$SiO_{x}F_{y}$ /a-Si 구조에 엑시머 레이저 조사에 의해 불소화된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성과 신뢰도 향상
(Passivation Effects of Excimer-Laser-Induced Fluorine using $SiO_{x}F_{y}$ Pad Layer on Electrical Characteristics and Stability of Poly-Si TFTs)
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- 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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- 제48권9호
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- pp.623-627
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- 1999