• 제목/요약/키워드: LCD waste

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반도체(半導體) 제조공정(製造工程)에서 발생하는 혼산폐액(混酸廢液)으로부터 고순도(高純度) 인산회수(燐酸回收) (Recovery of high-purity phosphoric acid from the waste acids in semiconductor manufacturing process)

  • 박성국;노유미;이상길;김주엽;신창훈;김준영;안재우
    • 자원리싸이클링
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    • 제15권5호
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    • pp.26-32
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    • 2006
  • LCD와 반도체 제조공정에서 발생하는 인산, 질산, 초산, Al, Mo 등이 혼재하고 있는 인산계 혼산폐액을 액정제조공정에서 사용할 수 있는 고순도 에칭액으로 재활용하기 위해서 용매추출법, 진공증발법, 확산투석법 및 이온교환법의 각각의 기술적 특성을 살린 혼합 처리공정을 이용하여 고순도 인산회수 기술을 확립하고 상용화 시스템을 개발하고자 하였다. 시험 결과 진공증발에 의해 질산과 초산을 100% 제거할 수 있었고, TOP를 이용한 용매추출에서도 추출 4단, 탈거 6단으로 완벽하게 제거할 수 있었다. 이온교환의 전단계로 적용한 확산투석에서 Al 97.5%, Mo 36.7% 제거할 수 있었고 이온교환공정에서 Al 및 Mo를 각각 1ppm이하로 정제할 수 있었다.

반도체 제조공정에서 발생하는 혼산폐액으로부터 고순도 인산 회수 (Recovery of phosphoric acid from the waste acids in semiconductor manufacturing process)

  • 박성국;노유미;이상길;김주엽;신창훈;안재우
    • 한국자원리싸이클링학회:학술대회논문집
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    • 한국자원리싸이클링학회 2006년도 춘계임시총회 및 제27회 학술발표대회
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    • pp.90-94
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    • 2006
  • 액정(LCD)과 반도체 제조공정에서 발생하는 인산, 질산, 초산, Al, Mo 등이 혼재하고 있는 인산계 혼산폐액을 액정제조공정에서 사용할 수 있는 고순도 에칭액으로 재활용하기 위해서 용매추출법, 진공 증발법, 확산투석법 및 이온교환법의 각각의 기술적 특성을 살린 혼합 처리공정을 이용하여 고순도 인산 회수 기술을 확립하고 상용화 시스템을 개발하고자 하였다. 시험 결과 진공증발에 의해 질산과 초산을 100% 제거할 수 있었고, TOP를 사용한 용매추출에서도 추출 4단, 탈거 6단, 상비 1/3으로 완벽하게 제거할 수 있었다. 이온교환의 전단계로 적용한 확산투석에서 Al 97%, Mo 75% 제거할 수 있었고 이온교환공정에서 Al 및 Mo를 각각 1ppm 이하로 정제할 수 있었다.

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국내 주요 정수장 수돗물의 퍼클로레이트 검출현황 (Occurrence of Perchlorate in Drinking Water in Korea)

  • 김현구;김정화;이연희
    • 한국물환경학회지
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    • 제23권6호
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    • pp.822-828
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    • 2007
  • Perchlorate is an unregulated contaminant but recently many cases of perchlorate contamination have been reported in the US. In Japan, also, a couple of contamination incidents caused by perchlorate occurred. Against this backdrop, investigation on perchlorate was urgent for Korea. Accordingly, perchlorate investigation in tap water and river water was conducted one time a week for seven consecutive weeks at major water sources of Korea including Han River, Guem River, Yeong-san River, and Nak-dong River. Perchlorate was not found at Han River, Guem River, and Yeong-san River. However, all the 4 tap water samples in Nak-dong River recorded high level of perchlorate. Among others, NT1 located at Daegu posted the highest value of $22.3{\mu}g/L$. This level is lower than $24.5{\mu}g/L$, the threshold recommended by US EPA. Still, perchlorate contamination in drinking water can deal a heavy blow to nerve development of infants and children by causing iodine deficiency. At the 1st and 2nd investigations, perchlorate concentration reached $18.7{\sim}95.6{\mu}g/L$ and $4.0{\sim}25.6{\mu}g/L$ respectively, both of which are relatively higher. The high perchlorate concentration in Nak-dong River was possible because of the waste water discharged from LCD manufacturing factory which was located at NS3 in Gumi, Korea. Perchlorate concentration of waste water from the factory was $730{\sim}1,858{\mu}g/L$.