• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2013.05a
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• pp.275-276
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• 2013

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2006.10a
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• pp.5-9
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• 2006

공초점 주사 현미경(Confocal Scanning Microscope, CSM)은 Bio-cell 및 특정 형태를 가지는 object의 고분해능 3차원 영상복원이 가능하여 3차원 측정장비로 주로 사용된다. 특히 LCD 패널 및 반도체 웨이퍼의 불량 검사 장비로의 활용이 가능하여 3차원 영상으로부터 불량 여부와 원인을 알아낼 수 있다. 하지만 생산 공정에서 불량 검사를 하기 위해서는 고속, 고품질의 성능이 요구된다. 따라서 이 논문에서는 공초점 주사 현미경을 이용하여 고분해능으로 고속, 고품질의 3차원 영상복원을 할 때 어떠한 조건이 요구되는지 알아보고 시뮬레이션 하도록 하겠다.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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• v.46 no.2
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• pp.22-27
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• 2009

In this paper, an automatic functional inspection system EVT (Emulated Vision Tester) for LCD drive module PCB has been proposed and implemented. Typical automatic inspection system such as probing methods and vision-based systems are widely known and used, however, there exist undetectable defects due to critical timing factors which they may miss to catch from LCD equipments. Especially typical vision-based systems have inconsistency on acquisition of images so that distinction between gray scales can be difficult which results in low level of performance and reliability on the inspection results. The proposed EVT system is pure hardware solution. It directly compares pattern signals from a pattern generator to output signals from LCD drive module. It also inspects variety of analog signals such as voltage, resistance, wave forms and so forth. The EVT system not only shows high performance in terms of reliability and processing speed but reduces costs on inspection and maintenance. Also, full automation of entire production line can be realized when EVT is applied in in-line inspection processes.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.10b
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• pp.211-212
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• 2008

본 논문에서는 LCD 구동 모들 PCB의 기능 검사를 위한 자동 검사시스템인 EVT(Emulated Vision Tester)를 제안하고 구현하였다. 기존의 대표적인 자동검사 방법으로는 전기적 검사나 영상기반 검사방식이 있으나 전기적 검사만으로는 Timing이 주요한 변수가 되는 LED 장비에서는 검출할 수 없는 구동불량이 존재하며 영상기반 검사는 영상획득에 일관성이 결여되거나 Gray Scale의 구분이 불명확하며 검출결과의 재현성이 떨어진다. EVT 시스템은 Pattern Generator에서 인가된 입력 패턴 신호라 구동모듈을 통한 후 출력되는 디지털 신호를 직접 비교하여 패턴을 검사하고 아날로그 신호 (전압, 저항, 파형)의 이상 여부도 신속 정확하게 검사할 수 있는 H/W적인 방법이다. 높은 검출 신뢰도와 빠른 처리 속도 뿐만 아니라 간결한 시스템 구성으로 원가절감 실현 등 많은 장점을 가진다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.36 no.7
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• pp.813-822
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• 2012

Abnormal operating sounds radiated from a moving transfer robot in LCD (liquid crystal display) product lines have been used for the fault detection line of a robot instead of other source signals such as vibrations, acoustic emissions, and electrical signals. Its advantage as a source signal makes it possible to monitor the status of multiple faults by using only a microphone, despite a relatively low sensitivity. The wavelet packet transform for feature extraction and the artificial neural network for fault classification are employed. It can be observed that the abnormal operating sound is sufficiently useful as a source signal for the fault diagnosis of mechanical components as well as other source signals.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2013.10a
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• pp.924-925
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• 2013

최근 미세가공 및 자동측정 분야가 고성능화 되어 자동화가 많이 실현되고 있다. 이러한 자동화는 고정밀도와 동시에 제품 생산에 대한 저비용, 단기납기, 고품질의 제품 창출로 이어진다. 현재 핸드폰 시장이 급성장함에 따라 핸드폰의 생산 주기가 현저하게 짧아지고 핸드폰 조립공정에 있어서 다양한 크기에 대한 핸드폰 평판표시장치인 LCD(Liquid Crystal Display)가 존재하고 있다. 핸드폰 조립공정에 있어서 이러한 다양한 LCD 표시장치(LCD, PDP, FED등)를 보호하기 위하여 보호매체인 PE/PET 필름을 부착하여 납품하도록 하고 있으며, 핸드폰 조립공정에서 발생할 수 있는 흠집 등 기타 불량을 줄이도록 노력하고 있다. 그러나 이러한 보호필름은 현재 핸드폰 조립공정 후판부에서 평판표시장치의 유리기판의 크기에 맞게 보호필름을 절단하도록 공정이 구성되어 있다. 본 논문에서는 이러한 핸드폰 조립공정을 개선하고 자동화하기 위하여 경박단소용 평판표시장치의 얇은 유리기판에 접착된 PE/PET 필름을 핸드폰의 다양한 패턴에 맞추어 하단의 유리기판에는 결함이 없도록 하여 보호필름만을 커팅 할 수 있는 커팅시스템을 제안하고 정밀계측에 대한 실험 데이터를 제시하고자 한다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.36 no.2
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• pp.217-221
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• 2012

As a part of basic research to improve screen quality, which deteriorates when strain occurs within optical sheets in LCD modules for laptop computers, a measurement system is needed to analyze the influence of heat and moisture, which are the main factors causing the strain. It is assumed that the existence of an air gap less of than 0.5 mm inside the LCD module causes humid air from outside to permeate through the module. To investigate this phenomenon, in this study a thin printed circuit board (PCB) of compact sensors that measure temperature and humidity is inserted into LCD modules, and thus, the changes in temperature and humidity can be analyzed in real time. The results can be used as basic data for simulation of the deformation behavior and structural design of LCD modules in the future.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2008.11a
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• pp.197-200
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• 2008

현재 국내.외의 디스플레이 산업에서의 경쟁력은 사용자의 요구에 부응하는 제품을 얼마나 적시에 적절한 가격으로 출시하는가에 달려있다. 또한 국외, 특히 중국과 대만의 거센 추격을 받을 뿐만 아니라 시장조사기관에서는 지속적인 가격하락을 예상하고 있다. 이를 극복하고 국내업체가 세계시장에서 경쟁력을 확보하기 위해서는 수율의 극대화가 필수적이다. 따라서 본 연구개발에서는 정해진 환경에서 최대의 불량검출 능력을 발휘할 수 있도록 공정을 개선하기 위하여 Full Gate Visual 테스트에 필수적인 FGV 패턴발생 장치와 공정제어 장치를 개발하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2016.11a
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• pp.183.2-183.2
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• 2016

TFT-LCD, OLED 등의 불량 분석을 위해 단면 가공이 필요한 경우 주로 FIB (Focused Ion Beam)를 이용하여 전처리 하고 있으나, 단면 가공을 해야 하는 두께가 두껍거나 분석해야 하는 영역이 넓은 경우 짧게는 수 시간에서 많게는 수십 시간까지 전처리 시간이 소요되는 어려움이 있다. 이러한 시료의 경우, 수 keV로 가속된 이온빔을 조사하여 시료를 시료를 가공하는 이온빔 전처리 장비를 활용하면 전처리 시간 단축 및 FIB 로 분석할 수 없는 넓은 영역에 대한 단면 분석이 가능하다. 본 Poster 에서는 이온빔 전처리 장비를 활용하여 분석한 사례를 소개하고자 한다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.12 no.4
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• pp.1803-1811
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• 2011

We have analyzed the electrical defect detection mechanism using low energy microcolumn on the TFT substrate for TFT-LCD. In this study, we have acquired the SEM images of the various pixel defects for 7-inch TFT substrate by scanning of low energy electron beam in the high vacuum chamber. Futhermore, we have interpreted the defect detection mechanism through the correlations between the SEM images and electrical behaviors of the defective pixels. As a result, we obtained consistent results as the follows. We can confirm that the SEM images using low energy electron beam are significantly affected by the space charge effect.