MEMS 공정으로 제작한 $NO_2$ 마이크로 가스센서의 열전달 해석
(Heat Transfer Analysis for $NO_2$ Micro Gas Sensor Fabricated by MEMS Technology)
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- 한국산학기술학회논문지
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- 제5권2호
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- pp.132-136
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- 2004