• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
• /
• 2004.05a
• /
• pp.138-146
• /
• 2004

현재 반도체 및 LCD 제조분야에 적용되는 공정장비, 이송시스템에는 고성능, 고생산성이 요구되고 있는 추세이다 기존의 선형이송시스템은 구동원으로 서보모터(Servo Motor)를 사용하고 있으며, 기계적 동력전달장치를 사용하여 직선운동을 하는 구조로 되어있어 마찰소음, Position Error 등의 발생요인이 많은 단점을 가지고 있다. 반면에 선형전동기(Linear Motor)를 이송시스템의 구동원으로 사용하면 기계적 동력전달장치가 생략되어 기존의 선형이송시스템이 가지고 있는 단점들의 개선효과가 크며 유지보수면에서도 유리한 점이 많다. 본 연구에서는 2,500[N]급 영구자석 여자 횡자속 선형전동기를 설계, 개발하였으며, 이를 적용한 추진모듈을 개발하였다. 본 연구에서 개발된 횡자속 선형전동기 적용 추진모듈은 LCD 제조분야의 Stocker, RGV, Index, OHS, OHT 등을 비롯하여 타 산업분야의 선형이송시스템으로의 가능하다.

• Proceedings of the KIPE Conference
• /
• 2008.10a
• /
• pp.181-183
• /
• 2008

반도체 칩 마운터는 PCB기판위에 칩을 마운팅 하는 장비로 짭은 시간내에 많은 양의 칩을 정확하게 마운팅 하기 위해 매우 빠른 가감속 운전과 정밀한 작업을 수행할 수 있는 선형전동기를 사용해 오고 있다. 고가임에도 빠른 응답특성, 높은 정밀도, 유지보수의 최소화 등 선형전동기가 가지고 있는 여러 가지 장점으로 인해 반도체를 포함한 LCD 및 기타 일반 산업에 까지 점진적으로 수요가 증가하고 있지만, 이동자에 전기자 권선을 가지고 있어 장거리 이송용으로 적합한 선형전동기의 경우 전원 케이블을 반복적으로 끌고 다녀야 하는 단점이 있어, 이런 문제점을 극복하기 위한 비접촉 방식의 전원 공급에 대해 많은 연구가 진행되고 있는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 직병렬 공진 원리를 이용하여 움직이는 이동자의 전기자 권선에 비접촉으로 전원을 공급하는 전원 장치를 제안하며, LCD 자동 반송 장비인 스토커에 적용하여 특성을 분석하였다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
• /
• 2004.05a
• /
• pp.711-714
• /
• 2004

본 논문에서는 RF방식을 이용하여 제어 신호를 무선 LCD 셔터 고글로 전송하는 무선 입체 영상 재생 장치의 원리를 제안하고 설계 및 구현하였다. 본 논문에서 제안한 장치는 기존의 유선 장비에 비해 자유로운 이동성을 보장하고 다수의 사용자가 별도 추가장비 없이 입체 영상을 감상할 수 있다. 본 논문에서는 입체 영상 지각 원리, 입체 영상 재생 모드, 제안한 입체 영상 재생 장치, 무선 LCD 셔터 고글 동작을 논하였다. 마지막으로 PC의 모니터를 통한 시각적 검증으로 제안한 무선 입체 영상 재생 장치의 성능평가를 수행하였다.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
• /
• 2004.11a
• /
• pp.111-113
• /
• 2004

최근 반도체 제조공정의 많은 부분이 트랙(Track)장비 형태로 구성되어져있다. 이러한 복합제조 장비들은 각 모듈간의 상호 작용이 복잡하고 체제 가능시간도 엄격히 제안되고 있어 각각의 모듈들을 효율적으로 운용하기 위해서 반드시 스케줄러가 필요 되어 진다. 하지만 우리나라에서 대표적 트랙장비로 달수 있는 Wet Station에 대한 스케줄링 분야에 대한 연구는 미약한 편이며 앞으로 많은 연구와 개발이 필요한 시점이다. 본 논문은 Wet Station 장비의 운용 효율성을 극대화할 수 있는 Wet Station 장비 운용방법을 제안하고 평가하는데 그 목적이 있다. 관련 소프트웨어기술은 향후 핵심적인 기술로 대두 대고 있을 뿐만 아니라 다른 LCD공정의 트랙장비, 인라인(In-Line) 장비, 클러스터 툴(Cluster Tool) 효율적 운용면에서 큰 도움이 될 것으로 기대 된다.

• Journal of Korea Multimedia Society
• /
• v.15 no.2
• /
• pp.204-214
• /
• 2012

This paper proposes an image segmentation for a vision-based automated defect inspection system on surface image of TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display) panels. TFT-LCD images have non-uniform brightness, which is hard to finding defective regions. Although there are several methods or proposed algorithms, it is difficult to divide the defect with high reliability because of non-uniform properties in the image. Kamel and Zhao disclosed a method which based on logical stage algorithm for segmentation of graphics and character. This method is a one of the local segmentation method that has a advantage. It is that characters and graphics are well segmented in an image which has non-uniform property. As TFT-LCD panel image has a same property, so this paper proposes new algorithm to segment regions of defects based on Kamel and Zhao's algorithm. Our algorithm has an advantage that there are a few ghost objects around the defects. We had experiments to prove performance in real TFT-LCD panel images, and comparing with the FFT(Fast Fourier Transform) method which is used a bandpass filter.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
• /
• 2002.04b
• /
• pp.604-606
• /
• 2002

본 논문에서는 3차원 영상의 생성 원리와 3차원 영상 모드 그리고 기존의 3차원 영상 재생 장치를 분석하였다. 3차원 영상 모드에는 interlace page-flipping, sync-doubling 모드가 있으며, LCD(Liquid Crystal Display) shutter glasses를 이용한 3차원 영상 재생 장치의 동작 원리 및 파형을 분석하였고 현 재생 장치의 장. 단점을 논하였다 이 장비는 심한 flicker를 유발하였고, 완전한 3차원 입체 영상의 효과를 얻을 수 없었다. 마지막으로 LCD 모니터용 3차원 영상 재생 장치의 필요성과 향후 연구 방향을 제시하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
• /
• 2003.05a
• /
• pp.116-119
• /
• 2003

본 연구에서는 LCD 공정에 사용되는 ball spacer를 전해 연마(Electro-Polishing, EP) 처리된 스테인리스(stainless)관 내부에서 마찰대전으로 하전시켜 하전량을 측정하는 하전 메커니즘과 하전 특성을 관찰하였다. Ball spacer의 농도를 일정하게 하고, 유입하는 공기의 유량을 201pm, 301pm으로 변화시키면서 실험하였다. 유입되는 공기의 유량은 일정하게 하여 ball spacer의 농도를 분진공급장치(dust feeder)를 통해 변화시키면서 하전수를 측정하였다. 이 때 측정결과는 EP 처리된 스테인리스관에 유입되는 공기의 유량이 증가했을 때, 하전이 더 많이 되는 것을 보여주었다. 또한 일정한 공기의 유량에서 주입되는 ball spacer의 농도가 증가했을 때 입자당 하전수가 증가하였다.

• Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
• /
• 2004.05a
• /
• pp.433-436
• /
• 2004

반도체 및 LCD 제조 라인의 물류 제어 시스템을 위하여 시스템의 현재 및 미래의 Look ahead 정보를 사용하고 반송장비의 운반 상황을 동시에 고려하면서 디스패칭(dispatching) 과정을 수행하는 RTLAD(Real Time Look Ahead Dispatcher)를 위한 핵심 기법들을 개발한다. 특히, 베이(bay) 내에서 로트의 가공이 완료 되었을 때 다음 스텝 공정을 위하여 목적지 장비를 실시간으로 결정하는 절차를 제시하며, 동시에 목적지 장비까지의 반송장비를 선택하는 절차를 제시한다. 목적지 장비 결정 과정에서 반송장비의 상황을 함께 고려한다.

• Laser Solutions
• /
• v.15 no.1
• /
• pp.6-9
• /
• 2012

In TFT-LCD manufacturing process, various defects are generated by manufacturing machine trouble or particle. These defects can be repaired through the TFT-Laser repair process that only can't be automated in TFT-LCD manufacturing Process. In this Paper, we propose auto defect algorithm for TFT-LCD laser repair machine using image processing algorithm in order to automate process. Proposed algorithm can detect very small defects (< 2um) in 98% success ratio, and generated laser repair path guarantee highly precise position accuracy. Through proposed system, much of the work still done the old-fashioned way, by hand, can be automated and manufacturing company can be strengthed the competitiveness of cost.

• Journal of the Korean Magnetics Society
• /
• v.22 no.3
• /
• pp.91-96
• /
• 2012

In this paper, a three-dimensional finite element model based on the multi-pixel was constructed to accurately predict electric field distributions including an interference phenomenon between adjacent pixels in the liquid crystal of a complicated TFT-LCD panel. Utilizing the elaborate numerical model, the characteristics of spatial electric field distributions depending on various fault-electrode conditions are thoroughly examined on the basis of the field distribution of a normal electrode condition. The validity of the proposed model is proved by comparing the simulation results with those of the existing optical inspection equipments.