• 제목/요약/키워드: Lattice spacing change

검색결과 3건 처리시간 0.022초

Structural and Morphological Changes of Co Nanoparticles and Au-10at.%Pd Thin Film Studied by in Situ Heating in a Transmission Electron Microscope

  • Ji, Yoon-Beom;Park, Hyun Soon
    • Applied Microscopy
    • /
    • 제47권3호
    • /
    • pp.208-213
    • /
    • 2017
  • The microstructural changes in Co nanoparticles and an Au-10at.%Pd thin film have been investigated using an in situ heating holder with a micro-electro-mechanical system (MEMS). In Co nanoparticles, two phases (face-centered cubic and hexagonal close-packed crystal structures) were found to coexist at room temperature and microstructures at temperatures, higher than $1,000^{\circ}C$, were observed with a quick response time and significant stability. The actual temperature of each specimen was directly estimated from the changes in the lattice spacing (Bragg-peak separation). For the Au-10at.%Pd thin film, at a set temperature of $680^{\circ}C$, the actual temperature of the sample was estimated to be $1,020^{\circ}C{\pm}123^{\circ}C$. Note that the specimen temperature should be carefully evaluated because of the undesired effects, i.e., the temperature non-uniformity due to the sample design of the MEMS chip, and distortion due to thermal expansion.

Si 기판의 연삭 공정이 산화주석 박막의 전기적 성질에 미치는 영향 연구 (Effect of Si grinding on electrical properties of sputtered tin oxide thin films)

  • 조승범;김사라은경
    • 마이크로전자및패키징학회지
    • /
    • 제25권2호
    • /
    • pp.49-53
    • /
    • 2018
  • 최근 유연 소자, 투명 소자, MEMS 소자와 같은 다양한 소자를 결합하는 시스템 집적화 기술이 많이 개발되고 있다. 이러한 다종 소자 시스템 제조 기술의 핵심 공정은 칩 또는 웨이퍼 레벨의 접합 공정, 기판 연삭 공정, 그리고 박막 기판 핸들링 기술이라 하겠다. 본 연구에서는 Si 기판 연삭 공정이 투명 박막 트랜지스터나 유연 전극 소재로 적용되는 산화주석 박막의 전기적 성질에 미치는 영향을 분석하였다. Si 기판의 두께가 얇아질수록 Si d-spacing은 감소하였고, Si 격자 내에 strain이 발생하였다. 또한, Si 기판의 두께가 얇아질수록 산화주석 박막 내 캐리어 농도가 감소하여 전기전도도가 감소하였다. 얇은 산화 주석 박막의 경우 전기전도도는 두꺼운 산화 주석 박막보다 낮았으며 Si 기판의 두께에 의해 크게 변하지 않았다.

헬름홀츠 공명기들로 구성된 음향 메타물질의 파동전파 특성 (Wave Propagation Characteristics of Acoustic Metamaterials with Helmholtz Resonators)

  • 권병진;조충희;박광춘;오일권
    • 한국소음진동공학회논문집
    • /
    • 제23권2호
    • /
    • pp.167-175
    • /
    • 2013
  • The wave propagation characteristics of an acoustic metamaterial composed of periodically repeated one-dimensional Helmholtz resonator array was investigated considering the effects of dimensional changes of the resonator geometry on the transmission coefficient and band gap. The effective impedance and transmission coefficient of the acoustic metamaterials are obtained based on the acoustic transmission line method. The designed acoustic metamaterials exhibit band gaps and negative bulk modulus that are non-existent properties in the nature. The band gap of the acoustic metamaterial is strongly dependent on the geometry parameters of Helmholtz resonators and lattice spacing. Also, a new type of metamaterial that is periodically constructed with two different resonators was designed to open the local resonance band gap without change of Bragg scattering.