• 한국광학회지
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• 제19권4호
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• pp.315-319
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• 2008

열광학 장주기 격자를 이용한 노치 필터의 파워 소모를 이론적으로 살펴 보았다. 여기서 열광학 장주기 격자는 주기적인 히터들과 패드들로 구성된 히터 배열에 의해 유발된다. 히터 배열에서 소모되는 파워는 열광학 장주기 격자를 유발하는 줄(joule) 열로 전환되기 때문에, 그 파워를 조절함으로써 노치 필터의 특성을 동적으로 제어할 수 있다. 적절한 결합 효율을 얻기 위해 히터 배열에 가하는 파워는 히터 배열의 인자들에 의존하는데, 이 인자들은 히터의 폭과 길이, 패드의 폭, 그리고 히터 배열을 구성하는 금속 박막의 두께이다. 이 인자들이 파워 소모에 미치는 영향을 이론적으로 해석하는 근사적인 방법을 설명하고, 설명한 방법을 사용하여 인자들의 변화에 따른 파워 소모의 변화를 해석한다. 해석 결과로부터 파워 소모를 줄이기 위해 필요한 인자 선택의 기준을 도출한다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제24권4호
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• pp.39-46
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• 2017

본 연구는 평판형 히터용 금속방열판상의 세라믹 절연층 제조, 즉 절연성 금속기판에 관한 것이다. 반도체나 디스플레이의 열처리 공정 등에 사용되는 평판형 히터를 제조함에 있어서, 온도 균일도를 높이기 위해 금속 방열판으로서 열전도율이 높고, 비교적 가벼우며, 가공성 좋은 알루미늄 합금 기판이 선호된다. 이 알루미늄 기판에 발열 회로 패턴을 형성하기 위해서는 금속 기판에 절연층으로서 고온 안정성이 우수한 세라믹 유전체막을 코팅하여야 한다. 금속 기판상에 세라믹 절연층을 형성함에 있어서 가장 빈번히 발생하는 첫 번째 문제는 금속과 세라믹의 이종재료 간의 큰 열팽창계수 차이와 약한 결합력에 의한 층간박리 및 균열발생이다. 두 번째 문제는 절연층의 소재 및 구조적 결함에 따른 절연파괴이다. 본 연구에서는 이러한 문제점 해소를 위해 금속소재 기판과 세라믹 절연층 사이에 완충층을 도입하여 이들 간의 기계적 매칭과 접합력 개선을 도모하였고, 다중코팅 방법을 적용하여 절연막의 품질과 내전압 특성을 개선하고자 하였다.

• 대한기계학회논문집B
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• 제25권6호
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• pp.845-852
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• 2001

The characteristics of evaporation cooling of single droplet on a heated surface were studied experimentally. The two kinds of heater modules were tested to measure cooling characteristics of metal surface (high conductivity) and Teflon surface (low-energy surface, low conductivity). The results showed that time averaged heat flux during droplet evaporation increased exponentially with initial surface temperatures of brass, copper and steel. The heat flux and evaporation time did not varied with metal conductivities. However, the temperature drop after the deposition of droplet was larger on Teflon than on the metals. Thus, the correlation of interface temperature between liquid droplet and metal surface was proposed as a function of the initial surface temperature of heating materials, which could be applied to both metal and non-metal ones.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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• pp.63-63
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• 2008

Environmental monitoring sub-system has been developed using gas sensor module, Bluetooth module and PDA phone. The gas sensor module consists of $NO_2or$ CO gas sensor and signal processing chips. Gas sensor is composed of the micro-heater, sensing electrode and sensing material. Metal oxide nano-material was selectively deposited on a substrate with micro-heater and was integrated to the gas sensor module. The change in resistance of the metal oxide nano-material due to exposure of oxidizing or deoxidizing gases is utilized as the principle of this gas sensor operation mechanism. This variation detected in the gas sensor module was transferred to the PDA phone by way of Bluetooth module.

• 한국진공학회지
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• 제13권4호
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• pp.182-188
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• 2004

이전의 연구에서의 소스 형태는 전기화학적 방법으로 에칭된 텅스텐 선에 코일형태의 히터를 부착한 것으로 액체금속을 직접 가열하는 방법이었다. 이전의 모델에서는 액체금속을 가열하는 과정에서 코일형태의 히터에 대한 과다한 전력소모가 발생함으로써 본 연구에서는 코일형태의 히터를 대체할 수 있는 새로운 방법을 제시하고 그의 특성을 연구하였다. Pre-etching된 250$\mu\textrm{m}$의 텅스텐 선을 7mm 단위로 절단, 이를 갈륨저장소로 만든 형태이다. 가열방식은 직접방식으로 갈륨을 저장소에 적재(loading)하는 과정과 빔의 안정도가 이전의 방법보다 더욱 향상되었음을 본 연구의 결과를 통해 볼 수 있다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제35권1호
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• pp.37-43
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• 2022

In this study, we investigated the optical, electrical and exothermic characteristics of ITO/Ag/ITO multilayer structures prepared with various Ag thicknesses on quartz and PI substrates. The transparent conducting properties of the ITO/Ag/ITO multilayer films depended on the thickness of the mid-layer metal film. The ITO/Ag (14 nm)/ITO showed the highest Haccke's figure of merit (FOM) of approximately 19.3×10^-3 Ω^-1. In addition, the exothermic property depended on the substrate. For an applied voltage of 3.7 V, the ITO/Ag (14 nm)/ITO multilayers on quartz and PI substrates were heated up to 110℃ and 200℃, respectively. The bending tests demonstrated a comparable flexibility of the ITO/Ag/IT multilayer to other transparent electrodes, indicating the potential of ITO/Ag/ITO multilayer as a flexible transparent conducting heater.

• 전력전자학회:학술대회논문집
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• 전력전자학회 2017년도 추계학술대회
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• pp.19-20
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• 2017

본 논문에서는 자성체 및 비자성체 용기 판별이 가능하고 워킹코일 온도 변화가 고려된 All Metal IH(Induction Heating) 제어 알고리즘을 설계한다. 용기 재질과 위치에 따른 파라미터를 분석하여 전력 Curve-fitting 모델링을 통해 용기 판별을 수행하고 비자성체 가열 시 급상하는 워킹코일 온도를 반영하여 변화하는 전력 제어 알고리즘을 보상한다. 설계된 All Metal IH 제어 알고리즘은 실험을 통해 검증한다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.387.1-387.1
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• 2016

Transparent materials are necessary for most photoelectric devices, which allow the light generation from electric energy or vice versa. Metal oxides are usual materials for transparent conductors to have high optical transmittance with good electrical properties. Functional designs may apply in various applications, including solar cells, photodetectors, and transparent heaters. Nanoscale structures are effective to drive the incident light into light-absorbing semiconductor layer to improve solar cell performances. Recently, the new metal oxide materials have inaugurated functional device applications. Nickel oxide (NiO) is the strong p-type metal oxide and has been applied for all transparent metal oxide photodetector by combining with n-type ZnO. The abrupt p-NiO/n-ZnO heterojunction device has a high transmittance of 90% for visible light but absorbs almost entire UV wavelength light to show the record fastest photoresponse time of 24 ms. For other applications, NiO has been applied for solar cells and transparent heaters to induce the enhanced performances due to its optical and electrical benefits. We discuss the high possibility of metal oxides for current and future transparent electronic applications.

• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제49권6호
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• pp.360-366
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• 2000

This paper presents the fabrication and test of a micropump consisting of a pair of Al flap valves and a phase-change type actuator. The actuator is composed of a heater, a silicone rubber diaphragm and a working fluid chamber. The diaphragm is actuated by the vaporization and the condensation of the working fluid. The micropump is fabricated by the anisotropic etching, the boron diffusion and the metal evaporation. The forward and the backward flow characteristics of the flap valves illustrate the appropriateness as a check valve. Also, the flow rate of the micropump is measured. When the square wave input voltage of 8 V, 70% duty ratio and 2 Hz is applied to the heater, the maximum flow rate of the micropump is $97\muell/min$ for zero pressure difference.

• 항공우주시스템공학회지
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• 제13권2호
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• pp.66-72
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• 2019

SAR(Synthetic Aperture Radar) 관측위성과 같이 고 발열 임무장비가 다수 적용되는 경우 전장품의 발열을 효과적으로 우주공간으로 방출하기 위한 방열판의 적용이 요구된다. 그러나 위성의 식 구간에서 임무장비의 비작동 시, 방열판을 통해 지속적인 방열이 이루어짐에 따라 장비의 최소허용 온도유지를 위한 히터 적용이 불가피하게 된다. 본 연구에서는 기존 방열판에 비해 보다 효율적인 열제어를 위하여 높은 전도율의 액체금속을 이용한 우주용 가변 전도율 방열판을 제안하였다. 제안된 방열판은 탑재장비의 온도조건에 따라 두 개의 저장소 사이에서 기계식 펌프로 액체금속을 이동함으로서 열전도 특성을 가변하는 원리이다. 따라서 저온 조건에서는 방열판으로의 열전도를 차단하여 임무장비에 대한 히터 전력소모를 최소화하고, 반대로 고온 조건에서는 기존 방열판과 같이 효과적인 방열이 가능하도록 한다. 본 연구에서는 제안한 가변 전도율 방열판의 실현 가능성 입증을 위한 열해석을 실시하여 기존의 전도율이 고정된 방열판과 열적 성능을 비교 분석하였다.