Pulsed DC Bias Effects on Substrate in TiNx Thin Film Deposition by Reactive RF Magnetron Sputtering at Room Temperature (반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiNx 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과)
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- Journal of Surface Science and Engineering
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- v.52 no.6
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- pp.342-349
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- 2019