• 제목/요약/키워드: LPE(Liquid Phase Epitaxy)

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Optimization of $p^+$ seeding layer for thin film silicon solar cell by liquid phase epitaxy

  • Lee, Eun-Joo;Lee, Soo-Hong
    • 한국결정성장학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.260-262
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    • 2005
  • Thickness optimization of heavily doped p-type seeding layer was studied to improve performance of thin film silicon solar cell. We used liquid phase epitaxy (LPE) to grow active layer of $25{\mu}m$ thickness on $p^+$ seeding layer. The cells with $p^+$ seeding layer of $10{\mu}m\;to\;50{\mu}m$ thickness were fabricated. The highest efficiency of a cell is 12.95%, with $V_{oc}=633mV,\;J_{sc}=26.5mA/cm^2$, FF = 77.15%. The $p^+$ seeding layer of the cell is $20{\mu}m$ thick. As thicker seeding layer than $20{\mu}m$, the performance of the cell was degraded. The results demonstrate that the part of the recombination current is due to the heavily doped seeding layer. Thickness of heavily doped p-type seeding layer was optimized to $20{\mu}m$. The performance of solar cell is expected to improve with the incorporation of light trapping as texturing and AR coating.

단결정 성장을 위한 수직형 LPE 장치의 제작 (The Development of Fertical type LPE System for Single Crystal Growth)

  • 오종환
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 1989년도 제4회 파동 및 레이저 학술발표회 4th Conference on Waves and lasers 논문집 - 한국광학회
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    • pp.201-205
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    • 1989
  • In this study, the vertical type LPE system has been developed by fully hand-made. The temperature fluctuation and minimum cooling rate of this LPE system are within $\pm$0.05$^{\circ}C$ and 0.15$^{\circ}C$/min, respectively. It is considered that these properties are enough to grow III-V semiconductor compounds single crystals by liquid phase epitaxy method. Futhermore in this study. 1.3${\mu}{\textrm}{m}$ GaInAsP/InP single crystal growing has been carried out by this system. It has been obtained that the growing rate was about 0.72${\mu}{\textrm}{m}$/min for InP binary layer and 0.36${\mu}{\textrm}{m}$/min for GaInAsP quarternary layer under 0.6$^{\circ}C$/min cooling rate condition.

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LPE(Liquid phase Epitaxy)방법으로 제작된 InGaAs/InP Ridge Waveguide Multiple Quantum Well Laser Diode의 광학적 특성조사 (An investigation of optical characteristics of InGaAsP/InP RWG MQW-LD by LPE method)

  • 오수환;하홍춘;박윤호;안세경;이석정;홍창희
    • 한국광학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.266-271
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    • 1996
  • 본 연구에서는 수직형 LPE방법으로 제작된 InGaAsP/ImP RWG(Ridge Waveguide) MQW(Mutiple Quantum Well)-LD(Laser diode)의 광학적 특성을 조사하여 제작된 LD의 특성과 설계결과를 비교 분석하였다. 광학적 특성 분석결과 제작된 LD가 설계된 데로 측방향 단일모드로 동작하였으며 내부양자효율은 77%, 내부손실은 18$cm^{-1}$ /, 발진파장의 온도특성은 5.5.angs./C.deg.로 나타났다. 이러한 결과들로부터 수직형 LPE방법으로 성장된 에피층의 특성과 MQW의 계면특성이 아주 양호하다는 것을 알 수 있었으며 제작된 RWG MQW-LD의 특성도 양호함을 알 수 있었다.

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PO/Bi2O3 변화에 따른 Bi:YIC 단결정 후박의 성장 (Growth of Bi:YIG Thick Films by Change of PO/Bi2O3 Molar Ratio)

  • 윤석규;김근영;김용탁;정현민;임영민;윤대호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권6호
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    • pp.589-593
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    • 2002
  • Bi:Y$_3$Fe$_{5}$ $O_{12}$(Bi:YIG)를 (GdCa)$_3$(GaMgZr)$_{5}$ $O_{12}$(SGGG)기판 위에 Liquid Phase Epitaxy(LPE)법으로 단결정 후막을 성장시켰다 기판회전속도, 과냉도, 성장시간을 고정하여 PO/Bi$_2$ $O_3$ 몰 비 변화에 따른 성장된 가네트 결정의 격자상수 변화와 Bi 농도 분포를 조사하였다. PO/Bi$_2$ $O_3$ 몰 비가 감소함에 따라 성장된 가네트 결정의 격자상수하 Bi 농도는 증가하는 경향이 나타났으나, 가네트 결정의 두께가 증가됨에 따라 Bi 농도는 감소하는 경향이 나타났다.

YIG, Bi:YIG, TbBi:YIG 단결정 후막의 성장과 특성 (Growth and Characteristics of YIG, Bi:YIG, TbBi:YIG Single Crystal Thick Films)

  • 윤석규;김근영;김명진;이형만;김회경;윤대호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제40권7호
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    • pp.672-676
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    • 2003
  • Y$_3$Fe$_{5}$O$_{12}$(YIG), $Y_3$Fe$_{5}$O$_{12}$(Bi:YIG), TbBi:YIG를 (GdCa)$_3$(GaMgZr)$_{5}$O$_{12}$ (SGGG)기판 위에 Liquid Phase Epitaxy (LPE)법으로 단결정 후막을 성장시켰다. 기판회전속도, 과냉도, 성장시간을 고정하여 치환되는 원소의 종류와 양에 따라 가네트 단결정의 격자상수, Bi 치환양, 표면형상, 자기적 특성을 조사하였다. TbBi:YIG 조성의 경우 격자상수는 12.500 $\AA$으로 기판의 격자상수인 12.496 $\AA$에 근접하게 나타났으며, 포화자계는 150 Oe로 향상된 결과가 나타났다.

Development of the RE indirect-heating LPE furnace and the effect of impurity in YIG film on the MSSW properties

  • Fujino, M.;Fujii, T.;Sakabe, Y.
    • 한국결정성장학회지
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    • 제12권6호
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    • pp.288-291
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    • 2002
  • We developed a new RF indirect-heating LPE furnace. The thermal gradient of our newly developed furnace is less than that of direct heating, and is as gentle as that of the resistance-heating LPE furnace. With this new furnace, the heating and/or cooling is faster than that of the resistance-heating furnace. Impurity-doped YIG film was grown from a $PbO-B_{2}O_{3}$, based flux on a (111) GGG substrate. To study the effect of the impurities on the MSSW threshold power and the saturation response time, we used two microstrip lines to excite and propagate the MSSW at 1.9 GHz. The MSSW threshold power and saturation response time was found to be related to the $\Delta$H.

Tb, Eu, EuTb가 치환된 가네트 단결정 막의 성장과 자기적 특성 (Growth and magnetic properties of Tb, Eu, EuTb-substituted garnet single crystal films)

  • 김근영;윤석규;정일섭;박승배;윤대호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제14권5호
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    • pp.193-198
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    • 2004
  • $(TbBi)_3(FeAIGa)_5O_{12}(TbIG)$, $(EuBi)_3(FeAIGa)_5O_{12}(EuIG)$, $(EuTbBi)_3(FeAIGa)_5O_{12}(EuTbIG)$ 가네트 막을 $PbO-B_2O_3-Bi_2O_3$ 융제를 사용하여 $(GdCa)_3(GaMgZr)_5O_{12}(SGGG)$ 기판 위에 liquid phase epitaxy(LPE) 방법으로 성장시켰다. 성장된 TbIG, EuIG, EuTbIG 가네트 막의 포화자계값은 각각 150 Oe, 950 Oe, 170 Oe를 보였으며, magnetic force microscope(MFM) 분석을 측정 한 결과 TbIG 막에서는 단일 자구가 관찰되었으며, EuIG와 EuTbIG 막에서는 다 자구가 관찰되었다.

선택적 LPE방법에 의한 GaAs가판 상의 InP이종접합 박막의 성장 (Growth of Heteroepitaxial InP/GaAs by selective liquid phase epitaxy)

  • 이병택;안주헌;김동근;안병찬;남산;조경익;박인식;장성주
    • 한국재료학회지
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    • 제4권6호
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    • pp.687-694
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    • 1994
  • 선택적 LPE방법을 이용하여 (111)B GaAs 기판 상에 InP연속 박막을 성장하고 그 특성을 평가하였다. 적정 LPE성장조건으로 성장온도 $660^{\circ}C$, 과냉도 $5^{\circ}C$, 냉각속도 $0.4^{\circ}C$/min였으며, 연구된 온도 범위에서 성장온도가 증가할수록 표면형상이 개선되었고 ELO의 넓이가 증가하였다. Seed방향이 <112>방향에서 110-160$\mu \textrm{m}$ 정도의 최대 ELO 넓이가 얻어졌으며 60-80$\mu \textrm{m}$정도의 마스크 간격에서 연속박막을 용이하게 성장할 수 있었다. LPE 성장초기에 기판 용해 현상이 발생하였으며 이에 따라 성장박막의 조성이 대략 $In_{0.85}Ga_{0.15}$As$_{0.01}P{0.99}$으로 변화하고 InP/GaAs계면 및 박막 표면형상이 거칠어졌으나 기판의 성장 부위가 제한됨에 따라 통상적인 LPE박막에 비교하여 매우 개선된 표면형상을 얻을 수 있었다. 두개의 성장융액을 이용하여 1차 박막성장 후 다시 InP 박막을 성장하는 2단성장 방법을 사용하여 순수한 InP/GaAs박막을 성장할 수 있었으며 단면 TEM분석 결과 SLPE성장박막으로 전파하는 활주전위는 산화막 마스크에 의해 효과적으로 차단됨을 알 수 있었다.

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