• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2007.11a
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• pp.441-442
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• 2007

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2008.05a
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• pp.177-179
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• 2008

본 논문에서는 Grafchart의 기본 정의 및 설계 방법을 설명하고, 이 Grafcet와 Petrinet의 차이점을 비교하고 산업용 제어에 응용할 수 있는지를 검토한다. 본 논문에서는 LCD 장비중에 LCD의 제공정들을 처리하기 위해 LCD를 이송시키는 캐링 로봇에 Grafchart를 적용하고 그이 타당성을 확인하였다.

• Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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• 2011.05a
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• pp.155-156
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• 2011

기존의 디스플레이는 2차원적인 평면 이미지만을 제공하고 있으며, 3차원 이미지를 제공하기 위해서는 추가적인 장비를 설치해야 한다. 본 논문에서는 일반적으로 널리 쓰이는 LCD 디스플레이 내부에 3차원 입체적인 이미지를 제공하는 방법을 제시하고자 한다. 이를 위해 사용자의 위치를 추적할 때 적외선 카메라를 사용함으로써 사용자는 별도의 장비를 사용하지 않아도 된다. u-City 환경에서 이와 같은 방법으로 GIS 정보가 LCD 디스플레이 내부에 입체적인 형태로 보다 효과적으로 보여진다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2006.05a
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• pp.886-892
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• 2006

반도체 및 TFT-LCD등을 생산하는 공장 구조물에는 C/R이 있으며, 여기에는 외부 진동에 엄격한 특성을 갖고 있는 각종 수 많은 정밀장비가 설치되어 있다. 더구나, 이러한 정밀장비등의 정상운용을 위하여 각종 UT(유틸리티)등이 병행하여 C/R내 산재해 설치되어 있다. 이러한 UT는 정밀장비와 각종 배관들로 연결되어 설치되어 있다. 또한 C/R의 항온/항습등을 유지하기 위하여 공조등 부대 유틸리티도 또한 설치되어 있으며, 이러한 각종 유틸리티는 진동은 유발하는 진동원이 되며, 여기서 발생하는 진동은 C/R의 진동환경을 열악하게 만들 수 있다. 이에, 본 연구에서는 TFT-LCD 생산 공장에서 UT와 배관등에서 발생하는 진동이 공장 구조물(격자보)와 공진현상을 일으켜 인접하여 설치 된 정밀장비에 악영향을 끼치고 있음을 현장 진동 측정과 구조물 동적 해석을 통하여 확인하였고, 제안한 저감대책을 수행 후 진동 영향성의 감소됨을 확인하였다.

• Venture DIGEST
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• s.107
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• pp.8-11
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• 2007

ISO 9001(품질경영시스템), ISO 14001(환경경영시스템) 인증, 벤처기업 대상 '대통령 표창', 중소기업대상 '국무총리 표창', 무역의 날 '1,000만 불 수출의 탑' 수상. 최근 몇 년 사이에 이룬 넥스트인스트루먼트(대표 허대영, 이하 NI)의 수상 이력이다. 설립초기 반도체 장비제조로 시작하여 현재 전 세계 TFT-LCD산업에서 인정받는 기술경쟁력을 가지고 최첨단 LCD 및 반도체 핵심장비의 국산화를 위한 기술개발에 전력하고 있는데 이에 더해 요즘 사업 영역 확장에 나서 제2의 창업을 준비하고 있다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.223-223
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• 2004

반도체 및 TFT LCD 제조 공정에서 핵심 공정인 Photo 공정은 PR(Photo Resist, 감광액) Coating -) Exposure(노광) -. Develop(현상)으로 이루어져 있다. 이중 Exposure 공정에 사용되는 장치가 노광장비이다. 노광장비는 Mask Aligner 라고도 불리는데, 그만큼 정렬기술이 노광장비에서는 중요하다. 반도체 및 TFT LCD 는 여러 충의 회로를 쌓아감으로써 층과 층간의 전기적 작용으로 생성되는 Tr.(Transistor) 또는 Diode 등의 수동소자를 집적하는 기술로 제조되는 것으로, 층과 층간의 전기적 작용이 설계한 바와 같이 이루어지기 위해선, 층과 층 사이의 정렬이 정확히 이루어져야 한다.(중략)

• Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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• 2011.06a
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• pp.363-366
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• 2011

3D 디스플레이 시장이 커지면서 TFT-LCD TV 자동화 라인 생산 공정을 3D LCD TV 생산 공정으로 변환하여 대량 생산할 경우, 기 설치된 자동화 생산라인의 H/W 부분에는 특별한 투자가 이루어질 거라 판단되지 않고 있다. 하지만 3D LCD Module 검사 등의 S/W 적인 부분은 현재의 기 설치된 TFT-LCD Module 검사장비로는 검사가 불가능하여, 추가적인 투자가 이루어질 것이라 판단되고 있다. 이와 관련하여 본 연구에서는 TFT-LCD 제조공정의 효율적인 기술을 제안하고자 한다. 첫째는 TFT-LCD를 Cell상태에서 직접 구동하는 구동회로 기술과 사용 장소가 Clean Room이므로 개별적 구동 Pallet에 비접촉식으로 전원을 공급할 수 있는 비접촉식 급전장치에 대한 기술이다.

• The Optical Journal
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• s.99
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• pp.36-38
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• 2005

2000년 4월 경기도 안양시 동안구 호계동 안양국제유통단지내에 둥지를 튼 존테크(대표·최상규)는 광 관련 전자, 기계 조립 및 검사장비 전문업체이다. 디스플레이 생산에 필요한 각종 기자재 및 장비 공급을 통한 기반구축을 시작으로 2003년부터는 디지털카메라 및 카메라폰과 관련한 제조 및 시험장비를 30년 전통을 가진 일본 카메라 및 LCD 장비 전문회사와 공급계약을 체결하고 본격적인 국내 판매를 시작했다. 현재는 광학장비 유통에 집중하고 있으나 향후에는 회사 설립 전부터 쌓아온 풍부한 경험과 지식을 바탕으로 광학검사장비 개발 및 제조에 모든 역량을 집중하여 관련 장비의 국산화를 이루겠다는 큰 포부를 가지고 있다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.247-251
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• 2004

최근 정밀장비의 진동허용규제치 및 동강성허용규제치는 제작사가 사용자에게 반드시 제출해야 하는 하나의 사양으로 정착되고 있지만, 대부분 국내외의 장비 제작자가 제시하는 진동허용규제치는 부정확할 뿐만 아니라 통일된 양식을 갖추고 있지 못하고 있는 실정이다. 따라서, 본 연구에서는 장비제작사에서 제시하는 동하중에 의한 기준과 진동측정을 통한 평가 동하중에 따른 기준으로 노광기의 기초에서 진동허용규제치를 만족시키기 위한 건물의 요구 이너턴스를 평가하여 차세대 노광기에 대한 정량적인 동강성규제치를 제안하였다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.24 no.9
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• pp.103-109
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• 2007

LCD (Liquid Crystal Display) is widely used electronic product. It needs too many processes such as PECVD (Plasma Enhanced Vapor Deposition), Sputtering, Photo-lithography, Dry etch. Each process is important but inspection process is more important because most companies emphasis on the six sigma. Recently, LCD inspection system is composed with inlet, inspector, outlet air pads. LCD is inspected on air pad which is shooting air from air hole. This paper studies on pad design of air bearing for LCD inspection to minimize LCD fluctuation. This design is able to reduce fluctuation and then satisfies CCD inspectional range. Also inspection pad needs to adequate stable area.