• 제목/요약/키워드: JEOL ARM 1300S

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비교적 두꺼운 결정으로부터 얻은 일련의 비 초점 단계의 고전압 HRTEM 영상들에 대한 IWFR 분석의 유용성 실험 (Experiment of Usefulness of IWFR Analysis for High Voltage HRTEM Images with a Series of Defocus Steps Obtained from a Relatively Thick Crystal)

  • 오상호;김윤중;김황수
    • Applied Microscopy
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    • 제38권4호
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    • pp.363-374
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    • 2008
  • 이 논문에서는 비교적 두꺼운 결정에 대한 일련의 고 분해 영상들에 대한 IWFR 분석의 유용성을 실험하였다. 이를 위해 JEOL ARM 1300S를 이용하여 실리콘 결정의 30 nm 두께의 [01-1] 방위와 35 nm 두께의 [11-2]에 대한 일련의 비 초점 단계의 고 분해 영상들을 관찰하였다. 이로부터 두꺼운 시료에 대해서도 IWFR 분석 결과로부터 결정 밑 표면의 파동함수를 얻을 수 있음이 밝혀졌다. 그러나 강한 동역학적 산란에 의한 효과 때문에, 이 함수의 영상패턴은 시료의 원자열 구조의 패턴을 다만 정성적으로만 반영하고 있다. 그럼에도 불구하고 이 패턴은 결정구조의 중요한 단서를 제공할 것임은 의심의 여지가 없다