This article investigates how to adaptively predict the time-varying metrology delay that could realistically occur in the semiconductor manufacturing practice. Metrology delays pose a great challenge for the existing run-to-run (R2R) controllers, driving the process output significantly away from target if not adequately predicted. First, the expected asymptotic double exponentially weighted moving average (DEWMA) control output, by using the EWMA and recursive least squares (RLS) prediction methods, is derived. It has been found that the relationships between the expected control output and target in both estimation methods are parallel, and six cases are addressed. Within the context of time-varying metrology delay, this paper presents a modified recursive least squares-linear trend (RLS-LT) controller, in combination with runs test. Simulated single input-single output (SISO) R2R processes subject to various time-varying metrology delay scenarios are used as a testbed to evaluate the proposed algorithms. The simulation results indicate that the modified RLS-LT controller can yield the process output more accurately on target with smaller mean squared error (MSE) than the original RLSLT controller that only deals with constant metrology delays.
Drug delivery systems that are based on pectin have been studied for colon specific delivery using the specific activity of colon microflora. The aim of this study was to design a novel method of manufacturing pectin microspheres without oils and surfactants and to investigate the potential use of the pectin microspheres as an oral colon-specific drug carrier. The pectin microspheres were successfully formed using the spray drying method and crosslinking with calcium chloride. From the crosslinked pectin microspheres, indomethacin (IND) release was more suppressed than its release from non-crosslinked microspheres. In a low pH (pH 1.4) environment, the pectin microspheres released IND at an amount of about 18${\pm}$2% of the total loaded weight for 24 h while the release rate of IND was stimulated at neutral pH (pH 7.4). IND release from the pectin microspheres was increased by the addition of pectinase. The results clearly demonstrate that the pectin microspheres that were prepared by the spray drying and crosslinking methods are potential carriers for colon-specific drug deliveries.
This paper proposes the heuristic approach for the generalized GT(Group Technology) problem to consider the restrictions which are given the number of cell, maximum number of machines and minimum number of machines. This approach is classified into two stages. In the first stage, we use the similarity coefficient method which is proposed and calculate the similarity values about each pair of all machines and align these values in descending order. If two machines which is selected is possible to link the each other on the edge of machine cell and they don't have zero similarity value, then we assign the machines to the machine cell. In the second stage, it is the course to form part families using proposed grouping efficacy. Finally, machine-part incidence matrix is realigned to block diagonal structure. The results of using the proposed approach are compared to the Modified p-median model.
To survive head-to-head competition, we should keep our labor productivities above those of other nations. However, our labor productivities are low compared to those of the developed countries. It is the well-known fact that we make up for the productivities with long work hours. Entering the line of developed nations safely and enjoying well-being age freely, we need to achieve high labor productivities without sacrificing work hours. What would be a fine solution? Back to the basics! Although it is important to enforce R&D on high-tech products, we should have so-called bluebird philosophy, being faithful to the basics and trying to find solutions at a stone's throw. Basics of basics may be unceasing improvement, establishing reasonable standard times, and maintaining them. To support going back to the basics, this thesis proposes VITAMAX, a motion and time study software. As VITAMAX stands for "Visual Improvement and Time Analysis for Maximizing Profits", it provides a simple and powerful visual tool which is useful for improving manual works and determining standard times. Since VITAMAX is based on the Microsoft Excel and VBA, it is very cost-effective and easy to use. VITAMAX may contribute to the profit increase of manufacturing companies, especially for the small and medium-sized enterprise.
The studies on semiconductor industrial accident in korea have been focused on the frequencies of each type of safety management employee, characteristics, cause and unsafe conditions, acts and so on. Those attributes of semiconductor industrial accidents were usually analyzed independently, so that it was hard to provides a wel-developed process and systematic guidelines for efficient safety management. Therefore, there were a few studies based on comprehensive survey in terms of the shape type of safe management. The questionnaire survey carried out for the 284 workers who were responsible for safety management in center with cooperation companies in semiconductor industry factor analysis showed that there were three factors of safety management. First, investment and operation and management for accident prevention, Second, unsafe act and condition, safety management Third, general human error and behavior. The industries of respondents were correlative with three groups. Three groups showed statistically significant differences on the number of cases. Actually, the group with the larger investment and the more unsafe cause, human error of accidents prevention had a smaller causes of accident cases.
Currently, engineering design is carried out in a distributed manner geographically or physically. This imposes new requirements on the computational environments, such as efficient integration and collaboration in the Internet and network environments. Meanwhile, Web-based distributed design has led new paradigms in design and manufacturing fields. For example, Web-based technologies have reduced the product development time and to ensure a competitive product in order to exchange and interact of real-time design information that integrates the distributed design environment between departments as well as companies via Internet and Web. Hence, efficient data communication for design information sharing is the basis for collaborative systems in the distributed environments. Design data communication techniques such as CORBA, DCOM, and JAVA RMI have been considered in the existing research, but these techniques have some disadvantages such as limitations of interoperability and firewall problems. This paper presents the application of engineering design problems in which distributed design information resources are integrated and exchanged using Web Service for supporting XML and HTTP without interoperability and firewall problems.
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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제8권2호
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pp.64-69
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2007
Aerostatic planar XY stages are frequently used as the main frames of precision positioning systems. The machining and assembly process of the rails and bed of the stage is one of first processes performed when the system is built. When the system is complete, the 2D position, motion, and stage flatness errors are measured in tests. If the stage errors exceed the application requirements, the stage must be remachined and the assembly process must be repeated. This is difficult and time-consuming work. In this paper, a method for estimating the errors of a planar XY stage is proposed that can be applied when the rails and bed of the stage are evaluated. Profile measurements, estimates of the motion error, and 2D position estimation models were considered. A comparison of experimental results and our estimates indicated that the estimated errors were within $1{\mu}m$ of their true values. Thus, the proposed estimation method for 2D position and flatness errors of an aerostatic planar XY stage is expected to be a useful tool during the assembly process of guideways.
본 논문은 rework 발생확률을 고려하는 병렬기계 스케줄링 문제를 위해 문제공간기반 탐색 알고리즘을 제안한다. 각 기계와 작업유형별로 rework 발생확률이 존재하며 이것은 자동화된 공정에서 과거데이터로부터 산출가능하다. 스케줄링 문제의 데이터 벡터 (가공시간, 납기, 셋업시간, rework확률)를 교란시킴으로써 이웃해를 생성하고 이로부터 도출된 해는 EDDR이라는 효과적인 휴리스틱을 이용하여 평가한다. 제안된 알고리즘은 납기지연의 최대값과 rewok 발생 작업수로 평가함으로써 제품의 품질과 납기수준을 동시에 고려할 수 있도록 한다.
Power factor improvement at high temperatures has been a major research topic for the development of skutterudite thermoelectric materials. Here, we attempted to optimize the process parameters for manufacturing skutterudite materials, especially for p-type systems. We focused on the effect of aging time variation to maximize the high-temperature performance of the Ce-filled Fe3CoSb12 skutterudite system. The optimized aging time was concluded to be a key parameter for the formation of single-phase nanostructures in this p-type skutterudite system. The optimized condition was effective in reducing the bipolar effect at high temperature ranges by increasing the carrier concentration in the p-type system. To confirm the conclusions, the electrical conductivity, Seebeck coefficient, and power factor were measured. The results matched well with the microstructure and with those of an XRD analysis performed for the system.
In this research, the dynamic stability and nonlinear vibration behavior of a smart rotating sandwich cylindrical shell is studied. The core of the structure is a functionally graded material (FGM) which is integrated by functionally graded piezoelectric material (FGPM) layers subjected to electric field. The piezoelectric layers at the inner and outer surfaces used as actuator and sensor, respectively. By applying the energy method and Hamilton's principle, the governing equations of sandwich cylindrical shell derived based on first-order shear deformation theory (FSDT). The Galerkin method is used to discriminate the motion equations and the equations are converted to the form of the ordinary differential equations in terms of time. The perturbation method is employed to find the relation between nonlinear frequency and the amplitude of vibration. The main objective of this research is to determine the nonlinear frequencies and nonlinear vibration control by using sensor and actuator layers. The effects of geometrical parameters, power law index of core, sensor and actuator layers, angular velocity and scale transformation parameter on nonlinear frequency-amplitude response diagram and dynamic stability of sandwich cylindrical shell are investigated. The results of this research can be used to design and vibration control of rotating systems in various industries such as aircraft, biomechanics and automobile manufacturing.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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