• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제24권1호
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• pp.61-67
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• 2013

본 연구팀은 호흡 훈련을 통해 호흡의 안정성과 재현성을 증대시킴으로써 환자 적용 범위를 넓히고자 미세전자기계시스템(micro-electro-mechanical system, MEMs) 가속도 센서를 이용한 새로운 호흡훈련시스템을 개발하고자 한다. 본 연구는 호흡동작 모니터링의 선형연구로 MEMS 센서의 성능평가를 Respiratory Gating Platform (RGP)을 이용하여 2.5, 3.0, 3.5 s/cycle의 속도와 4.0, 3.0, 2.0 cm을 진폭으로 하는 1차원 왕복운동에 대한 MEMS 가속도 센서의 순간중력가속도에 대한 반응을 측정하였고 이를 Varian RPM (real time patient monitoring system) 시스템과 비교하였다. RGP의 운동 주기에 대한 MEMS 가속도 센서의 주기 오차는 0.6~6.0%로 측정되었으며 RPM 시스템과 MEMS 가속도 센서에 대한 진폭 감도오차는 1%와 3.6~11.5%로 측정 되었다. 본 연구를 통하여 MEMS 가속도 센서에 대한 환자 호흡 훈련용으로서의 가능성을 확인할 수 있었다.

• 한국항공우주학회지
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• 제48권7호
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• pp.523-528
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• 2020

스프링-메스 시스템의 원리를 이용하여 수평 구동형 MEMS 관성 스위치를 설계하였다. 본 MEMS 스위치는 외부에서 발생하는 가속도를 감지하여 점화안전장치를 장전시키는 역할을 한다. 성능 모델링을 통하여 다양한 가속도 조건에서의 구동 양상을 분석하였다. 시뮬레이션 결과 가속도의 기울기가 10g/msec 이하인 경우에 MEMS 스위치는 10g에서 잘 작동하는 것으로 나타났다. 반면에, 설계 변수들의 공차를 10%로 고려한 시뮬레이션 결과 스프링 폭과 길이에 의해 임계 동작 가속도가 규격(10±2g)을 벗어났다. 제작 공정상 10% 이하의 공차 관리가 어려운 스프링 폭을 두 배로 늘렸을 때 규격을 만족하는 것을 확인하고 설계보완을 제안하였다.

• 한국전자파학회논문지
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• 제15권3호
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• pp.271-277
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• 2004

초고주파 및 밀리미터파 통신 시스템의 집적회로 및 실장 기술로서 CPW기반의 전송선로를 갖는 MMIC 개발이 크게 증가하고 있으나, 실장시 패키지에서 발생되는 기생공진 현상으로 인해 그 성능이 크게 저하될 수 있다. 이런 기생 공진 현상을 억제시키기 위하여 도핑된 lossy 실리콘 웨이퍼를 칩 캐리어로 사용하고, HRS wafer를 사용하여 표면 및 벌크 MEMS 공정이 가능한 실리콘 MEMS 패키지가 해석적으로 제안되었다. 제안된 구조를 제작하여 세 가지의 칩 캐리어(conductor-back metal, 15 Ω$.$cm lossy Si, 15 ㏀$.$cm HRS)위에서 측정하여 실리콘 MEMS 패키지의 특성을 확인하였다. 제안된 실리콘 MEMS 패키지는 15 Ω$.$cm lossy 실리콘 칩 캐리어를 사용하여, 기생 공진 현상을 효과적으로 억제시킬 수 있었다. 전체 패키지에서 중앙의 GaAs CPW 패턴을 de-embedding하여 순수한 CPW MMIC 용의 실리콘 MEMS 패키지는 40 ㎓에서 삽입 손실은 - 2.0 ㏈이며, 전력 손실은 - 7.5 ㏈의 결과를 얻었다.

• 천문학회보
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• 제34권1호
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• pp.113.1-113.1
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• 2009

• 한국우주과학회:학술대회논문집(한국우주과학회보)
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• 한국우주과학회 2009년도 한국우주과학회보 제18권1호
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• pp.54.3-55
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• 2009

• 전자공학회지
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• 제28권3호
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• pp.97-108
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• 2001

본 논문은 미래의 산업 전반에 걸쳐 엄청난 변화를 촉진시킬 것으로 예상되는 MEMS 기술의 군사응용분야에 대하여 기술하고 있다. 여기에서 정의하는 MEMS 기술은 센서와 액츄에이터로 대변되는 마이크로 소자를 제작하는 기술과 이를 이용한 소형 시스템 기술을 모두 포함하며 이를 이용한 소형 시스템 기술을 모두 포함하며 매우 다양하고 광범위한 측면에 대한 이해를 필요로 한다. 이러한 배경을 바탕으로 국내의 MEMS 기술의 현황과 발전추세를 파악하고 군사응용을 위한 MEMS 기술을 관성측정, 감지 및 구동, 정보통신, 추진 및 전원 분야 등 네 가지로 분류하였으며 이를 이용하여 개발할 수 있는 핵심적인 소형 무기체계들을 소개하였다. 결론으로는 민수분야의 기술과 인프라를 바런시켜야 할 필요성을 지적하고 국내 현실에 적합한 국사용 MEMS 기술 발전 방안을 제시하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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• pp.2079_2080
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• 2009

MEMS 기술을 이용한 다양한 센서의 개발과정에서 신뢰성 확보는 매우 중요한 문제이며, 여러 가지 신뢰성 항목 가운데 낙하시험은 가장 기본이 되는 항목이다. 단시간 내에 낙하에 대한 내충격성을 확보하는 MEMS 센서를 개발하기 위해 본 논문에서는 FEA와 high-level 모델을 결합한 낙하시험 모의진단법을 제안하였다. 제안된 모의진단법을 통해 MEMS 소자에서의 최대응력과 응력분포, 최대변위, 그리고 낙하시의 과도응답과 오신호 등의 결과를 확보할 수 있으며 이들을 토대로 MEMS 소자에서의 취약부위를 파악하고 이를 보완할 수 있으며 낙하시의 오동작을 제거하도록 신호처리 회로 등을 보완할 수도 있을 것이며 이를 통해 단시간 내에 최소의 비용으로 내충격성을 확보한 MEMS 센서를 개발하는 것이 가능해질 것이다.

• 전기의세계
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• 제46권3호
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• pp.45-48
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• 1997

이상에서 MEMS97' 학회의 개략적인 내용을 간략히 살펴보았다. 전체적으로 MEMS97' 학회에 참석하여 받은 개인적인 느낌은, 대부분의 연구자들이 Si 공정을 소자나 구조물의 제작에 가장 필수적인 공정으로 이용하고 있으며 MEMS에 이용되는 Si 공정이 이제는 비교적 안정적이고 표준화된, 그래서 그 공정 자체에 대해서는 전혀 새로운 이야기를 할 필요가 없는 공정으로 자리잡아 가고 있다는 것이다. 이러한 점은 국내의 MEMS 연구자들이 깊이 생각해 보아야 할 점으로 생각되며, 앞으로 MEMS 관련 연구자들이 국내의 MEMS 연구를 어떤 방향으로 이끌어 가야 할 것인가, 혹은 우리 실정에서 어떤 방법이 가장 효율적인 연구 방법이 될 수 있을 것인가 등의 방법론적인 문제들을 깊이 있게 생각하고 토의할 필요가 있을 것이라고 판단된다. 다른 무엇보다도 MEMS 학회에서 발표하는 연구자의 수, 논문의 수가 훨씬 더 많아질 수 있도록 모든 연구자들이 혼신의 힘을 다하는 것이 가장 중요한 과제일 것이다.

• Journal of Mechanical Science and Technology
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• 제18권5호
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• pp.789-797
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• 2004

The nanoscale sensing and manipulation have become a challenging issue in micro/nano-robotic applications. In particular, a feedback sensor-based manipulation is necessary for realizing an efficient and reliable handling of particles under uncertain environment in a micro/nano scale. This paper presents a piezoresistive MEMS cantilever for nanoscale force measurement in micro robotics. A piezoresistive MEMS cantilever enables sensing of gripping and contact forces in nanonewton resolution by measuring changes in the stress-induced electrical resistances. The calibration of a piezoresistive MEMS cantilever is experimentally carried out. In addition, as part of the work on nanomanipulation with a piezoresistive MEMS cantilever, the analysis on the interaction forces between a tip and a material, and the associated manipulation strategies are investigated. Experiments and simulations show that a piezoresistive MEMS cantilever integrated into a micro robotic system can be effectively used in nanoscale force measurements and a sensor-based manipulation.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2003년도 추계학술대회논문집
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• pp.946-969
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• 2003

Vibration analysis for a coupled MEMS gyroscope design is presented in this paper. MEMS gyroscopes have shown that slight mistuning in fabricated process often leads to significant difference of vibration characteristics between expected and real designs. The difference frequently affects the MEMS gyroscope design in a negative way. As long as the coupling between excited and sensed motions exists, such difference occurs inevitably. In this paper, dimensionless parameters that govern the vibration characteristics of coupled MEMS gyroscope are identified and the effects of the parameters on the vibration characteristics are investigated for the design of the MEMS gyroscope.