대구경 비구면 거울은 대형 천체 망원경이나 고해상도 위성 카메라 등에 사용하는 핵심부품이다. 일반적인 디지털 카메라와 비교하면 매우 크므로 설계 및 제작이 같은 크기의 구면거울보다 훨씬 어렵다. 특히 경량화가 많이 될수록 중력이나 온도변화와 같은 외부의 힘에 의한 변형이 쉽게 발생하기 때문에 이러한 효과를 줄여주는 광기계 설계 및 해석이 더욱 중요해진다. 지상용과 우주용은 사용 환경에 차이가 있어서 설계 요구조건이 달라지고 이에 따라 지지구조물이나 반사경의 경량화 모양 등에 많은 차이가 있다. 본 논문에서는 대구경 비구면 광학기술가운데 가장 어려운 광기계 설계에 관하여 지상용과 우주용으로 나누어 자세히 설명하고자 한다.
Fizeau interferometer is used for inspecting the lens surface profile accurately. This study is focused on the design and optical measuring techniques for large optical components, such as a reflection mirror for large area lithography or astronomical purpose. A tower type Fizeau interferometer is designed and set up in horizontally with a 45$^{\circ}$ fold mirror which makes easy to align the optical path of heavy interferometer system. To align the optical path, a five-axes stage for the interferometer is required. This study shows a method of the 45$^{\circ}$ fold mirror alignment by using a three-axis stage instead of adjusting the interferometer itself or measuring object. This system will be installed on the large optics polishing machine during the manufacturing process as an on-machine inspection system.
This paper describes a novel method to surface large optics mirror with an extremely high hardness, which could replace the high cost of the repetitive off-line measurement steps and the large ultra-precision grinding machine with ultra-positioning control of 10 nm resolution. A lot of diamond pellet to be attached on the convex aluminum base consists of a grinding tool for the concave large mirror, and the tool was pressured down on the large mirror blank. The tool motion at an interval on the spiral path was controlled with each feed rate as the dwell time in the conventional computer-controlled polishing. The shape to be surfaced was measured directly by a touch probe on the machine without any separation of the mirror blank. Total 40 iterative steps of the surfacing and measurement could demonstrate the form error of RMS $7.8{\mu}m$, surface roughness of Ra $0.2{\mu}m$ for the mirror blank with diameter of 1 m and spherical radius of curvature of 5400 mm.
직경 450 mm(f/2.7) 포물면경 제작을 위해 자동무수차점방식의 널 광학계를 설계 및 제작하였으며, 설계프로그램(CODE V)의 공차분석기법을 이용하여 널 광학계의 제작과 정렬 오차에 따른 측정 신뢰도를 이론적으로 검증하였다. 그리고 광학계를 실제로 구축하여 포물면경의 제작에 적용하였다. 또한, 널 렌즈를 사용하지 않고 평면거울만 사용하는 자동시준방식의 측정방법으로 포물경을 재평가하여, 역으로 자동무수차점방식의 널 렌즈 정렬오차에 의한 측정 신뢰도를 확인하였다.
A polishing machine adopting a new unique structural mechanism has been developed, named as a swing-arm type polishing machine. The mechanism is such that the tool path tracks on a spherical surface, of which the diameter is adjusted by setting up the machine mechanism properly. It has a strong benefit especially for polishing axis-symmetric concave mirror surfaces. The swing-arm type polishing machine with 5-axes has been designed in order to polish a concave mirror surface lip to diameter of 2 meters. The drawings are made using 3D CAD and strain-stress analysis has been done by finite element method. AC servo-motor has been used to move the swing arm and a operating software has been developed using a LapVIEW tool. Result of the test run was satisfactory which convinces the usefulness of the swing-arm type polishing machine.
A novel optical design for high resolution, large field of view (FOV) and multispectral remote sensing is presented. An f/7.3 Korsch and two f/17.9 Cook three-mirror optical systems are integrated by sharing the primary and secondary mirrors, bias of the FOV, decentering of the apertures and reasonable structure arrangement. The aperture stop of the Korsch system is located on the primary mirror, while those of the Cook systems are on the exit pupils. High resolution image with spectral coverage from visible to near-infrared (NIR) can be acquired through the Korsch system with a focal length of 14 m, while wide-field imaging is accomplished by the two Cook systems whose focal lengths are both 13.24 m. The full FOV is 4°×0.13°, a coverage width of 34.9 km at the altitude of 500 km can then be acquired by push-broom imaging. To facilitate controlling the stray light, the intermediate images and the real exit pupils are spatially available. After optimization, a near diffraction-limited performance and a compact optical package are achieved. The sharing of the on-axis primary and secondary mirrors reduces the cost of fabrication, test, and manufacture effectively. Besides, the two tertiary mirrors of the Cook systems possess the same parameters, further cutting down the cost.
A spherical surface referenced Shack-Hartmann method is studied for inspecting machining accuracy of large concave mirror This method is so strong to the vibration environment for using as an on-machine inspection system during polishing process of large optics comparing with the interferometry. The measuring uncertainty of the system is shown as less than p-v 150 m. On-machine measured surface profile data with this method is used for feed back control of the polishing time or depth to improve the surface profile accuracy of large concave mirror. Also, the spherical surface referenced Shack-Hartmann method is useful for measuring aspheric such as parabolic or hyperbolic surface profile, comparing that the interferomehy needs a special null lens, which is to be a reference and difficult to fabricate.
대형 비구면의 측정을 위하여 자동무수차점 방식의 2매 구성 널 렌즈를 설계하였고, 제작과 정렬 오차에 따른 측정 정밀도의 한계를 이론적으로 분석해 보았다. 측정 정밀도의 한계를 결정짓는 주요한 공차 요소는 널 렌즈면의 불규칙도(irregularity)임을 확인하였으며, 불규칙도의 가공 정도에 따라 5λ/100∼4λ/1000 정도까지의 신뢰할 수 있는 측정 정밀도가 한정지어졌다. 이로써 실제의 정렬 오차 및 널 렌즈 제작오차까지 고려하여 신뢰할 수 있는 정밀도 한계를 제시할 수 있었다.
In this study, we investigated alignment state estimation performances of the three methods i.e. merit function regression (MFR), differential wavefront sampling (DWS) and Multiple Design Configuration Optimization (MDCO). The three target optical systems are 1) a two-mirror Cassegrain system for deep space Earth observation, 2) intermediate size three-mirror anastigmat for Earth ocean monitoring, and 3) extremely large segmented optical system for astronomical observation. We ran alignment state estimation simulation for several alignment perturbation cases including 1mm to 10mm in decenter and from 0.1 to 1 degree in tilt perturbation error for the two-mirror Cassegrain system. In general, we note that MDCO shows more competitive estimation performance than MFR and DWS. The computational concept, case definition and the simulation results are discussed with implications to future works.
The authors discuss a prototype stylus profilometer designed to measure large optics. It consists of a low contact force type probe system, laser reference system, interferometric distance measurement system, and horizontal driving system. The probe contacts the surface ; the height and the horizontal distances of the measurement points are measured by the interferometer. The freely propagated laser beam provides the reference line during the measurement. The developed stylus profilometry shows only $\pm$60 nm of P-V error for the 157 mm diameter spherical mirror.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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