-welded cantilever and results of optical experiments are comparable to those of FEM. Phase-shifting method using Fourier transform by PZT is applied to measurement of in-plane displacement on rectangular steel plate with a circular hole. The results of optical experiment agree well with theoretical calculation. New phase-shifting method in speckle interferometry has been implemented with a quarter wave plate. In-plane displacement of specimen is measured by the new phase-shifting method. Results of optical experiment show that the quarter wave plate can be used for phase-shifting method that is cheap and easy to use in speckle interferometry.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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