Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
/
1999.07a
/
pp.248-248
/
1999
현재 반도체 공정에서 사용하는 건식식각 공정은 고밀도 프라즈마를 사용한 플라즈마 장비를 사용하는 경향이 증대되고 있으며 이와 같은 고밀도 플라즈마 장비의 사용은 반도체 소자의 최소 선폭(CD)이 deep sub-micron으로 감소하고 반면 실리콘 웨이퍼의 크기는 8인치 직경이상으로 증가하여 가고 있어서 그 필요성이 더욱 더 증가되고 있다. 특히 TFT-LCD를 비롯한 PDP, 그리고 FED 등과 같은 여러 가지 형태의 평판 디스플레이의 제조공정에 있어서도 실리콘 기판에 비하여 대면적의 기판을 이용하고 또한 사각형 형태의 시편공정이 요구되므로 평판 디스플레이에서도 고밀도의 균일한 플라즈마 유지가 중요하다. 따라서, 본 실험에서는 여러 가지 형태의 영구자석 및 전자석의 세기 및 배열이 유도결합형 플라즈마에 미치는 효과(plasma&etch uniformity, etch rate, etc.)를 살펴보기 위해서, 유도결합형 플라즈마 chamber(210mm$\times$210mm) 내부에 magnetic cusping을 위한 영구자석용 하우스를 제작하여 표면에서 3000Gauss의 자장세기를 갖는 소형영구자석을 부착하였으며,외벽에는 chamber와 같이 사각형태로 40회 감겨진 50cm$\times$50cm 의 크기로 chamber 상하에 1개씩 Helmholtz 코일 형태로 설치하였다. 식각가스로는 Cl2, HBr, 그리고 BCl3 gas를 이용하여 axial magnet과 multidipole magnet 유무에 따른 반응성 gas의 polysilicon 식각특성을 살펴보았으며, 또한 electrostatic probe(ESP, Hiden Analytic미)를 이용하여 이들 반응성 gas에 대한 magnetically enhanced inductively coupled plasma의 특성분석을 수행하였따. Cl2, HBr, BCl3의 반응성 식각가스 조합을 이용하여 polysilicon의 식각속도 및 식각선택도를 관찰한 결과, 어떠한 자장도 가하지 않은 경우에 비해 gas의 분해율이 가장 높은 영구자석과 전자석의 조합에서 가장 높은 식각도가 관찰되었다. 특히 pure Cl2 플라즈마의 경우, Axial 방향의 전자석만을 가한 경우 식각속도에 있어서는 큰 증가를 보였으나, 식각균일도(식각균일도:8.8%)는 다소 감소하였으며, Axial 방향의 전자석과 영구자석을 조합한 경우 가장 높은 식각속도를 얻었으며, 식각균일도는 Axial 방향의 전자석만을 사용하였을 경우와 비교하여 향상되었다.
KIM, JAE-YOUNG;TRIPPE, SASCHA;SOHN, BONG WON;OH, JUNGHWAN;PARK, JONG-HO;LEE, SANG-SUNG;LEE, TAESEOK;KIM, DAEWON
Journal of The Korean Astronomical Society
/
v.48
no.5
/
pp.285-298
/
2015
Active Galactic Nuclei (AGN) with bright radio jets offer the opportunity to study the structure of and physical conditions in relativistic outflows. For such studies, multi-frequency polarimetric very long baseline interferometric (VLBI) observations are important as they directly probe particle densities, magnetic field geometries, and several other parameters. We present results from first-epoch data obtained by the Korean VLBI Network (KVN) within the frame of the Plasma Physics of Active Galactic Nuclei (PAGaN) project. We observed seven radio-bright nearby AGN at frequencies of 22, 43, 86, and 129 GHz in dual polarization mode. Our observations constrain apparent brightness temperatures of jet components and radio cores in our sample to > 108.01 K and > 109.86 K, respectively. Degrees of linear polarization mL are relatively low overall: less than 10%. This indicates suppression of polarization by strong turbulence in the jets. We found an exceptionally high degree of polarization in a jet component of BL Lac at 43 GHz, with mL ~ 40%. Assuming a transverse shock front propagating downstream along the jet, the shock front being almost parallel to the line of sight can explain the high degree of polarization.
The Cu - $Nb_3Sn$ composites wire as a superconducting material was prepared by in situ method as follow: Cu - 15wt.% Nb alloys which were melted in a high -frequency induction furnace and casted in bar were cold-worked up to the final diameter of 0.24 mm, electroplated with Sn, pre-treated in two steps and then diffused at $550{\sim}650^{\circ}C$ for 24 ~ 96 hrs. The overall $J_c$ and $T_c$ of the specimens were measured by the four point-probe method at 10 K in the magnetic field of 0 Tesla. The overall $J_c$ of the composites wire which diffused at $550^{\circ}C$ after pre-treating in two steps were generally higher than those of the wire at either $600^{\circ}C$ or $650^{\circ}C$. For the specimens diffused at $550^{\circ}C$, the overall $J_c$ were increased until 72 hrs. of diffusion time and then decreased. However, in case of diffusion at $600^{\circ}C$ and $650^{\circ}C$, the overall $J_c$ were gradually decreased from the beginning. The maximum overall $J_c$ obtained in this experiment was $1.3{\times}10^4\;A/cm^2$, which was measured for the specimen diffused at $550^{\circ}C$ for 72 hrs. When the specimens were diffused at $550^{\circ}C$ for 72 hrs, after pre-treating, the measured critical temperature, $T_c$ was 16.19 K. Similar $T_c$ value were obtained in other specimens regardless of diffusion time and temperature.
Dependence of magnetoresistance on base pressure and deposition rates of each Fe, Co, Cu layers in the $Fe(50{\AA}/[Co(17{\AA})/Cu(24{\AA})]_20$ multilayer thin films, prepared by dc magnetron sputtering on Corning glass, were investigated. AFM analysis, X-ray diffraction analysis, vibrating sample magnetometer analysis, and magnetoresustance measurement (4-probe method) were performed. The multilayer films deposited under low base pressure increases magnetoresistance ratio by preventing oxidation. Annealing for the samples at a moderate temperature allowed larger textured grain with no loss in the periodicity. Magnetoresistance ratio of the annealed multilayers was increased due to the increase antiferromagnetically coupled fraction of the film after annealing. Optimization of deposition rate was greater than 1 $\AA$/s for Fe, and 2.8 $\AA$/s for Cu. Deposition rate of Co showed a tendency of increasing of magnetoresistance ratio due to the formation of flat magnetic layer in case of high deposition rate of Co.
The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
/
v.41
no.9
/
pp.1108-1119
/
2016
This paper presents the spectral analysis and radiation pattern of low-frequency electromagnetic(EM) leakage signals according to the fundamental operations of smartphones. The EM leakage signals generated by the activation of four I/O sensor modules such as a touch-screen, a camera, a microphone and a speaker are captured by the commercial near-field magnetic probe with 1cm spatial resolution. The analysis results show that the leakage of the EM wave occurs strongly around the activated I/O sensor modules, AP(Application Processor) and memory modules. Also, the distinguishable frequency characteristic is shown in each spectrum of EM leakage signals.
International Journal of Naval Architecture and Ocean Engineering
/
v.10
no.2
/
pp.153-169
/
2018
A submarine has a pressure hull that can withstand high hydraulic pressure and therefore, requires the use of highly advanced shipbuilding technology. When producing a pressure hull, periodic inspection, repair, and maintenance are conducted to maintain its soundness. Of the maintenance methods, Non-Destructive Testing (NDT) is the most effective, because it does not damage the target but sustains its original form and function while inspecting internal and external defects. The NDT process to detect defects in the welded parts of the submarine is applied through Magnetic particle Testing (MT) to detect surface defects and Ultrasonic Testing (UT) and Radiography Testing (RT) to detect internal defects. In comparison with RT, UT encounters difficulties in distinguishing the types of defects, can yield different results depending on the skills of the inspector, and stores no inspection record. At the same time, the use of RT gives rise to issues related to worker safety due to radiation exposure. RT is also difficult to apply from the perspectives of the manufacturing of the submarine and economic feasibility. Therefore, in this study, the Phased Array Ultrasonic Testing (PAUT) method was applied to propose an inspection method that can address the above disadvantages by designing a probe to enhance the precision of detection of hull defects and the reliability of calculations of defect size.
Yun, Wang Hyeon;Park, Jinyoung;Kim, Doyoung;Park, Jung Hyun
Clinical Pain
/
v.18
no.2
/
pp.65-69
/
2019
Objective: This study aims to evaluate the efficacy of high-voltage microcurrent therapy in patients with herniated lumbar disc (HLD) presenting radicular or back pain. Method: This is a retrospective study with 33 patients who are complaining pain with HLD findings on magnetic resonance image. Microcurrent therapy was applied to leg or paralumbar area. Treatment was conducted for seven minutes with 250~1000 uA intensity as high as the patients could tolerate via stimulating probe with roller type and the frequency was 60 Hz with a sine wave pulse. The visual analogue scale (VAS) was measured just before and after the treatment. Results: The degree of pain reduction (△VAS) was 1.6 points after treatment on average. The △VAS according to the diagnosis, stenosis, dermatome area, medication, pain site and caudal epidural block was not statistically significant. However, the △VAS according to the number of treatments (< 3, ≥ 3 times) showed a statistically significant difference (p=0.04). Conclusion: High-voltage microcurrent therapy may help reduce lumbar or lumbosacral radiating pain after the procedure. The effect was better when microcurrent was applied three times or more. This result suggests that the microcurrent would have cumulative effect on reducing radicular or back pain in patients with HLD.
Kang Young Hye;Lee Yoon Mi;Park Sun Won;Suh Chang Hae;Lim Myung Kwan
Investigative Magnetic Resonance Imaging
/
v.8
no.2
/
pp.79-85
/
2004
Purpose : To evaluate the usefulness and reproducibility of $^1H$ MRS in different 1.5 T MR machines with different coils to compare the SNR, scan time and the spectral patterns in different brain regions in normal volunteers. Materials and Methods : Localized $^1H$ MR spectroscopy ($^1H$ MRS) was performed in a total of 10 normal volunteers (age; 20-45 years) with spectral parameters adjusted by the autoprescan routine (PROBE package). In all volunteers, MRS was performed in a three times using conventional MRS (Signa Horizon) with 1 channel coil and upgraded MRS (Echospeed plus with EXCITE) with both 1 channel and 8 channel coil. Using these three different machines and coils, SNRs of the spectra in both phantom and volunteers and (pre)scan time of MRS were compared. Two regions of the human brain (basal ganglia and deep white matter) were examined and relative metabolite ratios (NAA/Cr, Cho/Cr, and mI/Cr ratios) were measured in all volunteers. For all spectra, a STEAM localization sequence with three-pulse CHESS $H_2O$ suppression was used, with the following acquisition parameters: TR=3.0/2.0 sec, TE=30 msec, TM=13.7 msec, SW=2500 Hz, SI=2048 pts, AVG : 64/128, and NEX=2/8 (Signa/Echospeed). Results : The SNR was about over $30\%$ higher in Echospeed machine and time for prescan and scan was almost same in different machines and coils. Reliable spectra were obtained on both MRS systems and there were no significant differences in spectral patterns and relative metabolite ratios in two brain regions (p>0.05). Conclusion : Both conventional and new MRI systems are highly reliable and reproducible for $^1H$ MR spectroscopic examinations in human brains and there are no significant differences in applications for $^1H$ MRS between two different MRI systems.
Park, Jong-Ho;Trippe, Sascha;Krichbaum, Thomas;Kim, Jae-Young;Kino, Motoki;Bertarini, Alessandra;Bremer, Michael;de Vicente, Pablo
The Bulletin of The Korean Astronomical Society
/
v.40
no.1
/
pp.73.2-74
/
2015
The gas cloud G2 falling toward Sagittarius A* (Sgr A*), the supermassive black hole at the center of the Milky Way, is supposed to provide valuable information on the physics of accretion flows and the environment of the black hole. We observed Sgr A* with four European stations of the Global Millimeter Very Long Baseline Interferometry Array (GMVA) at 86 GHz on 1 October 2013 when parts of G2 had already passed the pericenter. We searched for possible transient asymmetric structure - such as jets or winds from hot accretion flows - around Sgr A* caused by accretion of material from G2. The interferometric closure phases (which are zero if the spatial brightness distribution of the target is symmetric, and deviate from zero otherwise) remained zero within errors during the observation time. We thus conclude that Sgr A* did not show significant asymmetric (in the observer frame) outflows in late 2013. Using simulations, we constrain the size of the outflows that we could have missed to ${\approx}2.5$ mas along the major axis, ${\approx}0.4$ mas along the minor axis of the beam, corresponding to approximately 232 and 35 Schwarzschild radii, respectively; we thus probe spatial scales on which the jets of radio galaxies are suspected to convert magnetic into kinetic energy. As probably less than 0.2 Jy of the flux from Sgr A* can be attributed to accretion from G2, one finds an effective accretion rate ${\eta}M{\leq}1.5{\times}10^9kg/s{\approx}7.7{\times}10^{-9}M_{earth}/yr$ for material from G2. Exploiting the kinetic jet power-accretion power relation of radio galaxies, one finds that the rate of accretion of matter that ends up in jets is limited to $M{\leq}10^{17}kg/s{\approx}0.5M_{Earth}/yr$ less than about 20% of the mass of G2. Accordingly, G2 appears to be largely stable against loss of angular momentum and subsequent (partial) accretion at least on time scales ${\leq}1$ year.
Kim, Hyeon-Woo;Woo, Jin-Ha;Jang, Se-Hyun;Chang, Tae-Soon;Lee, Won-Hui;Hur, Jung
The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
/
v.19
no.6
/
pp.57-63
/
2019
S-parameters were used to analyze the effect of the circuit according to the height of the EMI shield layers. Among the S-parameters, S11, S21, S22, and S31 were used as factors for determining the effect on the circuit function. Simulations were performed using shields made of Graphite and Ferrite, and the frequencies were run from 100 MHz to 1 GHz. As the height of the shield was increased, the value of S21 was getting closer to 0 dB. In addition, the SE value was confirmed to improve the shielding performance according to the thickness of the insulating layer only in a specific frequency band. Based on 800um with thickest silicon dioxide thickness, the FG structure averaged -1 dB in narrow frequency bands between 100 MHz and 300 MHz, showing better efficiency than GF with an average of -2 dB. Although GF structures do not show high efficiency, they exhibit average performance of -3 dB in frequency bands between 100 MHz and 1 GHz rather than FG structures that sway over a wide range. In other words, FG and GF structures have trade-off structures. Therefore, it should be noted that the appropriate structure is selected for use.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.