A study on the ion-concentraion distribution using by FIB irradiated on amorphous $Se_{75}Ge_{25}$ Thin film
(비정질 $Se_{75}Ge_{25}$ 박막의 $Ga^{+}$ 소스를 사용한 FIB 입사에 따른 이온농도 분포에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.13 no.3
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- pp.193-199
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- 2000