• Title/Summary/Keyword: LCR Meter

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FBAR 응용을 위한 ZnO 박막의 특성에 대한 연구 (A Study on properties of ZnO thin film for Film Bulk Acoustic Resonator (FBAR) application)

  • 정영학;이규일;김응권;이종덕;송준태
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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    • pp.688-692
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    • 2004
  • In this paper, zinc oxide (ZnO) films with c-axis (002) orientation have been successfully deposited on the Al/Si substrate by rf magnetron sputtering method. The deposited films were characterized by substate temperature. Physical and structural properties of the deposited films were investigated by X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) measurement. Electrical Properties of the deposited films were investigated by 4-poing probe and LCR meter measurement. The optimal condition in this experimental result was found at foot of the substrate temperature and shown good film quality for FBAR application.

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$Ba_{2}TiSi_{2}O_{8}$ 결정화 유리의 제조 및 특성

  • 강원호;이회관
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 추계 학술대회
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    • pp.175-177
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    • 2005
  • 본 연구에서는 fresnoite ($Ba_{2}TiSi_{2}O_{8}$) 결정화 유리를 $xK_{2}O-(33.3-x)BaO-16.7TiO_{2}-50SiO_{2}$ ($0{\le}x{\le}\;20mol\%$)으로 부터 제조하였으며, 특성평가를 하였다. $K_{2}O$의 치환량이 증가함에 따라, 유리전이 온도와 결정화 온도는 감소하였으며, 유리의 안정화를 나타내는 ${\Delta}$T는 증가하였다. $Ba_{2}TiSi_{2}O_{8}$ 결정상의 형성은 XRD와 SEM분석을 통하여 관찰하였고, LCR meter를 사용하여 열처리에 의하여 제조된 결정화 유리의 유전율은 측정하였으며, 결정화 유리는 $Ba_{2}Si_{2}TiO_{8}$ 단결정 보다 낮은 유전율은 보였다.

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강섬유 종류에 따른 시멘트 복합체의 전기전도도 측정에 대한 실험적 연구 (An Experimental Study on the Measurement of Electrical Conductivity of Cementitious Composites According to the Type of Steel Fiber)

  • 이예찬;김규용;남정수;이상규;서동균;유하민
    • 한국건축시공학회:학술대회논문집
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    • 한국건축시공학회 2020년도 봄 학술논문 발표대회
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    • pp.191-192
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    • 2020
  • The purpose of this study is to measure the electrical conductivity of cementitious composites as an early step to obtain shielding performance by mixing various type of steel fiber into cementitious composites, the main building material of protection facility, to shield electromagnetic pulse (EMP) damage. Fiber such as conductors as amorphous metallic fiber, hooked steel fiber, and smooth steel fiber are mixed into cementitious composites to give electrical conductivity and measure the impedance of concrete using LCR meter. By doing this, the electrical conductivity of each type of steel fiber reinforced cementitious composites (FRCC) is compared.

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전자펜 입력용 투명패턴 검사장치 개발 (Development of Inspection System for Transparent Pattern of the Electromagnetic Resonance Pen)

  • 유영기
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제21권6호
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    • pp.640-645
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    • 2020
  • 전자기 유도 방식의 투명 전자 패턴을 이용한 입력장치의 안정적 생산을 위해서는 생산 공정에서 미리 패턴 검사가 필요한 실정이다. 손터치용 정전용량 패턴의 검사 방법은 다양하게 제시 되어왔으나, 투명 전자기 유도 방식의 패턴 검사방법은 관련 기술 자료를 찾기 힘든 실정이다. 본 연구에서는 메탈 메쉬형 패턴으로 제작된 융합형 전자기유도 센서의 검사방법을 개발하기 위하여, 측정 센서에서 노출된 FPCB 커넥터 부분만의 측정으로 센서 내부의 안테나 임피던스를 측정하기 위한 새로운 측정알고리즘과 측정 방법을 제안하였다. 제안된 검사방법은 자체 개발된 윈도우 운영프로그램으로 제어되는 컴퓨터의 명령에 따라 미리 설정된 특정 채널 간의 루프를 형성하는 마이크로프로세서로 구성된 제어 보드, 특정 채널 간의 임피던스를 고정밀도로 측정하는 LCR 메터 그리고 측정결과를 컴퓨터로 전송하는 통신 시스템으로 구성하였다. 제안된 시스템을 설계 제작하여 자동으로 설정된 채널 간의 측정을 수행하였으며, 9개의 시편에 대하여 임피던스를 실제 측정한 결과와 제안된 시스템으로 측정한 결과, 실제 제품에 사용되는 센서의 기능 불량을 검출할 수 있는 성능을 보임을 알 수 있었다.

상온 이온액을 이용한 고온 무수 PEMFC용 고정화 액막의 온도에 따른 이온전도도 거동 (Behaviors of Ionic Conductivity with Temperature for High-Temperature PEMFC Containing Room Temperature ionic Liquids Under Non-humidified Condition)

  • 김범식;변용훈;박유인;이상학;이정민;구기갑
    • 멤브레인
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    • 제16권4호
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    • pp.268-275
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    • 2006
  • 이온전도도가 높은 상온 이온액을 이용하여 저온, 고온 상분리에 의한 multi-stage phase separation process로 새로운 고정화 이온액 전해질 막(supported ionic liquid electrolyte membranes, SILEMs)을 제조하였다. PVDF와 imidazolium계 이온액을 각각 분리막 소재와 전해액으로 사용하였다. 이온전도도 특성을 알아보기 위해 SILEMs을 LCR meter를 이용 해 $30^{\circ}C$부터 $130^{\circ}C$까지 실험하였다. 가습조건에서 cast Nafion 막의 이온전도도는 $30^{\circ}C$부터 $100^{\circ}C$까지는 직선적으로 증가하였으나 그 이후에는 감소하였다. 그러나 SILEMs의 경우 운전온도의 증가에 따라 이온전도도가 증가하였다. 또한 SILEMs의 이온전도도 거동은 가습과 관계없이 거의 같았다. SILEMs의 이온전도도는 $30^{\circ}C$에서 $2.7{\times}10^{-3}S/cm$이었고 온도가 $130^{\circ}C$까지 증가함에 따라 $2.2{\times}10^{-2}S/cm$까지 거의 직선적으로 증가하였다. $SiO_2$를 이용하여 SILEMs의 물리적 성질에 대한 무기첨가제의 영향에 관하여 연구하였다. SILEMs에 $SiO_2$의 첨가는 비록 약간의 이온전도도 감소는 있으나 SILEMs의 기계적 강도를 향상시킬 수 있었다.

열경화성 폴리이미드를 이용한 빗살전극형 정전용량형 습도센서 (The Interdigitated-Type Capacitive Humidity Sensor Using the Thermoset Polyimide)

  • 홍성욱;김영민;윤영철
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제20권6호
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    • pp.604-609
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    • 2019
  • 본 논문에서는 열경화성 폴리이미드를 정전용량형 습도센서의 감습재료로 사용하여 공정이 간단한 IDT(Interdigitated) 전극을 갖는 정전용량형 습도센서를 제작하고 특성을 측정 및 분석하였다. 먼저 일정한 용량값을 얻기 위하여 용량형 센서의 전극 수, 전극의 두께와 간격 및 폴리이미드 감습막의 두께 등을 최적화하여 마스크 설계 및 제작을 했으며, 실리콘 기판 상에 반도체 공정 장비를 이용하여 정전용량형 습도센서를 제작하였다. 제작된 센서의 면적은 $1.56{\times}1.66mm^2$ 이며, 전극의 넓이와 전극간 폭은 동일하게 각각 $3{\mu}m$, 센서의 감도를 위해 전극 수를 166개, 전극의 길이는 1.294mm로 제작하였다. 그런 다음 센서 특성을 측정하기 위해 PCB상에 패키징 하였다. $25^{\circ}C$ 챔버 환경에 센서를 삽입하고 LCR Meter에 연결하여 1V, 20kHz를 인가한 상태에서 20%RH에서 90%RH까지 습도변화에 대한 용량값 변화를 측정하였다. 제작된 정전용량형 습도센서의 측정 결과 감도는 26fF/%RH, 선형 특성 < ${\pm}2%RH$ 그리고 히스테리시스는 < ${\pm}2.5%RH$를 얻을 수 있었다.

Dip Coating 법에 의한 Al/$VF_2$-TrFE/Si(100) 구조의 제작 특성 (Fabrications and Properties of Al/$VF_2$/$n^+$-Si(100) Structures by Dip Coating Methode)

  • 김가람;정상현;윤형선;이우석;곽노원;김광호
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.20-21
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    • 2008
  • Ferroelectric vinylidene fluoride-trifluoroethylene ($VF_2$-TrFE) copolymer films were directly deposited on degenerated Si ($n^+$, 0.002 $\Omega{\cdot}cm$) using by dip coating method. A 1 ~ 3 wt% diluted solution of purified vinylidene fluoride-trifluoroethylene ($VF_2$:TrFE=70:30) in a dimethylformamide (DMF) solvent were prepared and deposited on silicon wafers using dip coating method for 10 seconds. After Post-Annealing in a vacuum ambient at 100~200 $^{\circ}C$ for 60 min, upper aluminum electrodes were deposited by thermal evaporation through the shadow mask to complete the MFS structure. The ferroelectric $\beta$-phase peak of films, depending on the annealing temperature, started to show up around $125^{\circ}C$, and the intensity of the peak increased with increasing annealing temperature. Above $175^{\circ}C$, the peak started to decrease. The C-V characteristics were measured using a Precision LCR meter (HP 4284A) with frequency of 1MHz and a signal amplitude of 20 mV. The leakage-current versus electric-field characteristics was measured by mean of a pA meter/DC voltage source (HP 4140B).

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정전 분무법으로 제조한 β-형 PVDF 막에 미치는 니켈 질산염 첨가의 영향 (Effect of Nickel Nitrate Doping on β-type PVDF Layers Prepared by Electrostatic Spray Deposition)

  • 황규석;김명윤;손병래;황보승;노형갑
    • 전기학회논문지
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    • 제67권10호
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    • pp.1317-1321
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    • 2018
  • PVDF as a semicrystal polymer, having a structure with C-F dipole moments, has been widely investigated because of its excellent chemical stability, mechanical strength, and ferroelectricity. In this study, ferroelectic ${\beta}$ type - PVDF layer was prepared by using an electrostatic spray deposition method and the effects of the addition of Ni-nitrate in precursor solution on the properties of PVDF layer were evaluated. Crystallinity and chemical structure of the PVDF layer were analyzed by a X-ray diffraction and Fourier Transform Infrared Spectrophotometer. Surface structure and fractured cross section of the layer were examined by a field emission-scanning electron microscope. LCR meter was used to obtain the dielectric properties of the layer. As the addition of an inorganic metal salt in PVDF sol, ${\beta}$ type - PVDF crystals were appeared in the hydrated metal salts doped-layer since the strong hydrogen bondings $(O-H{\cdots}F-C)_n$ due to high polarity of OH- were formed.

전기 절연유 열화진단을 위한 3-단자식 전기용량 센서 개발 및 진단특성 평가 (Development and Evaluation of 3-terminal Type Capacitive Sensor for the Diagnosis of Electrical Insulating Oil)

  • 김주한;한상옥
    • 전기학회논문지P
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    • 제58권4호
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    • pp.476-482
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    • 2009
  • This paper describes the development of capacitive sensor for the diagnosis of liquid dielectrics, which is widely used as the electrical insulating oil of transformer, circuit breaker, cable and etc. To survey the dielectric properties of the virgin and aged electrical insulating oils, we utilized the highly precise measuring system, using the principle of cross capacitance. The measured properties were used to determine the design factors of the sensor. Then the factors were optimized with the help of computational analysis. To evaluate diagnosis by the sensor, we performed accelerated thermal aging test about electrical insulating oils. The condition of aged specimens were investigated by measurements of relative permittivity i.e. capacitance change by capacitive sensor. And to evaluate the hysteresis characteristics with the change of temperature, we constructed a testing system, which was composed with vacuum drying oven, oil chamber and measuring instruments, such as LCR meter, MUX and so forth. Through the results of this investigation, we confirmed the superior characteristics of the newly developed sensor.

Ceramic PTC thermistor의 금속접촉저항과 입계전위장벽 (Analysis on Metal Contact Resistance and Grain Boundary Barrier Height of Ceramic PTC Thermistor)

  • 전용우;임병재;홍상진;소대화
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19
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    • pp.235-236
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    • 2006
  • The contact resistance and grain boundary potential barrier of ceramic $BaTiO_3$ PTCR were investigated. The electroless plated Ni, evaporated Al, and Ag paste were chosen as electrode materials of PTCR device for comparison analysis before and after heat treatment. The contact resistance of electrode were measured by electrometer (dc), digital multimeter (dc), and LCR meter (ac). In the case of Al electroded samples, the heat treatment and protective oxide layer had high resistance and effect on the stability of PTCR effect against contact resistance degradation, but the Ag-paste had comparably high contact resistance before heat treatment and decreased after heat treatment with safe. On the other hand, the samples with electroless plated Ni electrode had good properties of contact resistance against aging.

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