The Effect of Energy-absorbing layers on Micro-patterning of Magnetic Metal Films using Nd:YAG Laser (Nd:YAG Laser를 이용한 자성금속막의 패턴 식각에 있어서 에너지 흡수층이 미치는 영향)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.13 no.6
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- pp.538-544
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- 2000