본 논문은 페라이트 코어, 여자코일과 픽업코일로 구성된 1축 fluxgate 마그네틱 센서를 제안하였다. 본 마그네토미터는 검출소자, 여자코일을 위한 드라이브 회로, 픽업코일 출력으로부터 DC 자장에 비례한 제 2고조파 성분검출을 위한 신호처리 회로로 구성하여 회로를 설계하고 제작하였다. 코어는 82회의 여자코일을 통해 구형파전압으로 여자하였다. 픽업 코일(150 회)의 제 2고조파 출력은 FFT 스펙트럼 분석기로 측정하였으며, 그 결과를 제 2 고조파 성분 검출을 위한 PSD(phase sensitive detector)단의 출력과 비교하였다. 감도는 구동주파수 2 (kHz)에서 약 50 [V/T]의 결과를 얻었으며, fluxgate 마그네틱 센서의 비선형계수는 약 2.0% 정도였다.
본 논문은 마이크로 플럭스게이트 자기 센서 (micro fluxgate magnetic sensor)의 여자코일 선폭에 따른 자계 검출 특성 변화에 관한 것이다. 센서 제작을 위해 PCB 다층 적층기술을 사용하였으며, 연자성 코어를 둘러싼 여자코일 선폭을 각각 $260\;{\mu}m$와 $520\;{\mu}m$로 센서를 구현하였다. 센서는 모두 5층의 기판을 적층 하였으며, 가운데 (3번째)기판을 자성체 코어로, 자성체 코어 외부 (2번째와 4번째)기판을 여자코일로, 최외부 (1번째와 5번째)기판을 검출코일로 제작하였다. 연자성 코어로는 약 100,000의 큰 DC 투자율 (permeability)을 갖는 코발트 (Co)가 주성분인 아몰퍼스 재료를 사용하였으며, 자속 누설을 최소화하기 위해 사각 링 형태를 유지하였다. 솔레노이드 형태의 여자코일과 검출코일은 구리 재질로 제작되었다. $260\;{\mu}m$ 여자코일 선폭을 갖는 자기센서는 여자조건이 360 kHz, $3\;V_{p_p}$의 정현파일 경우에 780 V/T로 매우 우수한 감도를 보이고 있으며, $-100\;{\mu}T\;{\sim}\;+100\;{\mu}T$ 영역에서 매우 우수한 선형특성을 보이고 있다. 자기 센서의 크기는 $7.3\;{\times}\;5.7\;mm^2$이며, 소비전력은 약 8 mW이다. 이런 초소형 자기센서는 휴대용 네비게이션 시스템, telematics, VR 게임기 등 다양한 응용분야에 적용할 수 있다.
A fluxgate magnetic sensor consists of a solenoid excitation coil, pick-up coil, and magnetic core. We presents the effect of magnetic core shape in a micromachined fluxgate sensor. To observe the performance of fluxgate sensor with magnetic core side width and gap, side width of 125 ${\mu}{\textrm}{m}$, 250 ${\mu}{\textrm}{m}$, and 500 ${\mu}{\textrm}{m}$ were designed in a rectangular-ring shaped core and the gaps of 0 ${\mu}{\textrm}{m}$, 50 ${\mu}{\textrm}{m}$, and 100 ${\mu}{\textrm}{m}$ were also fabricated in a racetrack shaped core. The solenoid coils and magnetic core were separated by benzocyclobutane(BCB) which had high insulation and good planarization characters. Copper coil patterns of 10 ${\mu}{\textrm}{m}$ width and 6${\mu}{\textrm}{m}$ thickness were electroplated on Ti(300 $\AA$) / Cu(1500 $\AA$) seed layers. 3 ${\mu}{\textrm}{m}$ thick N $i_{0.8}$F $e_{0.2.}$(permalloy) film for the magnetic core was also electroplated under 2000 gauss to induce the magnetic anisotropy. The magnetic core had the high DC effective permeability of ∼1,300 and coercive field of ∼0.1 Oe. Because the magnetic cores of 500 ${\mu}{\textrm}{m}$ side width and 0 gap had a low magnetic flux leakage, high sensitivity of ∼350 V/T were measured at excitation condition of 3 $V_{P-P}$ and 2 MHz square wave. The power consumption of ∼14 ㎽ was measured. The fabricated fluxgate sensor had the very small actual size of 3.0${\times}$1.7 $\textrm{mm}^2$. When two fluxgates were perpendicularly aligned in terrestrial field, their two-axis output signals were very useful to commercialize an electronic azimuth compass for the portable navigation system.m.m.m.
Shin, Gi Won;Kang, Chang Ho;Lee, Min Jun;Yang, Sung Jae;Lee, Hyuk Ho;Hong, Hyun Bin;Jo, Tae Hoon;Kwon, Gi Chung
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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pp.139.2-139.2
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2015
In this study, We applied the magnetic field that has CW frequency and AM frequency to heating magnetic nano powder. For this experiment, We set up the devices flat-type magnetic field generator with CW frequency and AM frequency. We supplied the current to encircling coil by adjusting the power of generating of magnetic field device for AC voltage through Slidacs and using way of LC resonance circuit and SMPS(Switching Mode Power Supply). Above the encircling coil, We covered the circular flat insulator like glass. And we located the well plate containing the magnetic nano powder liquor above the circular flat insulator and exposed the magnetic field to this well plate. Using the flat-type magnetic field generator with CW and AM frequency and the magnetic field measurement sensor(Magnetic pick up coil or Hall sensor), We measured the strength of the magnetic field of circular flat insulator's surface in each position. The temperature of the magnetic nano powder in the well plate was quantitatively measured by the magnetic field strength through the Fluoroptic thermometer.
기존의 기계적인 점화장치를 전자식 점화장치로 대치한 엔진 제어시스템에 대하여 연구하였다. 점화차단기(Breaker)의 기계적인 접점을 없애고, 무접점 magnetic pick up sensor를 사용하여 속도신호 및 크랭크축의 기준점을 얻은 후, 연소 효률을 높이기 위하여 점화코일의 2차측 spark 전압을 종래의 10000∼15000볼트로 부터 30000∼40000볼트로 높이고 에너지 점화장치(High Energy Ignition System)을 설계 개발하여 실장시험(field test)을 행하였고, 점화시간의 조정을 위하여 종래의 기계적인 진각장치 대신에 microprocessor를 사용하여 엔진속도 및 흡입기관의 진공도(intake manifold vacuum)에 의한 점화시기 데이타가 결정되도록 하는 방법을 연구하였다.
This paper suggests a non-contact sensor for measuring bending vibration of a non-metallic cylinder in two orthogonal directions simultaneously. Recent research shows that a solenoid can pick up bending vibrations of a nonmetallic cylinder based on the reversed Lorentz force mechanism if an electrical conductive patch is attached to the cylinder. In this work, pairs of specially designed patches are used to make two independent paths for the current induced by bending vibrations, which enables the measurement of bending vibrations along two orthogonal directions simultaneously. The working performance of the developed sensor was verified by using two accelerometers.
This paper suggests a non-contact sensor for measuring bending vibration of a non-metallic cylinder in two orthogonal directions simultaneously. Recent research shows that a solenoid can pick up bending vibrations of a nonmetallic cylinder based on the reversed Lorentz force mechanism if an electrically conductive patch is attached to the cylinder. In this work, pairs of specially designed patches are used to make two independent paths for the current induced by bending vibrations, which enables the measurement of bending vibrations along two orthogonal directions simultaneously. The working performance of the developed sensor was verified by using two accelerometers.
In this paper, we mention the study on the sensing function of amorphous magneto- striction wire with about 125${\mu}{\textrm}{m}$$\Phi$ in diameter. The wire in fabricated by using injection and quenching method under the high speed rotating water flow. The wire\`s compotion is (Fe$_{75}$$Co_{25}$)$_{77}$Si$_{8}$B$_{15}$ , and generates sharp Matteucci voltage by large Barkhausen jump effect even the weak magnetic field. In this study, we don\`t use pick-up coil. Instead, we apply external magnetic field of 3.6Oe in the direction orthogonal to the wire. Then, we detect Matteucci voltage of 1.lmV to both side of 20cm amorphous-wire. Thus, we find that the fabricated wire has the function necessary as the high sensitive sensor material.l.al.l.
코발트계 아몰퍼스와이어와 검출코일을 이용하여서 제작한 직교 플럭스게이트 센서에 있어서 구동주파수와 입력전류가 센서의 출력특성에 미치는 영향을 조사하였다. 구동전류가 0.3 A까지 증가함에 따라서 센서의 출력전압은 증가하는 경향을 나타내었으나, 그 이상의 구동전류에 대하여서는 출력전압의 증가율이 둔감하게 되었고 0.6 A 이상의 구동전류에 대하여서는 출력전압이 감소하는 경향을 나타내었다. 센서의 구동주파수를 1.3 MHz까지 높임으로써 출력전압을 높일 수 있었으나, 그 이상의 구동주파수에서는 출력전압이 감소하는 것을 알 수 있었다. 1.3MHz의 구동주파수에 대하여 출력전압은 3.8 V였으며, 1 MHz의 구동주파수에 대하여서는 1.32 V였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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