반도체 제조공정과 미세가공 기술을 이용하여 $300^{\circ}C$의 동작온도에서 약 60 mW의 전력소모를 갖는 산화물 반도체 박막 가스센서 어레이를 제조하였다. 멤브레인의 우수한 열적 절연은 $0.1\mum\; 두께의\; Si_3N_4와\; 1\mum$ 두께의 PSG의 이중 층에 의한 것으로, 각각 LPCVD(저압화학 기상증착)와 APCVD(대기압 화학 기상증착)에 의해 제조되었다. 센서 어레이의 4가지 산화물 반도체 박막 감지물질로는 1 wt.% Pd가 도핑된 $SnO_2,\; 6 we.% A1_2O_3$가 도핑된 ZnO, $WO_3$, ZnO를 이용하였으며,4가지 감지물질의 베이스라인 저항은 $300^{\circ}C$ 에서 3일 동안의 에이징을 거친 후 안정됨을 보였다. 제조된 초소형 산화물 반도체 박막 가스센서 어레이는 여러 가지 가스의 노출 시 유용한 저항 변화를 나타내었으며 감도는 감지 물질에 강하게 의존함을 알 수 있었다.
맥동 TEA $CO_2$ 레이저에서 나오는 레이저 빛살의 파형을 이론식의 전산 시늉값과 비교하여 보았다. 레이저는 정규전이 $10.6\mum$ P-20 전이선만 발진하므로 이 전이선에 더운띠 R-23 의 효과를 고려하여 계산하였다. 그 결과 출력파형의 꼴이 실험치와 잘 일치하였다.
실험에 사용한 플라나리아는 Dugesia japonia Ichikawa et Kawakatsu로서 核型分析에 의하여 種을 확인하였다. 이 種의 咽頭 및 腸을 구성하는 세포들의 세포화학적 및 미세구조적 특징을 밝히고자 본 실험을 行하였다. 세포화학적 방법으로는 hematoxylin-eosin, periodic acid-Schiff(PAS) 反應, alcian blue(pH 2.5), PAS-alcian blue 反應 그리고 methylene blue-basic fuchsin등으로 염색을 시행하고, 光學顯微鏡으로 관찰하였으며 또한 各部位의 微細構造를 透査電子顯微鏡으로 관찰하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 咽頭(pharynx) 內腔上皮는 遊離面에 미세융모를 가지고 있었다. 세포질에는 PAS반응에 양성을 나타내는 약 0.4$\\times$0.6 $\\mum$의 과립들이 있고, 小胞 및 液胞가 분화되어 있었다. 핵은 基底部 쪽으로 치우쳐져 있고 基底膜은 관찰되지 않았다. 咽頭外腔의 咽頭 측상피에서는 섬모와 미세융모가 발달되어 있었고 上皮內側에는 근육층이 발달되어 있었다. 咽頭外腔을 둘러싸는 壁側上皮細胞에서는 미세융모가 관찰되었고 세포질에는 전자밀도가 높은 과립들이 포함되어 있었다. 2. 腸(caeca) 腸上皮細胞는 食細胞와 顆粒性棍棒體細胞 그리고 이 세포들을 둘러싸고 있는 貯藏細胞와 幼若貯藏細胞로 구성되어 있었다. 1) 食細胞(phagocytic cell) 세포질에는 비교적 많은 lysosome을 포함하고 있었으며 無顆粒性小胞體와 mitochondria등의 細胞小器官도 잘 발달되어 있었다. 특히 無顆粒性小胞體의 cisternae는 대부분 팽윤되어 있었고 polyribosome도 풍부하게 관찰되었다. 2) 顆粒性棍棒體細胞(granular club cell) 세포질에는 PAS 반응에 강한 양성을 보이고 또 약한 eosinophilia도 나타내는 약 5 $\\mum$의 球形의 과립들을 포함하고 있었다. 특히 顆粒性小胞體가 잘 발달되어 있어TEk. 3) 貯藏細胞(storage cell) 세포질내에는 glycogen 과립들과 PAS에 각기 다른 정도의 양성반응을 보이는 다수의 中性多糖性 과립과 脂肪顆粒들이 포함되어 있었다. 4) 幼若貯藏細胞(immature storage cell) 세포질에는 PAS반응에 양성을 보이는 소수의 작은과립과 脂肪顆粒이 내포되어 있으며 세포질에 비하여 핵은 매우컸다. 핵막 주위의 세포질에서는 chromatoid body들이 관찰되었다.
The effect of ball milling conditions in the milling of aluminium foil scraps was studied. Initial foil thickness, ball size. content of oleic acid. weight ratio of mineral spirits/foil. charged amount of foil were varied in wet ball milling process. It is impossible to make flake powders by milling of foil scraps with thickness $120 \mum$. As foil thickness decreases from $60\mum$ to $6.5\mum$, Mean size of powder milled for 30 h decreases from 107 µm to 17 µm. Bigger ball is slightly beneficial for milling of foils to the flake powders due to the larger impact energy produced by them. It is impossible to mill the foil without oleic acid to fabricate the flake powder. As content of oleic acid increases from 1.5 % to 5 %, mean size of flake powder milled for 30 h is drastically decreased. For the mineral spirits content below 50 %, foil scrap was not milled because sliding motion of balls by lubricant effect between balls and wall of container. As weight ratio of mineral spirits and foil increase over 100 %, foils were milled powders with mean powder size 15 - 20 때 irrespective of mineral spirits content due to reduced lubricant effect. As charged amount of foil decreases, mean powder size decreases due to increased collision frequency between ball and foil.
The change in the magnetic properties of a spin-valve multilayer with the structure IrMn (9 m)/CoFe (4 nm)/Cu (2.6 nm)/CoFe (2 nm)/NiEe (6 nm) is investigated as a function of the size and the aspect ratio. At a fixed aspect ratio (the length/width ratio) of 2, the magnetostatic interactions begin to affect the magnetic properties substantially at a spin-valve length of 5 $\mum$, and, at a length of 1 $\mum$, they become even more dominant. In the case of a fixed multilayer size (2.4 $\mum$) which is indicated by the sum of the length and the width, magnetization change occurs by continuous spin-reversal and M-H loops are characterized by no or very small hysteresis at aspect ratios smaller than unity, At aspect ratios greater than unity, magnetization change occurs by spin-flip resulting in squared hysteresis loops. A very large changes in the coercivity and the bias field is observed, and these results are explained by two separate contributions to the total magnetostatic interactions: the coercivity by the self-demagnetizing field and the bias field by the interlayer magnetostatic interaction field.
$(Ba_{0.85}Ca_(0.15)TiO_3+ZnO$ 세라믹 커패시터는 ZnO를 0.1~0.4몰로 변화시켜 시편을 제조하였다. 본 연구에서는 고전압용 세라믹 커패시터의 구조적 및 전기적 특성에 관하여 연구하였다. 세라믹 커패시터의 상대밀도는 모든시료에서 높았다. 입자의 크기는 $1.0~1.22[\mum]$ 정도의 작은 크기이었으며 ZnO의 첨가량이 0.3몰일 때 가장 크게 성장하였다. 입자의 크기가 클 때 시정수는 증가하였다. 세라믹 커패시터의 온도계수는 0.12~10[kHz]에서 100[ppm]이하로 온도변화에 대해 유전율이 안정하였다. 유전 완화시간은 $[110^{\circ}C]$이상에서 계면분극의 영향으로 감소하였으며 $110[^{\circ}C]$이하에서는 상유전층의 공간전하 분극에 의해서 유전 완화시간이 증가하였다. 유전특성에 영향을 주는 절연층의 두께가 ZnO에 의해서 증가하였으며 유전율의 변화는 0.1[%]로 전압의 변동에 대해 유전율이 안정하였다.
최근 실리콘 미세공정의 발달로 상용화된 0.2$\mum$ 게이트길이 이하의 deep submicron MOSFET 출력특성을 정확히 모델링하기 위해서는 RF 기판 회로 연구가 필수적이다. 먼저 본 논문에서는 기판 캐패시던스와 기판 저항이 병렬로 연결된 모델과 기판 저항만을 사용한 단순 모델들에 적합한 직접 추출 방법을 각각 개발하였다. 이 추출방법들을 0.15$\mum$ CMOS 소자에 적용한 결과 단순 모델보다 RC 병렬 기판모델이 측정된 $Y_{22}$-parameter에 30GHz까지 더 잘 일치하는 것을 확인하였으며, 이는 RC 병렬 기판모델 및 직접추출방법의 RF 정확도를 증명한다. 이러한 RC 병렬 기판모델을 사용하여 게이트 길이를 0.11에서 0.5$\mum$까지 변화시키고 드레인 전압을 0에서 1.2V까지 증가시키면서 기판 모델 파라미터들의 bias 종속 특성과 게이트 길이 종속 특성을 새롭게 추출하였다. 이러한 새로운 추출 결과는 scalable한 RF 비선형 기판 모델 개발에 유용하게 사용될 것이다.
현재, 표면개질에 주로 많이 사용되는 레이저는 세 종류로서, C $O_{2}$$laser(파장길이:10.6.\mum),$ Nd:YAG(neodymium-doped yettrium aluminum garnet) $laser(파장길이:1.06.\mum)$ 및 excimer laser(157~350nm) 등이다. 이 외에도 초기에는 ruby레이저빔이 사용되기도 하였으나, 현재는 많이 사용되고 있지 않다. 레이저 빔에 의한 표면개질에는 몇가지 장점이 있는데, 이러한 장점은 주로 급속가열과 급속냉각 효과에 기인하는 것이다. 즉, 1) 급냉효과에 의한 미세한 결정입자 형성, 2) 불안정상 (metastable phase) 또는 비정질 상 생성, 3) 열역학적 용해도 보다 높은 용해도. 4) 편석이 없는 균질한 미세조직, 5) 극히 낮은 기공도, 6) 좁은 열영향 부위, 7) 표면층과 모재 사이의 높은 결합력 등이다. 이 외에도 공정상의 장.단점들이 Ref.5, 6에 잘 요약 정리되어 있다. 지금까지 국내에서 레이저 표면개질에 대한 조사가 몇몇 있었으나, 본 조사에서는 보통 많이 다루어지지 않은 부분, 즉 충격경화 및 표면제어에 비중을 두었으며, 비용융 부분(I)과 용융부분(II)을 분리하여 정리하였다.
A study on the formation of particulate nitrate$(NO_3^-)$ and gaseous nitrate$(HNO_3)$ in the atmosphere was carried out in Seoul from Oct 8 to 11 1991. To collect $NO_3^-$ and $HNO_3$ in the ambient air, dual filter pack sampler (47mm$\phi$) was used. In the dual filter pack sampler, the first filter was Teflon filter (poresize 1$\mum$) for collection of $NO_3^-$ and the second filter was Nylon filter (poresize 0.45 $\mum$) for $HNO_3$. Particulate nitrate$(NO_3^-)$ and Sulfate ions were analysed by Ion chromatography. $HNO_3$ concentration was higher in the day time $(9.93\mug/m^3)$ than the night time$(3.50\mug/m^3)$, and Particulate nitrate$(NO_3^-)$ concentration was higher in the night time and early morning$(6.21\mug/m^3)$ than the day time$(4.31\mug/m^3)$. The conversion rate of $NO_x$ to total nitrate$(NO_3^-, HNO_3)$ was 7.57%/hr in the day time and 4.79%/hr in the night time, and total average conversion rate was 5.60%/hr.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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