Thermoelectric Characteristics of the Electroplated Bi-Te Films and Photoresist Process for Fabrication of Micro Thermoelectric Devices (전기도금 공정으로 제조한 Bi-Te 박막의 열전특성 및 미세열전소자 형성용 포토레지스트 공정)
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- Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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- v.14 no.2 s.43
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- pp.9-15
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- 2007