A Study on the Mechanism of Rotational Stage with Multi Degree of Freedom for Multi-Channel Optical Alignment System (다채널 광정렬 장치에서의 다자유도 회전 스테이지 동작 특성에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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- 2005.05a
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- pp.150-155
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- 2005