Process control is essential to operate the semiconductor process efficiently. This paper consider fault classification of semiconductor based cyclic signal for process control. In general, process signal usually take the different pattern depending on some different cause of fault. If faults can be classified by cause of faults, it could improve the process control through a definite and rapid diagnosis. One of the most important thing is a finding definite diagnosis in fault classification, even-though it is classified several times. This paper proposes the method that one-class classifier classify fault causes as each classes. Hotelling T2 chart, kNNDD(k-Nearest Neighbor Data Description), Distance based Novelty Detection are used to perform the one-class classifier. PCA(Principal Component Analysis) is also used to reduce the data dimension because the length of process signal is too long generally. In experiment, it generates the data based real signal patterns from semiconductor process. The objective of this experiment is to compare between the proposed method and SVM(Support Vector Machine). Most of the experiments' results show that proposed method using Distance based Novelty Detection has a good performance in classification and diagnosis problems.
본 논문에서는 전송 잡음 환경 하에서 전자파 산란 물체의 식별을 위하여 사용하 는 파라메타 측정 기법에 관한 연구이다. 최대 유사측정(Maximum Likelihood Estimation : MLE)기법은 물체 식별에 변형하여 응용되면 종래 잘 알려져 사용되어온 함수군속(Pencil of Functions) 기법보다 더 좋은 측정결과를 가진다는 것을 본 논문 은 보여주고 있다. MLE 기법을 포함하여 파라메타 식별을 위한 도구로서 지금까지 여러 제안기법들이 있었으나, 본 논문에서는 샘플 데이타의 길이에 관계없이 목표시 스템의 파라메타 양에만 관계하는 최소단위의 메트릭스 연산이 사용됨을 보여주므로 잡음이 상재하는 추출 데이타로부터 목표식별에 가장 강한 강점이 있다.
The characteristics of waveguide, electrode and packaging fabricated for acousto-optic tunable filters(AOTF) used for optical communications were analyzed. A $Ti:LiNbO_3$in-diffusing method was employed for the formation of the optical waveguide with a dimension of width $8{\mu}m$, length $30000-50000{\mu}m$ and varying the thickness. The diffusion was carried at $1050^{\circ}C$ for 8 hours to pattern the optical waveguide. The resulted waveguide exhibited a single mode at 1550nm optical wavelength. The width of IDT, with 10 SAM periods, was $5000{\mu}m$ . Impedances of the electrodes deposited with Au were analyzed using a network analyzer; $48.1\Omega$ at the center frequency of 193MHz for electrode thickness of $1500{\AA}$ and $50.7\Omega$ at the center frequency of 192MHz for $1600\AA$. And the characteristics of packaged AOTF was analyzed. When the electrical frequency 177.1MHz was applied to the device, the mode conversion efficiency was measured as 63% at the optical wavelength 1515nm.
$SrSO_4$ were systematically added on Bi2212 from 0 to 10wt% to study the effect of Bi2212 superconductor tube characteristics. After mixing, the melted solution of Bi2212 and $SrSO_4$ was initially poured into the cylinder type of steel mold preheated at $550^{\circ}C$ for 30min and rotated at 1000rpm. Following that, tube was annealed at $840^{\circ}C$ for 72hrs. The tube dimension was 60 in diameter, 60mm in length and 2mm in thickness. XRD data suggests that there was no typical segregation phase related with $SrSO_4$. Well textured grain with typical 2212 phase was observed and average size was $20{\mu}m$. The measured critical current and critical current density of Bi2212 tube added by 5% $SrSO_4$ at 77K were 495A and $202A/cm^2$ respectively.
The study interprets each of three classification models based on Bath-Tub Failure Rate (BTFR), Extreme Value Distribution (EVD) and Conjugate Bayesian Distribution (CBD). The classification model based on BTFR is analyzed by three failure patterns of decreasing, constant, or increasing which utilize systematic management strategies for reliability of time. Distribution model based on BTFR is identified using individual factors for each of three corresponding cases. First, in case of using shape parameter, the distribution based on BTFR is analyzed with a factor of component or part number. In case of using scale parameter, the distribution model based on BTFR is analyzed with a factor of time precision. Meanwhile, in case of using location parameter, the distribution model based on BTFR is analyzed with a factor of guarantee time. The classification model based on EVD is assorted into long-tailed distribution, medium-tailed distribution, and short-tailed distribution by the length of right-tail in distribution, and depended on asymptotic reliability property which signifies skewness and kurtosis of distribution curve. Furthermore, the classification model based on CBD is relied upon conjugate distribution relations between prior function, likelihood function and posterior function for dimension reduction and easy tractability under the occasion of Bayesian posterior updating.
본 논문에서는 해상공항 등 그 길이가 수 km에 달하는 초대형 부유식 해양구조물의 대모형 실험기법을 제시하고, 제시된 모형실험 기법을 바탕으로 한 실제 실험을 수행하여 초대형 부유식 해양구조물의 유탄성 운동특성을 파악하였다. 모형실험의 구조물로는 일본의 메가플로트 구조물($L{\times}B{$\times}D=300m{\times}60m{\times}2m$)을 대상으로 7m급의 모형을 제작하여 실험을 수행하였다. 모형실험에서는 모형의 유탄성 거동을 측정하기 위하여 3행 9열의 지점에 포텐셔미터를 설치하였으며, 선수, 선미, 중앙부의 양 끝단에 8개 스트레인 게이지를 부착하였다.
A low-dispersion fiber feed Littrow-mounted grating spectrometer for education was designed and fabricated. The dispersion element is a reflective type blazed grating Edmundoptics NT 46-075 (spatial frequency 600 lines/mm, dimension $30mm{\times}30mm$, blazed angle 8.6 degree). The optical fiber coupler module for optical guiding from telescope to spectrometer is composed of a multi-mode FC connector - FC connector optical fiber patch cord (core/cladding diameter $50{\mu}m/125{\mu}m$) and two 1.25" throw-tube couplers. The lens for collimating and imaging is a general purpose focal length 50 mm camera lens (f/1.8). The device for optical path control is a rectangular prism (size $25mm{\times}25mm$). The imaging camera sensor is a Meade DSI Pro 2 CCD sensor (black and white, $752{\times}582$ pixels and pixel size $8.3{\mu}m{\times}8.6{\mu}m$). Softwares for data logging and analysis consist of Meade Autostar Suite, NIH imagej and Vernier Logger Pro 3. The wavelength coverage range of the spectrometer is 205 nm at central wavelength 550 nm. The wavelength resolution is 1.7 nm.
복합기초의 한 형식인 소일시멘트 말뚝의 거동 특성을 컴퓨터 해석을 통하여 연구하였다. 연직하중을 받는 소일시멘트말뚝의 거동 특성을 ABAQUS라는 상용 프로그램을 사용하여 조사하였으며 해석조건은 지반물성치, 말뚝의 길이, 치환율, 강성비, 하중 조건 등을 달리하여 실시하였다. 해석 결과는 하중의 전이 및 침하특성 뿐만 아니라 효과적인 말뚝길이와 말뚝 및 지반의 하중 분배에 관하여서도 유용하게 쓰일 수 있음이 판명되었다. 또한 복합기초를 설계할 때 강성비, 치환율이 설계에 가장 큰 영향을 미치는 인자로 나타났다.
Helical magneto-cumulative generator(HMCG)s are very useful devices in suppling pulsed high current to inductance loads. To apply fast high voltage pulses to high impedance loads, high current outputs of HMCGs are required to be conditioned to higher voltages by using various pulse components such as opening/closing switches and pulse transformer. In this paper, stepping with the trends of requirements for ever-increasing energy in pulsed power applications coupling methods is investigated to obtain higher output energy by connecting several HMCGs in series or parallel way. The coil dimension of HMCGs used in series or parallel connections was 50 mm in diameter and 150 mm in length. The coil was fabricated by using enamel-coated copper wire of 1 mm in diameter. The highest energy amplification ratio and peak voltage of load were achieved from the serially connected four-barrel HMCG system. They were 68 and 34 kV, respectively, when the initial energy of 0.36 kJ was supplied into that system with the load of 0.4 μH. Within the tested range of inductance ratio, energy amplification ratio was found to be highly dependent on the inductance ratio of serial- and parallel-connected HMCG systems to load, which to be optimal around 500 was turned out. The experimental results showed that the output energy and voltage of load are controlled by connecting HMCGs in series or parallel.
Unlike structures in the air, the vibration analysis of a submerged or floating structure such as offshore structures or ships is possible only when the fluid-structure interaction is understood, as the whole or part of the structure is in contact with water. This paper introduces two methods to find natural frequency in consideration of fluid-structure interaction, direct coupled vibration analysis and fluid-structure modal coupled vibration analysis. The purpose of this study is to analyze the vibration characteristic of a submerged vehicle to obtain the anti-vibration design data, which could be used in the preliminary design stage. The underwater pressure hull of submerged vehicle is used as the model of this study. The F.E.M. model is meshed by shell and beam elements. Also, considering the inner hull weight, the mass element is distributed in the direction of hull length. Numerical calculations are accomplished by using the commercial B.E.M. code. The characteristics of natural frequency, mode shape and frequency-displacement response are analyzed.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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