Quenching을 이용한 $1\mu{m}$ 미만의 Cell 형성
(Formation of cell under $1\mu{m}$ by quenching)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.1420-1423
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- 2005