• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.195-195
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• 2015

반도체 제조 시 ohmic contact을 형성하고, barrier metal layer형성을 위해 NH3 기체를 사용하는 rapid thermal nitridation (RTN)은 반도체 공정에 있어 매우 중요한 핵심 기술이다. 그러나 공정 진행 시 발생하는 공정 부산물에 의한 chamber오염으로 인해 매우 정확히 입사 되어야 할 thermal energy의 controllability가 저하되고 있어, 미세 공정능력 구현의 한계에 부닥치고 있다. 본 연구에서는 quartz plate liner를 적용하여 RTN 공정에서 발생하는 공정 부산물인 ammonium chloride (NH4Cl)의 chamber 표면 증착을 최소화하였고, 공정 진행 온도의 controllability를 확보하였다.

• 한국섬유공학회:학술대회논문집
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• 한국섬유공학회 1998년도 가을 학술발표회논문집
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• pp.352-355
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• 1998

토목섬유제품 중에서 차수재조 널리 사용되는 지오멤브레인은 1$\times$$10^{-12}$의 낮은 투수계수를 갖고 있지만 시공전후 찢어지거나 구멍이 뚫리게 되면 침출수의 유출이 발생하여 환경오염을 일으키게 된다. 이를 보완하기 위해 친수성과 팽윤성이 큰 벤토나이트 물질을 이용한 Geosynthetic Clay Liner(GCL) 복합재료가 개발되었다. GCL은 지오텍스타일이나 지오멤브레인사이에 벤토나이트를 충진시키고, 접착제 또는 니들펀칭(needle-punching)이나 스티칭(stitching)과 같은 기계적인 방법으로 결합한 복합재료이다. (중략)

• 한국지반공학회:학술대회논문집
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• 한국지반공학회 1995년도 연약지반 안정처리 시공.관리 세미나
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• pp.88-116
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• 1995

The applicability of marine clay and banking material as landfill liner and supporting layer was examined, where additives (cement, lime, Mg0, bentonite and ESCA) were mixed with these soils. The mixtures were tested for the unconfined compressive strength, bending strength, permeability, and better results than existing solidifying agents were obtained. The freezing-thawing test is under way.

• 한국시뮬레이션학회:학술대회논문집
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• 한국시뮬레이션학회 1998년도 The Korea Society for Simulation 98 춘계학술대회 논문집
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• pp.11-16
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• 1998

The classical algorithm for solving liner network flow problems are primal cost improvement method, including simplex method, which iteratively improve the primal cost by moving flow around simple cycles, which iteratively improve the dual cost by changing the prices of a subset of nodes by equal amounts. Typical iteration/shortest path algorithm is used to improve flow problem of liner network structure. In this paper we stdudied about the implemental method of shortest path which is a practical computational aspects. This method can minimize the best neighbor node and also implement the typical iteration which is $\varepsilon$-CS satisfaction using the auction algorithm of linear network flow problem

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.1095-1096
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• 2011

• 한국원자력학회:학술대회논문집
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• 한국원자력학회 2003년도 춘계학술발표대회 요약집
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• pp.408.1-408.1
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• 2003

• 한국지반공학회:학술대회논문집
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• 한국지반공학회 1997년도 토목섬유 학술발표회 논문집
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• pp.107-116
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• 1997

• 한국지반공학회:학술대회논문집
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• 한국지반공학회 1993년도 지반.환경 매립에 관한 학술발표회 논문집
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• pp.6-27
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• 1993

• 한국지반공학회:학술대회논문집
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• 한국지반공학회 1995년도 가을 학술발표회 논문집
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• pp.6001-6006
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• 1995

• 한국원자력학회:학술대회논문집
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• 한국원자력학회 2001년도 추계학술발표회요약집
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• pp.358.2-358
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• 2001