• 제목/요약/키워드: Mechanical peeling

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패턴 피치크기 및 밀도에 따른 Cu CMP 공정의 AFM 분석에 관한 연구 (Studies on the AFM analysis of Cu CMP processes for pattern pitch size and density after global planarization)

  • 김동일;채연식;윤관기;이일형;조장연;이진구
    • 전자공학회논문지D
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    • 제35D권9호
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    • pp.20-25
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    • 1998
  • 대면적 평탄화 및 미세패턴형성기술로 각광받고 있는 CMP(chemical mechanical polishing) 공정을 이용하여 SiO₂ trench 패턴의 피치크기와 밀도에 따른 Cu의 평탄화 과정과 평탄화 이후의 표면 profile을 AFM(atomic forced microscopy)으로 측정하고 분석하였다. 실험결과, 평탄화 초기 연마율은 패턴밀도가 높고 피치크기가 작을수록 연마율이 증가하였으며, 초기 평탄화 이후 연마율이 급속히 감소함을 알 수 있었다. 말기 평탄화 이후, 전체 패턴의 평균 rms roughness는 120Å이었다. 그러나, 패턴피치 크기가 2㎛ 이하이고, 50% 패턴밀도를 갖는 패턴의 경우에는 Cu의 일부분이 120∼330Å 정도의 깊이로 떨어져 나가는 현상과 SiO₂와 Cu의 경계면에 oxide erosion 현상이 나타났으며, 패턴 피치 크기가 10㎛ 및 15㎛에서는 Cu와 SiO₂경계면 부분에 Cu가 260∼340Å 정도로 trench 되어 있는 것을 볼 수 있었다. 또한, SiO₂와 Cu의 패턴내부 및 접합면에서 생기는 수백 Å이하의 peeling 및 deeping 현상의 원인과 해결방안에 대해 논의하였다.

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CFRP/GFRP 적층복합재의 두께가 혼합모드 균열거동과 AE에 미치는 영향 (The Effect of the CFRP/GFRP Composite Thickness on AE Characteristics and Mixed Mode Crack Behavior)

  • 윤유성;김다진솔;권오헌
    • 한국안전학회지
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    • 제29권6호
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    • pp.9-14
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    • 2014
  • Recently many efforts and researches have been done to cope with industrial facilities that require a low energy machines due to the gradual depletion of the natural resources. The fiber-reinforced composite materials in general have good properties and have the proper mechanical properties according to the change of the ply sequences and fiber distribution types. However, in the fiber-reinforced composite material, there are several problems, including fiber breaking, peeling, layer lamination, fiber cracking that can not be seen from the metallic material. Particularly, the fracture and delamination are likely to be affected by the thickness of the stacking laminates when the bi-material laminated structure is subjected to a load of the mixed mode. In this study, we investigated the effect of the thickness ratio of the difference in the CFRP/GFRP bi-material laminate composites by measuring the cracking behavior and the AE characteristics in a mixed mode loading, which may be generated in the actual structure. The results show that the thickness of the CFRP becomes more thick, the mode I energy release rate becomes a larger, and also the influence of mode I is greater than that of mode II. In addition, AE amplitude which shows the level of the damage in the structure was obtained the more damage in the CFRP with the thin thickness.

Rosen type 변압기 응용을 위한 PNN-PMN-PZT 세라믹스의 전기적 특성 (Electrical Properties of PNN-PMN-PZT ceramics for Rosen Type Transformer Applications)

  • 주현규;김인성;송재성;김민수;정순종;이대수
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회
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    • pp.1244-1245
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    • 2008
  • Recently, piezoelectric transformer is applied to wide fields. Multi layer piezoelectric transformer has the advantage of high step up ratio, electromechanical coupling coefficient(Kp) and mechanical quality factor(Qm), but is indicated of peeling-phenomenon of electrode, rising sintering temperature made price of costly electrode. So in this study, it discuss on method for fabrication of rosen type piezoelectric transformers. For the fabrication as rosen type piezoelectric transformers, synthesized the powder using 0.01Pb$(ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3$ - 0.08Pb$(Mn_{1/3}Nb_{2/3})O_3$ - 0.91Pb$(Zr_{0506}Ti_{0496})O_3$ (abbreviated as PNN-PMN-PZT) ceramics. The density, microstructure, dielectric and piezoelectric properties as a function of sintering temperature were investigated. The results indicated that the optimized properties of ceramics were obtained at sintering temperature of 1200$^{\circ}C$, showed the value of $d_{33}$=273pC/N, $K_p$=0.60 $Q_m$=1585, ${\varepsilon}_r$=1454, density=7.917$g/cm^3$ and $tan{\delta}$=0.0064.

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Hydroxypropyl methylcellulose 접착력 증진제 첨가에 따른 은 나노와이어 용액 및 필름의 특성 변화 (Characteristics of Silver Nanow ire Solution and Film Depending on Hydroxypropyl Methylcellulose Adhesion Promoter Addition)

  • 정진욱;김종복
    • 접착 및 계면
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    • 제24권2호
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    • pp.54-59
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    • 2023
  • 은 나노와이어 기반 투명전극은 우수한 전도도와 투과도, 유연성을 가지고 있어 ITO 기반의 유연전극을 대체할 수 있는 차세대 유연투명전극으로 각광받고 있다. 그러나 은 나노와이어 기반 투명전극 제작에 사용되는 은 나노와이어 용액에 대한 이해가 부족하여 전자소자 응용 시 소자의 비정상적인 작동이나 전극 필름의 박리 문제가 종종 발생하곤 한다. 본 연구에서는 은 나노와이어 용액에 대한 이해를 높이고자 은 나노와이어 용액에 사용되는 첨가제 중 하나인 hydroxypropyl methylcellulose 접착력 증진제에 대한 연구를 진행하였으며, 접착력 증진제를 첨가함에 따라 은 나노와이어 용액의 특성이 어떻게 변화되고 이러한 용액을 사용하여 제작된 은 나노와이어 필름의 특성이 어떻게 변화되는지 연구하였다. 용액의 특성으로는 극성성분의 표면장력과 분산 성분의 표면장력이 측정되었으며, 필름 특성으로는 표면 에너지와 표면 형상, 은 나노와이어 밀도, 면저항 등이 분석되었다.

동아정과의 재료배합비와 조리방법에 따른 Texture 특성 (Sensory and Mechanical characteristics of Wax gourd Jung Kwa by different recipes)

  • 이효지;김현정
    • 한국식품조리과학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.412-420
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    • 2001
  • 동아정과를 만들 때 동아의 전처리 과정과 전처리된 동아에 당의 종류와 물의 양의 차이, 졸임시간 및 조리방법이 동아정과의 Texture에 미치는 영향을 실험한 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 관능검사 결과 color는 전처리한 동아 300g, 물 1$\ell$, 물엿 495$m\ell$로 제조한 정과가 가장 좋다고 평가되었다. Flavor, Hardness, Chewiness는 전처리한 동아 300g, 물 1$\ell$, 물엿 475$m\ell$와 설탕 70g으로 제조한 정과가 가장 좋다고 평가되었다. Adhesiveness는 전처리한 동아 300g, 물 1$\ell$, 물엿 515$m\ell$로 제조한 정과가 가장 좋다고 평가되었다. Sweetness는 전처리한 동아 300g, 물 600$m\ell$, 설탕 90g에 꿀 120g으로 제조한 정과가 가장 달다고 평가되었다. 전반적으로 바람직한 기호도는 전처리한 동아 300g에 물 1$\ell$, 물엿 475$m\ell$, 설탕 70g을 넣고 5시간 동안 제조한 당도 74%의 정과가 가장 좋다고 평가되었다. 모든 항목에서 유의한 차이가 있었다(P<0.05). 2. 전처리한 동아 300g에 물 1$\ell$, 물엿 475$m\ell$, 설탕 70g을 넣고 5시간 동안 제조한 정과의 최대절단력이 4753.8g으로 가장 높았다. 이 때 당은 74%였다. 당은 설탕과 꿀$\longrightarrow$물엿과 설탕$\longrightarrow$물엿으로 제조한 정과의 순으로 최대절단력이 높았다. 모든 항목에서 유의한 차이가 있었다(p<0.05). 3. 전처리한 동아 300g에 물 1$\ell$, 물엿 475$m\ell$을 넣고 5시간 동안 제조한 정과의 수분향량은 45.54%로 가장 많았다. 당은 물엿과 설탕$\longrightarrow$물엿$\longrightarrow$설탕과 꿀로 제조한 정과의 순으로 수분향량이 많았다. 4. 동아정과의 L값(Lightness)는 전처리한 동아 300g에 물 1$\ell$, 물엿 475$m\ell$, 설탕 50g을 넣고 5시간 동안 제조한 군이 가장 밝았다. 전체적으로 물엿$\longrightarrow$1물엿과 설탕$\longrightarrow$설탕과 꿀로 제조한 정과의 순으로 L값이 높아 밝았다. a값(Redness)은 전처리한 동아 300g에 물1$\ell$, 물엿 475$m\ell$, 설탕 70g을 넣고 5시간 동안 제조한 군이 가장 높아 red에 가까웠고 전체적으로 물엿과 설탕$\longrightarrow$설탕과 꿀$\longrightarrow$물엿으로 제조한 정과의 순으로 red에 가까웠다. b값(Yellowness)은 전처리한 동아 300g에 물 1$\ell$, 물엿 475$m\ell$을 넣고 5시간 동안 제조한 군이 가장 높아 yellow에 가까웠고 전체적으로 물엿$\longrightarrow$설탕과 꿀$\longrightarrow$물엿과 설탕으로 제조한 정과의 순으로 yellow에 가까웠다. 5. 관능검사에서 단단하다고 평가된 정과가 색도에서 적색도가 높았다. 관능검사에서 색이 좋다고 평가된 정과가 색도에서 붉은 빛과 황색을 나타냈다. 관능검사의 단단한 정도(Hardness)와 씹힘성(Chewinwss)은 기계검사의 Texture인 최대절단력(Maximum cutting force)과 정의 상관관계를 보여 관능검사에서 단단함과 씹힘성이 높다고 평가된 정과가 기계검사에서 최대절단력이 높았다. 관능검사의 전반적으로 바람직한 정도(Overall quality)는 기계검사의 Texture와 정의 상관관계를, 수분향량(Moisture content)과는 부의 상관관계를 보여 최대절단력이 높고 수분함량이 낮을 수록 정과의 관능성이 좋았다. 이상의 연구를 통해 얻은 동아정과의 가장 바람직한 recipe는 동아 300g을 석회가루 20g에 48시간 재운 후 끓는 물에 2분 동안 데쳐 찬물에 1시간 담갔다가 물엿 475$m\ell$, 설탕 70g, 물 1$\ell$를 5시간 동안 졸인 것이었다. 이 때 시럽의 당도는 74%였고, 절단력은 4753.8g이었다. 수분함량은 32%였다.

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