• Progress in Medical Physics
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• v.24 no.1
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• pp.61-67
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• 2013

In this study, we developed and evaluated the patient respiration training method which can help to avoid the problems for the limitation of RGRT applicable patient cases. By using the MEMS (micro-electro-mechanical-system) acceleration sensor, we measured movement of motion phantom. We had compared the response of MEMS with commercially introduced real time patient monitoring (RPM) system. We measured the response of the MEMS with 1 dimensional motion phantom movement for 2.5, 3.0, 3.5 second of period and the 2.0, 3.0, 4.0 cm of the amplitudes. The measured period error of the MEMS system was 0.6~6.0% compared with measured period using RPM system. We found that the shape of MEMS signals were similar with RPM system. From this study, we found the possibility of MEMS as patient training system.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.48 no.7
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• pp.523-528
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• 2020

A lateral type MEMS inertial switch was designed on the same principle as spring-mass system. The MEMS switch is used for arming mechanism of the arm-fire device by sensing the applied acceleration. We analyzed the switching capability of the MEMS switch under various acceleration conditions via performance model. Simulation results showed that the MEMS switch works very well at 10 g when the applied acceleration slope does not exceed 10 g/msec. On the other hand, the threshold operating acceleration level simulation exceeded the requirement (10±2 g) due to the width and length of the spring by considering 10% tolerance of the design values. Design modification of doubling the width of the spring, which is difficult to reduce less than 10% tolerance in fabrication process, was proposed after confirming the simulation results comply the requirement.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.15 no.3
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• pp.271-277
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• 2004

A Si(Silicon) MEMS(Micro Electro Mechanical System) package using a doped lossy Si carrier for CPW(Coplanar Waveguide) MMICs(Microwave and Millimeter-wave Integrated Circuits) is proposed in order to reduce parasitic problems of leakage, coupling and resonance. The proposed chip-carrier scheme is verified by fabricating and measuring a GaAs CPW on the two types of carriers(conductor-back metal, doped lossy Si) in the frequency from 0.5 to 40 ㎓. The proposed MEMS package using the lightly doped lossy(15 Ω$.$cm) Si chip-carrier and the HRS(High Resistivity Silicon, 15 ㏀$.$cm) shows the optimized loss and parasitic problems-free since the doped lossy Si-carrier effectively absorbs and suppresses the resonant leakage. The Si MEMS package for CPW MMICs has an insertion loss of only - 2.0 ㏈ and a power loss of - 7.5 ㏈ at 40 ㎓.

• The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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• v.34 no.1
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• pp.113.1-113.1
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• 2009

• Bulletin of the Korean Space Science Society
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• 2009.04a
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• pp.54.3-55
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• 2009

• The Magazine of the IEIE
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• v.28 no.3
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• pp.97-108
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• 2001

본 논문은 미래의 산업 전반에 걸쳐 엄청난 변화를 촉진시킬 것으로 예상되는 MEMS 기술의 군사응용분야에 대하여 기술하고 있다. 여기에서 정의하는 MEMS 기술은 센서와 액츄에이터로 대변되는 마이크로 소자를 제작하는 기술과 이를 이용한 소형 시스템 기술을 모두 포함하며 이를 이용한 소형 시스템 기술을 모두 포함하며 매우 다양하고 광범위한 측면에 대한 이해를 필요로 한다. 이러한 배경을 바탕으로 국내의 MEMS 기술의 현황과 발전추세를 파악하고 군사응용을 위한 MEMS 기술을 관성측정, 감지 및 구동, 정보통신, 추진 및 전원 분야 등 네 가지로 분류하였으며 이를 이용하여 개발할 수 있는 핵심적인 소형 무기체계들을 소개하였다. 결론으로는 민수분야의 기술과 인프라를 바런시켜야 할 필요성을 지적하고 국내 현실에 적합한 국사용 MEMS 기술 발전 방안을 제시하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.2079_2080
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• 2009

MEMS 기술을 이용한 다양한 센서의 개발과정에서 신뢰성 확보는 매우 중요한 문제이며, 여러 가지 신뢰성 항목 가운데 낙하시험은 가장 기본이 되는 항목이다. 단시간 내에 낙하에 대한 내충격성을 확보하는 MEMS 센서를 개발하기 위해 본 논문에서는 FEA와 high-level 모델을 결합한 낙하시험 모의진단법을 제안하였다. 제안된 모의진단법을 통해 MEMS 소자에서의 최대응력과 응력분포, 최대변위, 그리고 낙하시의 과도응답과 오신호 등의 결과를 확보할 수 있으며 이들을 토대로 MEMS 소자에서의 취약부위를 파악하고 이를 보완할 수 있으며 낙하시의 오동작을 제거하도록 신호처리 회로 등을 보완할 수도 있을 것이며 이를 통해 단시간 내에 최소의 비용으로 내충격성을 확보한 MEMS 센서를 개발하는 것이 가능해질 것이다.

• 전기의세계
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• v.46 no.3
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• pp.45-48
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• 1997

이상에서 MEMS97' 학회의 개략적인 내용을 간략히 살펴보았다. 전체적으로 MEMS97' 학회에 참석하여 받은 개인적인 느낌은, 대부분의 연구자들이 Si 공정을 소자나 구조물의 제작에 가장 필수적인 공정으로 이용하고 있으며 MEMS에 이용되는 Si 공정이 이제는 비교적 안정적이고 표준화된, 그래서 그 공정 자체에 대해서는 전혀 새로운 이야기를 할 필요가 없는 공정으로 자리잡아 가고 있다는 것이다. 이러한 점은 국내의 MEMS 연구자들이 깊이 생각해 보아야 할 점으로 생각되며, 앞으로 MEMS 관련 연구자들이 국내의 MEMS 연구를 어떤 방향으로 이끌어 가야 할 것인가, 혹은 우리 실정에서 어떤 방법이 가장 효율적인 연구 방법이 될 수 있을 것인가 등의 방법론적인 문제들을 깊이 있게 생각하고 토의할 필요가 있을 것이라고 판단된다. 다른 무엇보다도 MEMS 학회에서 발표하는 연구자의 수, 논문의 수가 훨씬 더 많아질 수 있도록 모든 연구자들이 혼신의 힘을 다하는 것이 가장 중요한 과제일 것이다.

• Journal of Mechanical Science and Technology
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• v.18 no.5
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• pp.789-797
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• 2004

The nanoscale sensing and manipulation have become a challenging issue in micro/nano-robotic applications. In particular, a feedback sensor-based manipulation is necessary for realizing an efficient and reliable handling of particles under uncertain environment in a micro/nano scale. This paper presents a piezoresistive MEMS cantilever for nanoscale force measurement in micro robotics. A piezoresistive MEMS cantilever enables sensing of gripping and contact forces in nanonewton resolution by measuring changes in the stress-induced electrical resistances. The calibration of a piezoresistive MEMS cantilever is experimentally carried out. In addition, as part of the work on nanomanipulation with a piezoresistive MEMS cantilever, the analysis on the interaction forces between a tip and a material, and the associated manipulation strategies are investigated. Experiments and simulations show that a piezoresistive MEMS cantilever integrated into a micro robotic system can be effectively used in nanoscale force measurements and a sensor-based manipulation.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2003.11a
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• pp.946-969
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• 2003

Vibration analysis for a coupled MEMS gyroscope design is presented in this paper. MEMS gyroscopes have shown that slight mistuning in fabricated process often leads to significant difference of vibration characteristics between expected and real designs. The difference frequently affects the MEMS gyroscope design in a negative way. As long as the coupling between excited and sensed motions exists, such difference occurs inevitably. In this paper, dimensionless parameters that govern the vibration characteristics of coupled MEMS gyroscope are identified and the effects of the parameters on the vibration characteristics are investigated for the design of the MEMS gyroscope.