• 제목/요약/키워드: Kappa-Tau tuning

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급속 열처리 공정을 위한 Bang-Bang/PID 온도제어기법 (Bang-Bang plus PID Temperature Control Scheme for Rapid Thermal Processing)

  • 송태승;류준
    • 전기전자학회논문지
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    • 제3권1호
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    • pp.109-117
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    • 1999

  • 본 논문에서는 급속 열처리 공정에서 필수적인 빠르고 정밀한 웨이퍼의 온도제어기법을 제안하였다. Bang- Bang/PID 제어기법은 빠른 온도상승률을 만족하고, 오버슈트와 정상상태 오차를 줄이도록 한다. 즉 초기에 허용 가능한 최대전력을 공급하는 일종의 Bang-Bang 방식의 제어를 하고, 설정온도와 출력에서 측정되는 온도와의 차이가 어느 정해진 범위보다 작을 때 PID 제어를 수행한다. 또한 PID 이득을 정하기 위해 ARX 모델로 식별된 플랜트에 Kappa-Tau 동조법이 사용되었다. 개발된 제어기는 실험용 RTP 장비에 적용하여 그 성능을 평가하였다.

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